本发明及到低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产线，具体来说就是一种镀膜玻璃生产线的气体隔离装置。
背景技术：
1、气体隔离装置是低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产线中非常重要的组件，一方面是为防止镀膜区气压不均而造成气流窜动，另一方面是为了阻止相邻阴极位工艺镀膜时工艺气体和溅射物的互窜而造成污染。
2、如图1所示，现有的低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产线包含多级镀膜隔室，分子泵盖板安装于镀膜隔室单元上方，气体隔离装置安装在相邻镀膜隔舱之间的分子泵盖板下部。当相邻的镀膜隔舱使用不同的工艺气体时，镀膜隔舱中间需要设置两道气体隔离装置以及两套分子泵盖板。这就要求整个低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产线的镀膜区设置两个分子泵位，以实现有效的气体隔离。这种设计的生产线镀膜区域长度较长，分子泵盖板使用量较大，制造及使用成本较高。
技术实现思路
1、本发明的目的就是提供一种镀膜玻璃生产线的气体隔离装置，旨在解决现有的低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产线镀膜区域较冗长，镀膜效率低，加工成本较高的问题。
2、为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：
3、一种镀膜玻璃生产线的超性能气体隔离装置，包括分子泵盖板、上部气体隔离组件、下部气体隔离组件、以及边部气体隔离组件。其中分子泵盖板和上部气体隔离为本次发明的重要部件。所述分子泵盖板可配置七台分子泵，并通过气体隔离密封条与超性能气体隔离组件形成三路隔气通道，以此满足对相邻镀膜单元的抽气以及隔气的效果。
4、本发明提供了一种特殊结构的气体隔离装置，它能够将原本需要两个分子泵位才能实现的气体隔离功能，合并到一个分子泵位中。这种设计不仅能够显著缩短生产线镀膜区域的长度，从而节省宝贵的空间，而且还能有效降低生产成本，通过这种优化的气体隔离方案，生产线的效率和经济性都得到了显著提升。
1.一种镀膜玻璃生产线的气体隔离装置，包括镀膜玻璃生产线的镀膜隔室，镀膜隔室上设有分子泵盖板，其特征在于气体隔离装置（4）包括一个基板（4a），基板（4a）上面沿中心线长度方向对称连接一对隔板（4c），每个隔板（4c）前后对称位置分别设有一个气流罩（4e），气流罩形状为以隔板（4c）为基础向两个隔板之间延伸出内凹的腔体，腔体上边与隔板上边平齐，在隔板及腔体的上边设有密封条（4f）；
2.根据权利要求1所述的一种镀膜玻璃生产线的气体隔离装置，其特征在于，所述的分子泵盖板（1），包括矩形框体，矩形框体下端连接底板（1e），矩形框体连接一对桥板（1d），一个真空主管（1c）穿过并连接于一对桥板中心以及一个矩形框体端板中心，在矩形框体内的底板（1e）上连接一组分子泵，分子泵的设置规则如下：以底板（1e）中心为对称前后两部位置分别设有两台对称的第一分子泵（2），两台第一分子泵（2）分别部分覆盖气体隔离装置（4）中的两侧旁路通道（a），两台第一分子泵（2）其余部分分别覆盖对应位置的气流罩（4e），以底板中心为对称前、中、后分别设有一台第二分子泵（2a），三台第二分子泵（2a）分别覆盖气体隔离装置（4）中的中路通道（b）。
3.根据权利要求1或2所述的一种镀膜玻璃生产线的气体隔离装置，其特征在于，气体隔离装置（4）设置在镀膜上隔舱（3）中，气体隔离装置（4）下边的角钢（4b）采用连接件连接于镀膜上隔舱（3）内壁上，气体隔离装置（4）中的两个隔板（4c）及其上的气流罩（4e）分布与分子泵盖板（1）的底板（1e）连接，依靠两个隔板（4c）及其上的气流罩（4e）上边的密封条（4f）与底板（1e）密封配合，旁路通道（a）通过气流罩（4e）扩大了与分子泵2）的覆盖面积，使分子泵（2）不会抽到中路通道（b）的气体，气流罩（4e）覆盖了底板（1e）中与分子泵（2）相通的底孔（1f）。