一种双面抛光机的上盘温度检测结构的制作方法
【专利摘要】本发明是一种双面抛光机的上盘温度检测结构，包括上抛盘，所述上抛盘的一端面固接一水冷盘，上抛盘的另一端面上设置有上盘架，所述水冷盘与上抛盘上多处共同连接有传感器衬套，所述传感器衬套内设有温度传感器，所述温度传感器的导线与一水银滑环的活动端相连，所述水银滑环的活动端通过传动机构与上盘架连接并同步旋转。本发明结构简单，能对抛光盘实时直接检测，利用多点温度检测，提高了对抛光盘实现精密的温度控制，严格控制抛光盘的形变，保证了加工质量及精度。
【专利说明】
一种双面抛光机的上盘温度检测结构
技术领域
[0001]本发明涉及抛光机技术领域，具体涉及一种双面抛光机的上盘温度检测结构。
【背景技术】
[0002]本发明上抛光盘特殊水冷结构及温度控制技术，主要应用在电子专用加工设备双面抛光机中。由于在抛光过程中会产生大量的热，由于温度的变化必然会导致抛光盘发生形变，进而影响加工质量，因此必须严格控制抛光盘的温度。近年来为了加大IC芯片产量，降低单元制造成本，硅片的尺寸趋向大直径化，对硅片的质量要求也越来越严，对于用来进行硅片双面抛光加工的抛光设备，必须严格控制抛盘的形变。
[0003]目前市场上的同类抛光机，上抛盘具有水冷功能的很少，且多是对进出水温度进行检测，来控制盘面的温度。不能直接对盘面测温，测温不准且存在延时，因此不能有效控制盘面温度，保证工件的加工质量。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于克服现有技术存在的问题，提供一种双面抛光机的上盘温度检测结构，提高对抛光盘实现精密的温度控制，严格控制抛光盘的形变，保证了加工质量及精度。
[0005]为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现:
一种双面抛光机的上盘温度检测结构，包括上抛盘，所述上抛盘的一端面固接一水冷盘，上抛盘的另一端面上设置有上盘架，所述水冷盘与上抛盘上多处共同连接有传感器衬套，所述传感器衬套内设有温度传感器，所述温度传感器的导线与一水银滑环的活动端相连，所述水银滑环的活动端通过传动机构与上盘架连接并同步旋转。
[0006]进一步的，所述上盘架的上端和下端分别固接旋转接头支撑套和水冷盘，所述旋转接头支撑套内侧通过轴承转动地设有心轴，所述心轴下端固接有十字万向节下关节，所述水银滑环固接于十字万向节下关节的内孔中，水银滑环下方设有轴承密封盖，所述温度传感器的导线穿过轴承密封盖与水银滑环的活动端相连，所述轴承密封盖与旋转接头支撑套下端面卡接配合。
[0007]进一步的，所述水银滑环的活动端固接有夹紧板，所述夹紧板下端面与一同步杆固接，所述同步杆的一端设置于轴承密封盖的孔内，用于水银滑环的活动端与轴承密封盖同步旋转。
[0008]进一步的，所述水银滑环的固定端上的导线通过心轴内的穿线孔向上引出。
[0009]进一步的，所述心轴上端固接有法兰，所述法兰上设有穿线孔并与心轴内的穿线孔相配合对应，用于穿入水银滑环的固定端上的导线。
[0010]进一步的，所述法兰与一旋转密封套固接在一起，所述旋转密封套与旋转接头支撑套之间设有多个密封圈，多个密封圈之间的环形间隙形成进水通道和出水通道，用于上抛盘的冷却。[0011 ]进一步的，所述水冷盘内设有冷却水循环水道。
[0012]本发明的有益效果是:
本发明结构简单，能对抛光盘实时直接检测，利用多点温度检测，提高了对抛光盘实现精密的温度控制，严格控制抛光盘的形变，保证了加工质量及精度，并且本发明的温度传感器导线的同步布线方式，能有效避免温度传感器导线扭曲或损坏，大大延长使用寿命。
【附图说明】
[0013]图1为本发明的整体装配结构示意图；
图2为图1中Q处的测温结构局部放大图。
[0014]图中标号说明:1、上抛盘，2、上盘架，3、水冷盘，4、轴承密封盖，5、同步杆，6、夹紧板，7、水银滑环，8、十字万向节下关节，9、旋转接头支撑套，1、密封圈，11、旋转密封套，12、心轴，13、法兰，14、传感器衬套，15、温度传感器。
【具体实施方式】
[0015]下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。
[0016]参照图1和图2所示，一种双面抛光机的上盘温度检测结构，包括上抛盘I，所述上抛盘I的一端面固接一水冷盘3，上抛盘I的另一端面上设置有上盘架2，所述水冷盘3与上抛盘I上多处共同连接有传感器衬套14，在本实施例中设有两处，传感器衬套14同时插入水冷盘3与上抛盘I中，并通过螺纹紧固件紧固在一起，所述传感器衬套14内设有温度传感器15，温度传感器15的一部分通过螺母锁在传感器衬套14内，所述温度传感器15的导线与一水银滑环7的活动端相连，所述水银滑环7的活动端通过传动机构与上盘架2连接并同步旋转。
[0017]所述上盘架2的上端和下端分别固接旋转接头支撑套9和水冷盘3，所述旋转接头支撑套9内侧通过轴承转动地设有心轴12，所述心轴12下端固接有十字万向节下关节8，所述水银滑环7固接于十字万向节下关节8的内孔中，水银滑环7下方设有轴承密封盖4，所述温度传感器15的导线穿过轴承密封盖4与水银滑环7的活动端相连，所述轴承密封盖4与旋转接头支撑套9下端面卡接配合。
[0018]所述水银滑环7的活动端固接有夹紧板6，所述夹紧板6下端面与一同步杆5固接，所述同步杆5的一端设置于轴承密封盖4的孔内，用于水银滑环7的活动端与轴承密封盖4同步旋转，夹紧板6、同步杆5、轴承密封盖4和旋转接头支撑套9构成传动机构，使得水银滑环7的活动端与上盘架2同步旋转，避免温度传感器导线扭曲或损坏。
[0019]所述水银滑环7的固定端上的导线通过心轴12内的穿线孔向上引出。
[0020]所述心轴12上端固接有法兰13，所述法兰13上设有穿线孔并与心轴12内的穿线孔相配合对应，用于穿入水银滑环7的固定端上的导线。
[0021]所述法兰13与一旋转密封套11固接在一起，所述旋转密封套11与旋转接头支撑套9之间设有四个密封圈10，四个密封圈10之间的环形间隙形成进水通道和出水通道，用于上抛盘I的冷却。
[0022]所述水冷盘3内设有冷却水循环水道。
[0023]此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
[0024]以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种双面抛光机的上盘温度检测结构，包括上抛盘(I)，其特征在于，所述上抛盘(I)的一端面固接一水冷盘(3)，上抛盘(I)的另一端面上设置有上盘架(2)，所述水冷盘(3)与上抛盘(I)上多处共同连接有传感器衬套(14)，所述传感器衬套(14)内设有温度传感器(15)，所述温度传感器(15)的导线与一水银滑环(7)的活动端相连，所述水银滑环(7)的活动端通过传动机构与上盘架(2 )连接并同步旋转。2.根据权利要求1所述的双面抛光机的上盘温度检测结构，其特征在于，所述上盘架(2)的上端和下端分别固接旋转接头支撑套(9)和水冷盘(3)，所述旋转接头支撑套(9)内侧通过轴承转动地设有心轴(12)，所述心轴(12)下端固接有十字万向节下关节(8)，所述水银滑环(7)固接于十字万向节下关节(8)的内孔中，水银滑环(7)下方设有轴承密封盖(4)，所述温度传感器(15)的导线穿过轴承密封盖(4)与水银滑环(7)的活动端相连，所述轴承密封盖(4)与旋转接头支撑套(9)下端面卡接配合。3.根据权利要求2所述的双面抛光机的上盘温度检测结构，其特征在于，所述水银滑环(7)的活动端固接有夹紧板(6)，所述夹紧板(6)下端面与一同步杆(5)固接，所述同步杆(5)的一端设置于轴承密封盖(4)的孔内，用于水银滑环(7)的活动端与轴承密封盖(4)同步旋转。4.根据权利要求2或3所述的双面抛光机的上盘温度检测结构，其特征在于，所述水银滑环(7)的固定端上的导线通过心轴(12)内的穿线孔向上引出。5.根据权利要求4所述的双面抛光机的上盘温度检测结构，其特征在于，所述心轴(12)上端固接有法兰(13)，所述法兰(13)上设有穿线孔并与心轴(12)内的穿线孔相配合对应，用于穿入水银滑环(7)的固定端上的导线。6.根据权利要求5所述的双面抛光机的上盘温度检测结构，其特征在于，所述法兰(13)与一旋转密封套(11)固接在一起，所述旋转密封套(11)与旋转接头支撑套(9 )之间设有多个密封圈(10)，多个密封圈(10)之间的环形间隙形成进水通道和出水通道，用于上抛盘(I)的冷却。7.根据权利要求6所述的双面抛光机的上盘温度检测结构，其特征在于，所述水冷盘(3)内设有冷却水循环水道。
【文档编号】B24B29/02GK106041698SQ201610566986
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2016年7月19日
【发明人】乔卫民, 李方俊, 翟新, 马艳
【申请人】苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司