一种高偏压送电电极的制作方法

本技术涉及真空镀膜，具体涉及一种高偏压送电电极。

背景技术：

1、目前真空镀膜行业中，高偏压送电电压一般为4千伏，采用氟塑料绝缘；由于镀膜工作时，镀膜室温度很高，氟塑料极易烧坏，而且4千伏高偏压送电，镀件与膜层结合力差，镀膜时间长。

2、因此，提供一种高偏压送电电极，可在1万伏高偏压进行送电，以解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种高偏压送电电极，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

3、一种高偏压送电电极，包括密封盖板，密封盖板上设有转件盘；密封盖板上设有定位孔，定位孔上通过螺母固定连接有电极组件，电极组件包括电极杆，电极杆的两端为螺纹，电极杆一端与螺纹交界处设有限位块，限位块外部通过螺纹固定有第二绝缘套；电极杆的外部设有绝缘内套，绝缘内套内部有通孔，绝缘内套的一端上设有连杆，连杆底部与绝缘内套连接处设有第一密封圈，连杆顶部固定连接有第一绝缘套，第一绝缘套外部通过螺母固定有绝缘护套；绝缘内套的另一端与限位块之间设有第二密封圈；电极杆的另一端螺纹处通过螺母固定有连接片，连接片上固定有固定座，固定座的另一端固定有电极滑动摩擦圈，电极滑动摩擦圈与转件盘接触。。

4、本实用新型技术方案的进一步改进在于：绝缘内套、第一绝缘套和绝缘护套均采用陶瓷材料。

5、本实用新型技术方案的进一步改进在于：第二绝缘套采用四氟绝缘套。

6、本实用新型技术方案的进一步改进在于：电极杆在限位块处的螺纹长度小于另一端的螺纹长度。

7、本实用新型技术方案的进一步改进在于：电极杆为铜电极杆。

8、本实用新型技术方案的进一步改进在于：绝缘护套上设有开口。

9、由于采用了上述技术方案，本实用新型相对现有技术来说，取得的技术进步是：

10、1、本实用新型提供的一种高偏压送电电极，可在1万伏高偏压进行送电，解决了4千伏高偏压送电，镀件与膜层结合力差，镀膜时间长的技术问题。

11、2、本实用新型提供的一种高偏压送电电极，采用陶瓷材料绝缘，而且陶瓷材料具有较高的高温稳定性，能有效的防止在镀膜工作时，镀膜室温度很高，导致绝缘材料易烧坏，解决了绝缘件容易损坏的问题。

技术特征：

1.一种高偏压送电电极，其特征在于：包括密封盖板（7），密封盖板（7）上设有转件盘（72）；密封盖板（7）上设有定位孔（71），定位孔（71）上通过螺母固定连接有电极组件，电极组件包括电极杆（5），电极杆（5）的两端为螺纹，电极杆（5）一端与螺纹交界处设有限位块（51），限位块（51）外部通过螺纹固定有第二绝缘套（6）；电极杆（5）的外部设有绝缘内套（4），绝缘内套（4）内部有通孔，绝缘内套（4）的一端上设有连杆（42），连杆（42）底部与绝缘内套（4）连接处设有第一密封圈（41），连杆（42）顶部固定连接有第一绝缘套（3），第一绝缘套（3）外部通过螺母固定有绝缘护套（2）；绝缘内套（4）的另一端与限位块（51）之间设有第二密封圈（121）；电极杆（5）的另一端螺纹处通过螺母固定有连接片（12），连接片（12）上固定有固定座（11），固定座（11）的另一端固定有电极滑动摩擦圈（1），电极滑动摩擦圈（1）与转件盘（72）接触。

2.根据权利要求1所述的一种高偏压送电电极，其特征在于：所述绝缘内套（4）、第一绝缘套（3）和绝缘护套（2）均采用陶瓷材料。

3.根据权利要求1所述的一种高偏压送电电极，其特征在于：所述第二绝缘套（6）采用四氟绝缘套。

4.根据权利要求1所述的一种高偏压送电电极，其特征在于：所述电极杆（5）在限位块（51）处的螺纹长度小于另一端的螺纹长度。

5.根据权利要求1所述的一种高偏压送电电极，其特征在于：所述电极杆（5）为铜电极杆。

6.根据权利要求1所述的一种高偏压送电电极，其特征在于：所述绝缘护套（2）上设有开口。

技术总结
本技术公开了一种高偏压送电电极，涉及真空镀膜技术领域，包括密封盖板，密封盖板上设有转件盘；密封盖板上设有定位孔，定位孔上固定连接有电极组件，电极组件包括电极杆，电极杆的两端为螺纹，限位块外部通过螺纹固定有第二绝缘套；电极杆的外部设有绝缘内套，绝缘内套的一端上设有连杆，连杆顶部固定连接有第一绝缘套，第一绝缘套外部通过螺母固定有绝缘护套；电极杆的另一端螺纹处通过螺母固定有连接片，连接片上固定有固定座，固定座的另一端固定有电极滑动摩擦圈，电极滑动摩擦圈与转件盘接触。本技术通过在1万伏高偏压下送电，实现缩短镀膜时间，提高镀件与膜层的结合力。

技术研发人员：王桂岳,王可峰,张乃发,王德尊
受保护的技术使用者：龙口市比特真空技术有限公司
技术研发日：20230809
技术公布日：2024/2/21