本发明涉及蒸发源，具体为一种用于oled蒸镀的旋转蒸发源装置及方法。
背景技术：
1、在oled(有机发光二极管)制造领域，蒸镀技术作为核心工艺之一，对材料的纯度和蒸镀过程的均匀性有着极高的要求。高纯钴靶作为蒸镀过程中的关键材料，其蒸发效率和均匀性直接影响到oled显示屏的性能和寿命。因此，设计一种高效、稳定且能够确保高纯钴靶均匀蒸发的蒸发源装置显得尤为重要，传统的蒸镀设备在处理高纯钴靶时，往往面临蒸发效率低、材料浪费严重以及蒸镀层均匀性差等问题。这些问题主要源于蒸镀过程中材料受热不均、蒸发速率难以控制以及蒸镀腔室内气流扰动等因素。
2、如现有技术公告号为cn104073764b的专利申请，该申请公开了一种用于oled蒸镀的旋转蒸发源装置，包括用于盛放蒸镀材料的坩埚、用于加热所述坩埚的蒸发源本体、带动所述坩埚转动的转盘和驱动所述转盘转动的驱动源部件；所述蒸发源本体内设有容置所述坩埚的空间，所述转盘上设置有通孔，所述转盘活动盖合在所述蒸发源本体上，所述坩埚穿过所述转盘上设置的通孔放置在所述转盘上，所述坩埚与所述转盘相对固定连接；所述驱动源部件设置于所述蒸发源本体外部，并驱动所述转盘沿所述蒸发源本体的中心轴转动，所述转盘带动所述坩埚沿所述蒸发源本体的中心轴转动。该申请通过电机控制在蒸发源中旋转，有利于提高坩埚的温度均匀性，从而提高蒸发的稳定性。
3、在现有的高纯钴靶用于oled蒸镀的旋转蒸发源装置中，虽然通过设置电机驱动坩埚旋转，有效地促进了材料的均匀受热和加热效率，但在实际应用过程中，喷头作为将蒸发材料均匀喷涂到基板上的关键部件，其位置和角度的精确控制对于实现高质量、高精度的oled显示屏制造至关重要，然而，在现有的旋转蒸发源装置中，其喷头往往被固定在坩埚的某一位置，导致在蒸发过程中，材料虽然通过旋转得到了较为均匀的加热，但在从喷头喷出并沉积到基板上的过程中，却难以形成理想的均匀覆盖层，会直接导致材料蒸发后的分布不均，具体表现为基板某些区域材料堆积过厚，而其他区域则可能覆盖不足，形成“斑点”或“条纹”等不均匀现象。这种不均匀性不仅会影响oled显示屏的视觉效果，还可能对其电学性能和寿命造成不利影响。为此，本技术提出一种用于oled蒸镀的旋转蒸发源装置及方法。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种用于oled蒸镀的旋转蒸发源装置及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于oled蒸镀的旋转蒸发源装置，包括蒸发源本体以及与其适配的坩埚，所述蒸发源本体的上方且位于坩埚的外表面设置有环壳，所述环壳的内部转动连接有旋转盘，所述旋转盘的内壁固定连接有内凸条，所述坩埚的外表面均匀固定连接有多个与内凸条适配的橡胶凸块，所述环壳的顶部设置有驱动旋转盘旋转的动力组件，所述坩埚的顶部连通有多个排气软管，多个所述排气软管的一端均连通有喷头，所述环壳的上方设置有活动架，所述活动架的底部设置有多个驱动喷头移动的调节曲柄，所述环壳的外表面均匀固定连接有多个输气筒，所述活动架的上方设置有可与输气筒连通的受气筒，所述受气筒的底部设置有驱动活动架升降的驱动组件，所述坩埚的内部设置有搅拌叶。
3、优选的，所述动力组件包括固定连接于环壳顶部的驱动电机，所述驱动电机的输出端延伸至环壳的内部且固定连接有主动齿轮，所述旋转盘的外表面固定连接有与主动齿轮啮合的从动齿轮。
4、优选的，所述旋转盘的外表面开设有凹槽，所述凹槽内固定连接有凹凸轨，多个所述输气筒的一端均滑动连接有与其适配的第二活塞杆，所述第二活塞杆的一端固定连接有可与凹凸轨滑动连接的弹簧杆，所述第二活塞杆的活塞端固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端与输气筒的内部固定连接。
5、优选的，多个所述输气筒的一端分别固定连接且连通的连气管，多个所述连气管的一端共同连通有汇气管，所述汇气管的底部连通有三通阀，所述三通阀的底部与受气筒连通，所述三通阀的另一端连通有排空管。
6、优选的，所述驱动组件包括滑动连接于受气筒底部的第一活塞杆，所述第一活塞杆的活塞端置于受气筒的内部，所述第一活塞杆的底部固定连接有连接座，所述连接座与活动架螺栓连接，所述第一活塞杆的外表面套设有第一弹簧，所述第一弹簧的顶部与第一活塞杆的活塞端固定连接，所述第一弹簧的底部与受气筒的内部固定连接。
7、优选的，所述活动架的内部均匀开设有多个滑槽，多个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块，多个所述滑块分别与多个所述调节曲柄转动连接，多个所述调节曲柄的一端均固定连接有可与喷头连接的固定夹。
8、优选的，所述坩埚的顶部固定连接有弹簧杆，所述弹簧杆的伸缩端与活动架的底部固定连接，所述蒸发源本体的顶部固定连接有多个支座，多个所述支座的顶部共同连接于环壳的底部。
9、优选的，所述坩埚的内部固定连接有支架，所述支架的内部转动连接有转杆，所述转杆的底部与多个搅拌叶固定连接。
10、优选的，所述转杆的外表面均匀固定连接有多个凸叶，所述支架的内部开设有导向槽，多个所述导向槽的内部均滑动连接有重力块，多个所述重力块的顶部均转动连接有与凸叶抵触的旋转杆，所述导向槽的内部固定连接有与重力块固定连接的拉簧。
11、本发明还提供了一种用于oled蒸镀的旋转蒸发源方法，包括以下步骤：
12、s1、首先使用时可将高纯钴靶灌入坩埚的内部，随后将坩埚穿过环壳的内部使得坩埚置于蒸发源本体的内部，随后将开启蒸发源本体可对坩埚内的高纯钴靶进行加热使其蒸发；
13、s2、随后通过开启动力组件驱动旋转盘旋转，随后带动坩埚在蒸发源本体的内部旋转，从而改变多个喷头的位置，使得蒸发的材料均匀喷射于基板上；
14、s3、同时当旋转盘转动时将使得输气筒的内部的气体不断被推动，使得推动输气筒内的气体不断的进入受气筒内，进而推动活动架下移，此时驱动组件将控制住多个喷头的指向位置；
15、s4、当坩埚旋转时将带动其内部的搅拌叶在坩埚的内部搅动，使得高纯钴靶材料被搅拌以提高蒸发效率。
16、与现有技术相比，本发明的有益效果是：
17、1.当旋转盘旋转时，由于内凸条与橡胶凸块之间的摩擦力，坩埚也随之在蒸发源本体内部旋转。这种旋转运动使得蒸发的材料能够更广泛地分布到坩埚内部，同时内凸条与橡胶凸块可便于将坩埚进行拆卸，齿轮系统的精确啮合确保了旋转盘和坩埚的旋转速度和角度可以精确控制，这种精确控制使得喷头能够按照预定的轨迹和速度移动，通过调整电机的转速和旋转盘的设计，可以灵活地改变坩埚和喷头的旋转速度和轨迹，以适应不同喷涂需求和基板形状。
18、2.通过三通阀的操控，可以灵活地使汇气管与受气筒或排空管连通。当与受气筒连通时，气体的往复流动推动活动架上下移动，进而改变喷头的喷射角度。这种动态调节能力使得喷头能够适应不同的工作环境和喷涂需求，确保喷涂效果的均匀性和质量，活动架的上下移动不仅改变了喷头的喷射角度，还间接影响了喷头的喷射范围和均匀性，通过操控三通阀，实现了汇气管、受气筒和排空管之间的切换，这种设计使得系统能够根据需要自动调整气体流动方向，进而控制活动架和喷头的位置，各个部件之间的精密配合使得整个系统能够自动化运行，无需人工干预即可完成材料的蒸发和喷涂过程。同时，由于各个部件的设计都考虑了精确控制的需求。
19、3.搅拌叶的搅动作用能够打破材料表面的张力，增加材料与热源的接触面积，使得热量更快地传递到材料内部，从而提高蒸发效率，当坩埚旋转时，搅拌叶不仅随其旋转，还通过转杆的反向旋转进行更为复杂的搅动，这种双重搅拌效果进一步增强了材料的均匀性和蒸发速率，旋转杆与凸叶之间的相互作用使得搅拌机构能够自动适应坩埚的不同旋转速度。随着转速的增加，离心力增大，重力块移动更远，旋转杆对凸叶的推动力也增大，进而增加搅拌叶的搅动幅度和频率，拉簧的引入为系统提供了稳定性，它限制了重力块的移动距离，防止旋转杆越过凸叶而导致机构失效。这种设计确保了搅拌机构在高速旋转时仍能保持稳定的搅动效果。