加热设备的控温系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及加热设备技术领域，特别是涉及一种加热设备的控温系统。
【背景技术】
[0002]蒸镀法是一种属于物理气相沉积的真空镀膜技术。它是将蒸镀的材料置于一个坩祸之中，通过对坩祸加热，使材料从固态转化为气态的原子、原子团或分子，然后凝聚到待镀膜的基板表面形成薄膜。
[0003]图1为现有的蒸镀设备的坩祸的结构示意图，如图1所示，以线性蒸发源(简称线源)为例，现有的坩祸10为长方体，在图1中，X方向为坩祸10的长度方向，Y方向为坩祸10的宽度方向，Z方向为坩祸10的高度方向。坩祸10包括四个侧面:第一侧面11、第二侧面(未在图1中显示)、第三侧面13、第四侧面14，其中，第一侧面11和第二侧面为坩祸10的长所在的侧面，第一侧面11和第二侧面相对设置，第三侧面13和第四侧面14为坩祸10的宽所在的侧面，第三侧面13和第四侧面14相对设置。一般的，坩祸10的上面设置有一樹祸盖20，;t甘祸10和；t甘祸盖20通过螺丝拧紧并紧扣住，；t甘祸盖20包括盖板22和位于盖板22上的蒸发孔21，一般的，蒸发孔21以螺纹紧固在盖板22上。通常，坩祸10的槽口附近还设置有用于控制材料蒸发量的中板，中板被坩祸盖20遮盖，中板在图1中未具体示出，此为本领域的技术人员可以理解的。
[0004]在现有技术中，坩祸10放置于蒸镀设备内，第三侧面13靠近蒸镀设备的门(door)，第四侧面14靠近蒸镀设备的传送装置(TM)。然而，坩祸10较长，在同一坩祸10的内部，靠近第三侧面13的一端、靠近第四侧面14的另一端以及坩祸10中部(位于一端和另一端中间的部分)的温度会有一定的差异，一般的坩祸10中部的温度小于靠近第三侧面13的一端的温度和靠近第四侧面14的另一端的温度，会对蒸镀所得膜厚均一性、蒸镀材料的变色等产生影响，进而会影响OLED等器件的显示效果和器件的使用性能；并且，在同一坩祸10的内部，靠近坩祸盖20的坩祸10顶部(TOP)的温度和坩祸10底部(BOTTOM)的温度亦会出现一定差异，影响OLED等器件的显示效果和器件的使用性能。
【实用新型内容】
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种加热设备的控温系统，用于控制所述加热设备中坩祸的温度，所述控温系统包括:
[0006]用于对所述坩祸进行加热的加热部件，所述加热部件包括多个用于对所述坩祸内部的预定位置进行加热的可变电阻，多个所述可变电阻分布于所述坩祸的外侧；
[0007]多个用于测量所述预定位置的温度的测温仪，多个所述测温仪位于所述坩祸内；以及
[0008]用于控制所述可变电阻的阻值的控制系统，所述控制系统连接所述可变电阻。
[0009]进一步的，在所述加热设备控温系统中，所述加热部件还包括用于对所述坩祸加热的固定电阻，所述固定电阻连接于多个所述可变电阻之间，所述可变电阻和固定电阻共同构成一整段式加热部件。
[0010]进一步的，在所述加热设备控温系统中，所述加热部件缠绕于所述坩祸的侧面，多个所述加热部件沿所述坩祸的高度方向排列。
[0011]进一步的，在所述加热设备控温系统中，所述坩祸为长方体，所述坩祸包括第一侧面，所述第一侧面为所述坩祸的长所在的侧面，所述预定位置包括在所述坩祸的长度方向的一端、中部和另一端，每个所述加热部件中至少三个所述可变电阻分布于所述坩祸的第一侧面，并位于沿所述坩祸的长度方向的一端、中部和另一端依次设置。
[0012]进一步的，在所述加热设备控温系统中，所述坩祸还包括与所述第一侧面相对设置的第二侧面，所述加热部件中至少三个所述可变电阻分布于所述坩祸的第二侧面，并位于沿所述坩祸的长度方向的一端、中部和另一端依次设置。
[0013]进一步的，在所述加热设备控温系统中，所述坩祸还包括第三侧面以及与所述第三侧面相对设置的第四侧面，所述第三侧面和第四侧面为所述坩祸的宽所在的侧面，所述第三侧面和第四侧面上分别分布有所述可变电阻。
[0014]进一步的，在所述加热设备控温系统中，所述控制系统为用于手动调节所述可变电阻的阻值的手动控制部件。
[0015]进一步的，在所述加热设备控温系统中，所述手动控制部件为驱动电机或手动旋钮。
[0016]进一步的，在所述加热设备控温系统中，每个所述可变电阻均对应一个所述驱动电机或手动旋钮；或，阻值调节方向一致的所述可变电阻共用一个所述驱动电机；或，阻值调节方向不一致的所述可变电阻通过变向单元共用一个所述驱动电机。
[0017]进一步的，在所述加热设备的控温系统中，所述控制系统为用于根据所述测温仪自动调节所述可变电阻的阻值的自动控制单元，所述自动控制单元分别连接所述测温仪和可变电阻，所述自动控制单元接收所述测温仪的温度信号，并向与所述测温仪对应的所述可变电阻发出一控制信号。
[0018]在本实用新型提供的一种加热设备的控温系统中，所述控温系统包括加热部件、测温仪和控制系统，所述加热部件包括多个用于对所述坩祸内部的预定位置进行加热的可变电阻，从而可以根据所述测温仪测得的预定位置的温度，通过所述控制系统控制所述可变电阻的阻值，进行分段加热，以分别对各个所述预定位置进行独立的温度控制，有利于提高所述坩祸内部各个位置的温度的均匀性。
【附图说明】
[0019]图1为现有技术中蒸镀设备的坩祸的立体示意图；
[0020]图2为本实用新型第一实施例的加热部件分布于坩祸的外侧的立体示意图；
[0021]图3为本实用新型第一实施例的加热部件分布于坩祸的外侧的俯视图；
[0022]图4为本实用新型第一实施例的加热部件分布于坩祸的外侧的主视图；
[0023]图5为本实用新型第二实施例的控温系统的示意图；
[0024]图6为本实用新型第三实施例的控温系统的示意图。
具体实施例
[0025]下面将结合示意图对本实用新型的加热设备的控温系统进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0026]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0027]本实用新型的核心思想在于，本实用新型提供一种加热设备的控温系统，用于控制所述加热设备中坩祸的温度，所述控温系统包括:用于对所述坩祸进行加热的加热部件，所述加热部件包括多个用于对所述坩祸内部的预定位置进行加热的可变电阻，多个所述可变电阻分布于所述坩祸的外侧；多个用于测量所述预定位置的温度的测温仪，多个所述测温仪位于所述坩祸内；以及用于控制所述可变电阻的阻值的控制系统，所述控制系统连接所述可变电阻。根据所述测温仪测得的预定位置的温度，通过所述控制系统调节所述可变电阻的阻值，进行分段加热，以分别对各个所述预定位置进行独立的温度控制，有利于提高所述坩祸内部各个位置的温度的均匀性。
[0028]以下列举所述加热设备的控温系统的几个实施例，以清楚说