本发明涉及真空蒸镀装置，特别涉及一种线性蒸发源单元及多蒸发源间隔蒸镀装置。
背景技术：
1、oled显示器相较于lcd显示器具有很多优势，例如色彩再现好、响应时间短、低温特性好，且厚度可以做到更薄、重量更轻、柔性好，手机、手表等显示器已普遍使用了oled显示屏。
2、oled显示屏的量产有机膜层镀膜大都采用线型蒸发源蒸镀得到，现有技术中，为了提高蒸镀速率，公开号为cn118064842a的中国发明专利公开了一种多蒸发源间隔蒸镀装置及镀膜方法，该多蒸发源间隔蒸镀装置设有多个平行的线性蒸发源和具有多个开口部和遮蔽部的掩膜板，通过使每个线性蒸发源在相邻的两个遮蔽部之间往复运动，完成对基板的蒸镀，可大大提高蒸镀速率。然而，该多蒸发源间隔蒸镀装置虽然蒸镀效率较高，但是还存在以下缺陷：由于线性蒸发源在不蒸镀时，需移动至遮蔽部的下方，通过遮蔽部将其遮挡，并且，为了防止线性蒸发源在不蒸镀时喷射至开口部，要求线性蒸发源蒸气覆盖的宽度需小于遮蔽部的宽度，最好越窄越好，这就导致在蒸镀多种材料时，由于需多个不同材料的坩埚，使得多种材料形成线性蒸发源组的宽度较宽，且其形成的蒸气喷射范围也增大，这就导致线性蒸发源组喷射的蒸气易在不蒸镀时覆盖到开口部处，对此，公开号为cn118064842a多蒸发源间隔蒸镀装置通过设置外置的坩埚和管道型的连接件，将坩埚与蒸气喷射结构分离，通过连接件将多个坩埚与线性的喷射结构相连，以满足蒸镀多种材料时，喷射结构的蒸气宽度小于遮蔽部的宽度。然而这种结构的线性蒸发源，由于坩埚形成的蒸气依赖管道型连接件传输，其易导致蒸气在喷射结构中的分布不均，最终导致膜层厚度不均；其次，为了使蒸气传输至喷射结构的两端，且要保证蒸发速率达到要求，务必使加热温度更高，然而高温会造成有机材料劣化，尤其生产中是长时间加热时，从而直接导致oled器件性能下降，如效率和寿命。可见，现有技术还有待改进和提高。
技术实现思路
1、鉴于上述现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种线性蒸发源单元及多蒸发源间隔蒸镀装置，旨在解决现有多蒸发源间隔蒸镀装置在蒸镀多种材料时，存在膜层厚度不均，质量不佳的缺陷。
2、为了达到上述目的，本发明采取了以下技术方案：
3、一种线性蒸发源单元，其中，包括多个线性蒸发源；所述线性蒸发源呈l形，包括本体、呈线性排列的多个喷嘴、用于连通本体和喷嘴的蒸发颈；所述本体内设有坩埚，用于将蒸镀材料形成蒸气；所述蒸发颈设置于本体的顶部，并沿本体侧边向上延伸，其内设有连通本体和喷嘴的导气通道；多个所述线性蒸发源的本体由下至上依次叠放，且所有线性蒸发源的蒸发颈位于同侧。
4、所述的线性蒸发源单元中，所述蒸发颈内设有蒸气速率调节机构。
5、所述的线性蒸发源单元中，所述蒸气速率调节机构包括调节板、转轴、第一驱动装置，所述调节板的长度和宽度与蒸发颈的长度和宽度适配，并通过转轴设置于导气通道中，所述转轴的一端穿过蒸发颈的侧壁，并与第一驱动装置传动连接。
6、所述的线性蒸发源单元中，所述转轴的两端设有外螺纹，所述蒸发颈的侧壁设有螺纹孔。
7、所述的线性蒸发源单元中，所述第一驱动装置的输出端设有主动齿轮，所述转轴与第一驱动装置传动连接的一端设有从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合，且主动齿轮的直径小于从动齿轮的直径。
8、所述的线性蒸发源单元中，所述蒸发颈及调节板均设有加热机构。
9、所述的线性蒸发源单元中，所述本体及蒸发颈外侧包覆有隔热层。
10、所述的线性蒸发源单元中，多个所述线性蒸发源的喷嘴呈对称设置，且位于两侧的喷嘴相对倾斜。
11、所述的线性蒸发源单元中，位于两侧的喷嘴的外侧还设有限制板。
12、一种多蒸发源间隔蒸镀装置，其包括多组如上所述的线性蒸发源单元。
13、有益效果：本发明第一方面提供了一种线性蒸发源单元，该线性蒸发源单元由多个线性蒸发源堆叠组成，可满足同时蒸镀多种材料的需要，并且通过将多个本体叠放的方式，结构紧凑，可减小多个本体在水平方向的宽度，进而满足在间隔蒸镀装置中，在遮蔽部下方空间较窄的情况下，仍能设置具有蒸镀多种材料功能的线性蒸发源单元；其次，由于这种蒸镀单元结构无需将坩埚外置，蒸气可通过蒸发颈快速输送至喷嘴处，因此无需为了保证蒸气在远距离输送过程的温度而过度升温，进而可避免因高温导致的材料变质；再者，通过设置狭长扁平的蒸发颈，其占用空间小，以便于叠放于上方的本体的体积不至于缩小太多，使多个线性蒸发源进行叠放得以实现，并且，该蒸发颈内狭长的导气通道使材料蒸气在线性蒸发源的线性方向上得到充分扩散，起到均化的作用，可使位于线性蒸发源两端的喷嘴的蒸气浓度与位于中间的相同，提高蒸镀膜的质量；进一步的，将多个蒸发颈同侧设置，可使同一单元的多列喷嘴之间的距离减小，形成的喷嘴组喷出的混合蒸气喷射宽度较窄，满足多蒸发源间隔蒸镀装置的需要；此外，在蒸镀多种材料时，各材料的配比并非刚好是1:1的，而上下叠放的本体的体积各不相同，能更好适应配比不同的多种材料，降低能耗。
1.一种线性蒸发源单元，其特征在于，包括多个线性蒸发源；所述线性蒸发源呈l形，包括本体、呈线性排列的多个喷嘴、用于连通本体和喷嘴的蒸发颈；所述本体内设有坩埚，用于将蒸镀材料形成蒸气；所述蒸发颈设置于本体的顶部，并沿本体侧边向上延伸，其内设有连通本体和喷嘴的导气通道；多个所述线性蒸发源的本体由下至上依次叠放，且所有线性蒸发源的蒸发颈位于同侧。
2.根据权利要求1所述的线性蒸发源单元，其特征在于，所述蒸发颈内设有蒸气速率调节机构。
3.根据权利要求2所述的线性蒸发源单元，其特征在于，所述蒸气速率调节机构包括调节板、转轴、第一驱动装置，所述调节板的长度和宽度与蒸发颈的长度和宽度适配，并通过转轴设置于导气通道中，所述转轴的一端穿过蒸发颈的侧壁，并与第一驱动装置传动连接。
4.根据权利要求3所述的线性蒸发源单元，其特征在于，所述转轴的两端设有外螺纹，所述蒸发颈的侧壁设有螺纹孔。
5.根据权利要求3所述的线性蒸发源单元，其特征在于，所述第一驱动装置的输出端设有主动齿轮，所述转轴与第一驱动装置传动连接的一端设有从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合，且主动齿轮的直径小于从动齿轮的直径。
6.根据权利要求5所述的线性蒸发源单元，其特征在于，所述蒸发颈及调节板均设有加热机构。
7.根据权利要求1所述的线性蒸发源单元，其特征在于，所述本体及蒸发颈外侧包覆有隔热层。
8.根据权利要求1所述的线性蒸发源单元，其特征在于，多个所述线性蒸发源的喷嘴呈对称设置，且位于两侧的喷嘴相对倾斜。
9.根据权利要求8所述的线性蒸发源单元，其特征在于，位于两侧的喷嘴的外侧还设有限制板。
10.一种多蒸发源间隔蒸镀装置，其特征在于，其包括多组如权利要求1-9任一项所述的线性蒸发源单元。