本技术涉及单晶炉加工领域,尤其涉及一种炉底多孔抛光机。
背景技术:
1、单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
2、在单晶炉炉底板表面需要焊接法兰,焊接前炉底孔内壁需要进行抛光处理,传统采用人工手持砂轮打磨抛光,且抛光时炉底板缺乏固定,一般直接人工踩在炉底上依靠重力压住进行抛光,抛光作业费时费力,工作效率底,且抛光质量依赖人工,不能保证。
技术实现思路
1、本实用新型旨在解决现有技术的不足,而提供一种炉底多孔抛光机。
2、本实用新型为实现上述目的,采用以下技术方案:一种炉底多孔抛光机,包括底座,底座前后两侧设有x轴向滑动的滑柱,滑柱顶部设有立柱,立柱顶部设有上横梁,滑柱底部设有下横梁,下横梁位于底座下方;底座底部设有驱动下横梁滑动的第一动力机构,上横梁顶部设有y轴向滑动的滑座,上横梁上设有驱动滑座滑动的第二动力机构;滑座左右两侧对应固设有立板,两立板相背离面上均设有抛光机构;底座顶部设有定位固定机构,用于对炉底定位及固定;底座一侧设有控制箱,第一动力机构、第二动力机构、抛光机构通过控制箱控制。
3、特别的,底座包括第一矩管、第二矩管、第三矩管、工作板,两对第一矩管焊接成矩形边框,若干第二矩管垂直焊接在矩形边框内,工作板焊接在第一矩管和第二矩管顶部,四个第三矩管焊接在第一矩管形成的矩形边框底部四角处,一个y轴向第一矩管外侧壁设有连接板,控制箱安装在连接板外侧。
4、特别的,两个x轴向的第一矩管顶部和外侧壁设有第一滑轨,滑柱呈倒l形,滑柱的内侧壁设有与第一滑轨匹配的第一滑块,且第一滑块滑动设于第一滑轨上,滑柱左右两侧对应固设有第一伸缩挡罩,且两个第一伸缩挡罩相背离一侧固接在第一滑轨端部,第一伸缩挡罩内侧设有与第一滑轨对应的第一滑槽,第一伸缩挡罩覆盖第一滑轨并通过第一滑槽沿第一滑轨滑动。
5、特别的,第一动力机构包括第一电机、第一丝杠、第一限位座、第一滑套、第一连接座,一对第一限位座固接在一对y轴向的第一矩管底部中间,第一丝杠转动连接在一对第一限位座之间,第一滑套螺纹连接在第一丝杠上,且第一滑套通过第一连接座与下横梁顶部固接,第一电机固接在连接板内侧,且第一丝杠和第一电机的主轴通过皮带传动。
6、特别的,上横梁顶部中间设有凹槽,上横梁顶部左右两侧设有关于凹槽对称的第二滑轨,上横梁前后两侧设有端板,滑座底部设有第二滑块,且第二滑块滑动设于第二滑轨上,滑座前后两侧对应固设有第二伸缩挡罩,且两个第二伸缩挡罩相背离一侧固接在第二滑轨端部,第二伸缩挡罩内侧设有与第二滑轨对应的第二滑槽,第二伸缩挡罩覆盖第二滑轨并通过第二滑槽沿第二滑轨滑动。
7、特别的,第二动力机构包括第二电机、第二丝杠、第二限位座、第二滑套、第二连接座,一对第二限位座固接在凹槽内前后两侧,第二丝杠转动连接在一对第二限位座之间,第二滑套螺纹连接在第二丝杠上,且第二滑套通过第二连接座与滑座底部固接,第二电机固接在上横梁左侧一端,第二丝杠穿出端板与第二电机的主轴通过皮带传动,且该端板外侧设有皮带防护罩。
8、特别的,抛光机构包括第一抛光电机、第二抛光电机、第一抛光轮、第二抛光轮,立板外侧设有两对第三滑轨,第三滑轨上滑动设有第三滑块,第三滑块上设有滑板,立板上设有驱动滑板升降的第三动力机构,第一抛光电机和第二抛光电机分别安装在对应的滑板上,且第一抛光轮固接在第一抛光电机的主轴上,第二抛光轮固接在第二抛光电机的主轴上。
9、特别的,第三动力机构包括气缸和第三电机,气缸设于一对第三滑轨之间的立板顶部并通过活塞杆驱动对应的滑板升降,第三电机设于另一对第三滑轨之间的立板顶部并通过丝杠传动的方式驱动对应的滑板升降。
10、特别的,定位固定机构包括两对定位底板、若干固定底板,两对定位底板对应固接在工作板顶部左右两侧,若干固定底板圆周设置在工作板顶部,一对定位底板上分别设有快速夹具和定位柱,定位柱顶部滑动设有一对定位夹块,快速夹具的压杆端部设有楔形压头,定位夹块通过楔形压头推动,固定底板顶部转动连接有转轴,转轴顶部设有倒l行的压杆,固定底板顶部设有支撑柱,压杆的水平杆端部底部设有压块,炉底上的圆孔套设在定位柱上并通过支撑柱支撑,且炉底通过楔形压头和压块定位及固定。
11、特别的,一个x向的第一矩管外侧设有第一线管架,第一线管架上设有第一穿线管,两个端板顶部设有第二线管架,第二线管架上设有第二穿线管,控制箱与抛光机构之间的导线经第一穿线管和第二穿线管导向。
12、本实用新型的有益效果是:
13、1、本实用新型通过设置底座、定位固定机构,使得炉底便于定位和固定,且定位固定操作便捷,使用方便,避免抛光作业时炉底发生挪移,影响抛光质量;
14、2、本实用新型通过设置滑柱、第一动力机构、立柱、上横梁、下横梁、滑座、第二动力机构、抛光机构,使得抛光机构可在x轴方向、y轴方向、z轴方向移动,便于对炉底各个位置放入孔进行抛光,且第一伸缩挡罩和第二伸缩挡罩的设置,便于对第一滑轨和第二滑轨进行保护,避免粉尘或其他废屑溅射在滑轨上影响抛光机构移动;
15、3、使用本实用新型进行抛光作业时,炉底便于固定,相比于人工作业,省时省力,工作效率高,抛光质量有保证。
1.一种炉底多孔抛光机,其特征在于,包括底座(1),底座(1)前后两侧设有x轴向滑动的滑柱(2),滑柱(2)顶部设有立柱(3),立柱(3)顶部设有上横梁(4),滑柱(2)底部设有下横梁(5),下横梁(5)位于底座(1)下方;底座(1)底部设有驱动下横梁(5)滑动的第一动力机构(6),上横梁(4)顶部设有y轴向滑动的滑座(7),上横梁(4)上设有驱动滑座(7)滑动的第二动力机构(8);滑座(7)左右两侧对应固设有立板(9),两立板(9)相背离面上均设有抛光机构(10);底座(1)顶部设有定位固定机构(11),用于对炉底定位及固定;底座(1)一侧设有控制箱(12),第一动力机构(6)、第二动力机构(8)、抛光机构(10)通过控制箱(12)控制。
2.根据权利要求1所述的一种炉底多孔抛光机,其特征在于,底座(1)包括第一矩管(101)、第二矩管(102)、第三矩管(103)、工作板(104),两对第一矩管(101)焊接成矩形边框,若干第二矩管(102)垂直焊接在矩形边框内,工作板(104)焊接在第一矩管(101)和第二矩管(102)顶部,四个第三矩管(103)焊接在第一矩管(101)形成的矩形边框底部四角处,一个y轴向第一矩管(101)外侧壁设有连接板(105),控制箱(12)安装在连接板(105)外侧。
3.根据权利要求2所述的一种炉底多孔抛光机,其特征在于,两个x轴向的第一矩管(101)顶部和外侧壁设有第一滑轨(106),滑柱(2)呈倒l形,滑柱(2)的内侧壁设有与第一滑轨(106)匹配的第一滑块(201),且第一滑块(201)滑动设于第一滑轨(106)上,滑柱(2)左右两侧对应固设有第一伸缩挡罩(202),且两个第一伸缩挡罩(202)相背离一侧固接在第一滑轨(106)端部,第一伸缩挡罩(202)内侧设有与第一滑轨(106)对应的第一滑槽,第一伸缩挡罩(202)覆盖第一滑轨(106)并通过第一滑槽沿第一滑轨(106)滑动。
4.根据权利要求3所述的一种炉底多孔抛光机,其特征在于,第一动力机构(6)包括第一电机(601)、第一丝杠(602)、第一限位座(603)、第一滑套(604)、第一连接座(605),一对第一限位座(603)固接在一对y轴向的第一矩管(101)底部中间,第一丝杠(602)转动连接在一对第一限位座(603)之间,第一滑套(604)螺纹连接在第一丝杠(602)上,且第一滑套(604)通过第一连接座(605)与下横梁(5)顶部固接,第一电机(601)固接在连接板(105)内侧,且第一丝杠(602)和第一电机(601)的主轴通过皮带传动。
5.根据权利要求4所述的一种炉底多孔抛光机,其特征在于,上横梁(4)顶部中间设有凹槽(401),上横梁(4)顶部左右两侧设有关于凹槽(401)对称的第二滑轨(402),上横梁(4)前后两侧设有端板(403),滑座(7)底部设有第二滑块(701),且第二滑块(701)滑动设于第二滑轨(402)上,滑座(7)前后两侧对应固设有第二伸缩挡罩(702),且两个第二伸缩挡罩(702)相背离一侧固接在第二滑轨(402)端部,第二伸缩挡罩(702)内侧设有与第二滑轨(402)对应的第二滑槽,第二伸缩挡罩(702)覆盖第二滑轨(402)并通过第二滑槽沿第二滑轨(402)滑动。
6.根据权利要求5所述的一种炉底多孔抛光机,其特征在于,第二动力机构(8)包括第二电机(801)、第二丝杠(802)、第二限位座(803)、第二滑套(804)、第二连接座(805),一对第二限位座(803)固接在凹槽(401)内前后两侧,第二丝杠(802)转动连接在一对第二限位座(803)之间,第二滑套(804)螺纹连接在第二丝杠(802)上,且第二滑套(804)通过第二连接座(805)与滑座(7)底部固接,第二电机(801)固接在上横梁(4)左侧一端,第二丝杠(802)穿出端板(403)与第二电机(801)的主轴通过皮带传动,且该端板(403)外侧设有皮带防护罩(806)。
7.根据权利要求6所述的一种炉底多孔抛光机,其特征在于,抛光机构(10)包括第一抛光电机(1001)、第二抛光电机(1002)、第一抛光轮(1003)、第二抛光轮(1004),立板(9)外侧设有两对第三滑轨(901),第三滑轨(901)上滑动设有第三滑块(902),第三滑块(902)上设有滑板(903),立板(9)上设有驱动滑板(903)升降的第三动力机构,第一抛光电机(1001)和第二抛光电机(1002)分别安装在对应的滑板(903)上,且第一抛光轮(1003)固接在第一抛光电机(1001)的主轴上,第二抛光轮(1004)固接在第二抛光电机(1002)的主轴上。
8.根据权利要求7所述的一种炉底多孔抛光机,其特征在于,第三动力机构包括气缸(1005)和第三电机(1006),气缸(1005)设于一对第三滑轨(901)之间的立板(9)顶部并通过活塞杆驱动对应的滑板(903)升降,第三电机(1006)设于另一对第三滑轨(901)之间的立板(9)顶部并通过丝杠传动的方式驱动对应的滑板(903)升降。
9.根据权利要求8所述的一种炉底多孔抛光机,其特征在于,定位固定机构(11)包括两对定位底板(1101)、若干固定底板(1102),两对定位底板(1101)对应固接在工作板(104)顶部左右两侧,若干固定底板(1102)圆周设置在工作板(104)顶部,一对定位底板(1101)上分别设有快速夹具(1103)和定位柱(1104),定位柱(1104)顶部滑动设有一对定位夹块(1105),快速夹具(1103)的压杆端部设有楔形压头(1106),定位夹块(1105)通过楔形压头(1106)推动,固定底板(1102)顶部转动连接有转轴(1107),转轴(1107)顶部设有倒l行的压杆(1108),固定底板(1102)顶部设有支撑柱(1109),压杆(1108)的水平杆端部底部设有压块(1110),炉底上的圆孔套设在定位柱(1104)上并通过支撑柱(1109)支撑,且炉底通过楔形压头(1106)和压块(1110)定位及固定。
10.根据权利要求9所述的一种炉底多孔抛光机,其特征在于,一个x向的第一矩管(101)外侧设有第一线管架(107),第一线管架(107)上设有第一穿线管(108),两个端板(403)顶部设有第二线管架(404),第二线管架(404)上设有第二穿线管(405),控制箱(12)与抛光机构(10)之间的导线经第一穿线管(108)和第二穿线管(405)导向。