具有高密封性的冷却背板装置的制作方法

本技术涉及半导体生产，特别涉及具有高密封性的冷却背板装置。

背景技术：

1、冷却背板是pcb制造业中具有专业化性质产品，在液晶、半导体、太阳电池板镀膜成膜过程中，靶材受到高速荷能粒子连续轰击，会产生高温，易造成靶材损坏，需要使用冷却背板对其进行冷却，对靶材持续进行冷却，冷却背板内部具有供冷水源流动的腔体，冷水源通过热交换器将把靶材的热量交换出去，从而实现控制靶材温度的目的。

2、目前靶材的寿命是有限，靶材在使用一段时间后，需要操作人员对其进行更换,靶材一般都是绑定在冷却背板上的，所以冷却背板需同靶材一同拆卸，操作人员频繁拆卸冷却背板，会导致冷却背板与外部管道接头处出现泄漏,影响靶材的冷却效率，导致镀膜设备在使用过程中存在安全隐患，同时当冷却背板内部的冷却管或其他零件发生损坏时，操作人员难以对冷却背板内部的零件进行更换，导致冷却背板的实用性降低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供具有高密封性的冷却背板装置，以解决上述背景技术中提出的操作人员频繁拆卸冷却背板，会导致冷却背板与外部管道接头处出现泄漏,影响靶材的冷却效率，导致镀膜设备在使用过程中存在安全隐患，同时当冷却背板内部的冷却管或其他零件发生损坏时，操作人员难以对冷却背板内部的零件进行更换，导致冷却背板的实用性降低的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：具有高密封性的冷却背板装置，包括板体，所述板体的上表面开设有t形槽，所述t形槽内壁的下侧设置有冷却管，所述板体的左右两侧表面均设置有夹紧机构，所述t形槽内壁的上侧设置有放置板，所述板体内部左右两侧的前后两方均开设有空腔，多个所述空腔的内壁均设置有卡紧机构，所述夹紧机构包括环形套筒，所述环形套筒的一侧表面与板体的一侧表面固定连接，所述环形套筒内壁的四周均开设有螺纹孔，多个所述螺纹孔的内壁均螺纹连接有螺纹杆，多个所述螺纹杆的一端均转动连接有弧形板，多个所述螺纹杆的另一端均固定连接有旋钮，多个所述螺纹孔内壁的左右两侧均开设有通孔，多个所述通孔的内壁均滑动连接有滑杆。

3、优选的，所述卡紧机构包括第一弹簧，所述第一弹簧的一端与空腔内壁的一侧固定连接，所述第一弹簧的另一端固定连接有推杆，所述空腔内壁的上下两侧均开设有限位槽，两个所述限位槽的内壁均滑动连接有限位块，所述空腔内壁的上侧开设有按压槽，所述按压槽的内壁滑动连接有梯形按压杆，所述按压槽内壁的左右两侧均开设有环槽，所述环槽的内壁滑动连接有孔块，所述梯形按压杆的杆壁为位于孔块的下表面套接有第二弹簧，所述推杆杆壁的上侧开设有梯形槽，所述空腔内壁的另一侧开设有插槽，所述插槽内壁的上侧与t形槽内壁的一侧相贯通，所述插槽的内壁设置有插块，所述插块的上表面与放置板的一侧表面固定连接，所述插块的一侧表面均开设有固定孔。

4、优选的，所述冷却管的左右两端分别贯穿t形槽内壁左右两侧的下方延伸至板体的左右两侧表面，两个相应的所述滑杆的一端分别与相应的弧形板一侧表面的左右两侧固定连接，多个所述推杆的杆壁均与相应的空腔的内壁滑动连接，两个相应的所述限位块的相对一侧表面分别与推杆杆壁的上下两侧固定连接，多个所述孔块的内壁均与相应的梯形按压杆的杆壁固定连接。

5、优选的，所述放置板表面四周的上侧固定连接有密封垫。

6、优选的，多个所述旋钮的表面均设置有防滑纹路。

7、优选的，多个所述弧形板的一侧表面均固定连接有橡胶垫。

8、本实用新型的技术效果和优点：

9、1、通过设置板体、t形槽、冷却管、放置板、空腔、环形套筒、螺纹孔、螺纹杆、弧形板、旋钮、通孔、滑杆、第一弹簧、推杆、限位槽、限位块、按压槽、梯形按压杆、环槽、孔块、第二弹簧、梯形槽、插槽、插块、固定孔，本实用新型可以使冷却背板与外部管道的接头处密封连接，防止出现水源泄漏的情况，避免镀膜设备在使用过程中存在安全隐患，同时可以快速对冷却背板内部的零件进行更换维修，提高冷却背板的实用性。

10、2、通过设置冷却管、t形槽、板体、滑杆、弧形板、推杆、空腔、限位块、孔块、梯形按压杆，保证装置的正常使用，使装置内零件与零件之间连接的稳定性和安全性，避免设备在使用过程中发生松动的问题。

11、3、通过设置放置板、密封垫，可以增加板体与放置板之间的密封性，保证装置的降温效果，通过设置弧形板、橡胶垫，可以表面弧形板夹伤外接管道，使外接管道与冷却管稳定密封连接，避免出现泄漏的情况。

技术特征：

1.具有高密封性的冷却背板装置，包括板体(1)，其特征在于：所述板体(1)的上表面开设有t形槽(2)，所述t形槽(2)内壁的下侧设置有冷却管(3)，所述板体(1)的左右两侧表面均设置有夹紧机构，所述t形槽(2)内壁的上侧设置有放置板(4)，所述板体(1)内部左右两侧的前后两方均开设有空腔(5)，多个所述空腔(5)的内壁均设置有卡紧机构；

2.根据权利要求1所述的具有高密封性的冷却背板装置，其特征在于：所述卡紧机构包括第一弹簧(13)，所述第一弹簧(13)的一端与空腔(5)内壁的一侧固定连接，所述第一弹簧(13)的另一端固定连接有推杆(14)，所述空腔(5)内壁的上下两侧均开设有限位槽(27)，两个所述限位槽(27)的内壁均滑动连接有限位块(15)，所述空腔(5)内壁的上侧开设有按压槽(16)，所述按压槽(16)的内壁滑动连接有梯形按压杆(17)，所述按压槽(16)内壁的左右两侧均开设有环槽(18)，所述环槽(18)的内壁滑动连接有孔块(19)，所述梯形按压杆(17)的杆壁为位于孔块(19)的下表面套接有第二弹簧(20)，所述推杆(14)杆壁的上侧开设有梯形槽(21)，所述空腔(5)内壁的另一侧开设有插槽(22)，所述插槽(22)内壁的上侧与t形槽(2)内壁的一侧相贯通，所述插槽(22)的内壁设置有插块(23)，所述插块(23)的上表面与放置板(4)的一侧表面固定连接，所述插块(23)的一侧表面均开设有固定孔(24)。

3.根据权利要求2所述的具有高密封性的冷却背板装置，其特征在于：所述冷却管(3)的左右两端分别贯穿t形槽(2)内壁左右两侧的下方延伸至板体(1)的左右两侧表面，两个相应的所述滑杆(12)的一端分别与相应的弧形板(9)一侧表面的左右两侧固定连接，多个所述推杆(14)的杆壁均与相应的空腔(5)的内壁滑动连接，两个相应的所述限位块(15)的相对一侧表面分别与推杆(14)杆壁的上下两侧固定连接，多个所述孔块(19)的内壁均与相应的梯形按压杆(17)的杆壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的具有高密封性的冷却背板装置，其特征在于：所述放置板(4)表面四周的上侧固定连接有密封垫(25)。

5.根据权利要求1所述的具有高密封性的冷却背板装置，其特征在于：多个所述旋钮(10)的表面均设置有防滑纹路。

6.根据权利要求1所述的具有高密封性的冷却背板装置，其特征在于：多个所述弧形板(9)的一侧表面均固定连接有橡胶垫(26)。

技术总结
本技术公开了具有高密封性的冷却背板装置，涉及到半导体生产技术领域，包括板体，板体的上表面开设有T形槽，T形槽内壁的下侧设置有冷却管，板体的左右两侧表面均设置有夹紧机构，T形槽内壁的上侧设置有放置板，板体内部左右两侧的前后两方均开设有空腔，多个空腔的内壁均设置有卡紧机构，夹紧机构包括环形套筒，环形套筒的一侧表面与板体的一侧表面固定连接，环形套筒内壁的四周均开设有螺纹孔。本技术可以使冷却背板与外部管道的接头处密封连接，防止出现水源泄漏的情况，避免镀膜设备在使用过程中存在安全隐患，同时可以快速对冷却背板内部的零件进行更换维修，提高冷却背板的实用性。

技术研发人员：松本光裕
受保护的技术使用者：京浜乐梦金属科技（苏州）有限公司
技术研发日：20230803
技术公布日：2024/2/19