一种具有双重密封结构的真空镀膜设备的制作方法

本技术涉及镀膜，具体为一种具有双重密封结构的真空镀膜设备。

背景技术：

1、现今目前，镀膜技术广泛应用于半导体集成电路、电子元器件、通讯以及光伏等领域，真空镀膜法使现有的镀膜主要技术之一，真空镀膜法将镀膜材料和待镀膜基板置于真空腔室内，通过蒸发或溅射等方式在待镀膜基板表面沉积各种金属或非金属薄膜。

2、在镀膜作业中需要使用到真空镀膜设备，中国专利公开了一种真空镀膜设备(授权公告号cn 110699644 a)该专利可解决现有真空镀膜技术中，因粒子沉积在待镀膜基板表面时动能较高而导致的待镀膜基板表面受到损伤的问题，但在实践过程中由于真空镀膜设备只能对镀膜物进行一重镀膜，容易造成镀膜物密封有缺口，导致镀膜效果减半，为此，我们提出一种具有双重密封结构的真空镀膜设备。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，包括底座、密封结构和第一旋转轴，所述底座的上端一侧安装有支撑架，且支撑架的一侧安装有第一镀膜箱，并且支撑架的上端安装有密封结构，所述第一镀膜箱的一端安装有第二镀膜箱，且第二镀膜箱内部上端安装有第一旋转轴，并且第二镀膜箱内部下端安装有第一旋转轴，所述第一旋转轴远离第二镀膜箱的一端安装有固定块，且固定块的两端安装有电机，所述密封结构包括有密封箱、气缸、进气口和排气孔，所述密封箱的上端一侧安装有气缸，并且气缸的一侧安装进气口，所述密封箱的下端外部安装有排气孔。

3、进一步的，所述支撑架的下端贴合于底座的上端，且支撑架与底座为焊接连接。

4、进一步的，所述一镀膜箱的背部贴合于第二镀膜箱的前端，且第一镀膜箱与第二镀膜箱为焊接连接。

5、进一步的，所述第一旋转轴嵌入于第二镀膜箱的内部，且第一旋转轴与第二镀膜箱为活动连接。

6、进一步的，所述电机的一端贴合于与固定块的一端，且电机与固定块为卡扣连接。

7、进一步的，所述密封箱的下端贴合于支撑架的上端，且密封箱与支撑架为焊接连接。

8、进一步的，所述气缸贴合于密封箱的外部，且气缸与为卡扣连接。

9、进一步的，所述排气孔贴合于密封箱的外端下部，且排气孔与密封箱为固定连接。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、该具有双重密封结构的真空镀膜设备使用时，支撑架的下端贴合于底座的上端，有利于真空镀膜设备稳定运行，避免支撑架倒塌引发真空镀膜设备损坏无法正常运行，第一镀膜箱的背部贴合于第二镀膜箱的前端，有利于减少在镀膜过程中异物进入膜内，导致压膜时压膜物有鼓包造成压模失败的情况产生，第一旋转轴嵌入于第二镀膜箱的内部，有利于真空镀膜设备运行时镀膜物可稳定顺畅的进入密封箱进行密封。

12、电机的一端贴合于与固定块的一端，有利于操作人员定期对电机进行拆卸维护，减少因电机故障导致第一旋转轴无法运行，使镀膜物无法进入密封箱进行密封工作，密封箱的下端贴合于支撑架的上端，有利于避免镀膜物在密封过程中出现漏气，导致镀膜物密封失败影响生产进度，气缸贴合于密封箱的外部有利于确保气缸正常运行，镀膜物密封顺畅，排气孔贴合于密封箱的外端下部，有利于防止排气孔从密封箱上脱落，导致密封箱无法顺利排出，影响操作者对镀膜物进行取出。

技术特征：

1.一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，包括底座(1)、密封结构(3)和第一旋转轴(7)，其特征在于：所述底座(1)的上端一侧安装有支撑架(2)，且支撑架(2)的一侧安装有第一镀膜箱(4)，并且支撑架(2)的上端安装有密封结构(3)，所述镀膜箱(4)的一端安装有第二镀膜箱(5)，且第二镀膜箱(5)内部上端安装有第一旋转轴(7)，并且第二镀膜箱(5)内部下端安装有第二旋转轴(8)，所述第二旋转轴(8)远离第二镀膜箱(5)的一端安装有固定块(9)，且固定块(9)的两端安装有电机(6)，所述密封结构(3)包括有密封箱(301)、气缸(302)、进气口(303)和排气孔(304)，所述密封箱(301)的上端一侧安装有气缸(302)，并且气缸(302)的一侧安装进气口(303)，所述密封箱(301)的下端外部安装有排气孔(304)。

2.根据权利要求1所述的一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，其特征在于：所述支撑架(2)的下端贴合于底座(1)的上端，且支撑架(2)与底座(1)为焊接连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，其特征在于：所述第一镀膜箱(4)的背部贴合于第二镀膜箱(5)的前端，且第一镀膜箱(4)与第二镀膜箱(5)为焊接连接，且第一镀膜箱(4)与第二镀膜箱(5)相连通。

4.根据权利要求1所述的一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，其特征在于：所述第二旋转轴(8)嵌入于第二镀膜箱(5)的内部，且第二旋转轴(8)与第二镀膜箱(5)为活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，其特征在于：所述电机(6)的一端贴合于与固定块(9)的一端，且电机(6)与固定块(9)为卡扣连接。

6.根据权利要求1所述的一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，其特征在于：所述密封箱(301)的下端贴合于支撑架(2)的上端，且密封箱(301)与支撑架(2)为焊接连接。

7.根据权利要求1所述的一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，其特征在于：所述气缸(302)贴合于密封箱(301)的外部，且气缸(302)与为卡扣连接。

8.根据权利要求1所述的一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，其特征在于：所述排气孔(304)贴合于密封箱(301)的外端下部，且排气孔(304)与密封箱(301)为固定连接。

技术总结
本技术公开了一种具有双重密封结构的真空镀膜设备，包括底座、密封结构和第一旋转轴，所述底座的上端一侧安装有支撑架，且支撑架的一侧安装有第一镀膜箱，并且支撑架的上端安装有密封结构，所述镀膜箱的一端安装有第二镀膜箱，且第二镀膜箱内部上端安装有第一旋转轴，并且第二镀膜箱内部下端安装有第一旋转轴。该具有双重密封结构的真空镀膜设备使用时，支撑架的下端贴合于底座的上端，有利于真空镀膜设备稳定运行，避免支撑架倒塌引发真空镀膜设备损坏无法正常运行，第一镀膜箱的背部贴合于第二镀膜箱的前端，有利于减少在镀膜过程中异物进入膜内。

技术研发人员：洪本善,许元理,汪曙新,刘扬
受保护的技术使用者：深圳市联生佳科技有限公司
技术研发日：20230816
技术公布日：2024/3/21