一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空镀膜技术领域，涉及一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具。
【背景技术】
[0002]随着工厂用工成本的不断上升，越来越多的企业希望简化流程，简化操作步骤，减少生产制程中对人的依赖。我司主要产品的夹具之前是通过夹具上的四个孔挂在挂具上，挂具是带挂具钩的，挂一个夹具需要花费6个动作。挂一个夹具需要8秒，下挂需要6秒，上、下挂夹具比较费时。不好下挂，下挂时还经常有员工受伤。每个挂具只能挂7层，每层7个夹具，效率偏低。后续物理气相沉积(PVD)过程中，由于挂具钩二次使用时导电性差，挂具上的挂具钩存在尖端放电等问题，从而影响产品的良率和品质。
[0003]目前这种夹具的缺点是:上下挂时间长，作业时工件容易受伤，PVD产能偏低，良率偏低，品质偏差，挂盘容易损坏。
【实用新型内容】
[0004]为了克服现有技术的上述缺点，本实用新型提供一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具，它设计了母扣结构并尽量缩小夹具尺寸，挂具上设计子扣盘，从而缩短了上下挂时间，具有广能尚、良率尚、品质好的优点。
[0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具，包括一根挂具杆，在挂具杆上设置有等距排列的若干个子扣盘，在每个子扣盘的左右两侧则各设有一个子扣，该子扣呈倒立的门子型结构，子扣能够与夹具上的母扣扣合在一起，所述母扣呈正立的门子型，工件通过夹具上的夹具孔从而固定在挂具杆上。
[0006]本实用新型的有益效果是:通过本实用新型的实施，生产效率大大提高，成本大大降低，PVD良率高，产品品质大大提高。挂具子扣盘PVD时镀不到膜层，导电性良好，也不存在尖端放电，挂一个夹具只需要3个动作，下挂也很方便，因为没有尖的挂钩，作业人员不会受伤，挂具钩也不容易损坏，每个挂具杆可以挂9层，每层8个夹具，通过实施本实用新型，可以节约50%的劳动力，PVD机台的产能也提高了 46.9%。
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型挂具杆结构示意图；
[0008]图2是本实用新型夹具结构示意图；
[0009]图3是图1中A的放大图。
[0010]图中:1-挂具杆，2-子扣盘，3-子扣，4-夹具，5-母扣，6-工件。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0012]参见图1?图3，一种用于真空镀膜的工件6夹具4和挂具，包括一根挂具杆1，在挂具杆I上设置有等距排列的若干个子扣盘2，在每个子扣盘2的左右两侧则各设有一个子扣3，该子扣3呈倒立的门子型结构，子扣3能够与夹具4上的母扣5扣合在一起，所述母扣5呈正立的门子型，工件6通过夹具4上的夹具4孔从而固定在挂具杆I上。
[0013]通过本实用新型的实施，生产效率大大提高，成本大大降低，PVD良率高，产品品质大大提高。挂具子扣盘2PVD时镀不到膜层，导电性良好，也不存在尖端放电，挂一个夹具4只需要3个动作，下挂也很方便，因为没有尖的挂钩，作业人员不会受伤，挂具钩也不容易损坏，每个挂具杆I可以挂9层，每层8个夹具4，通过实施本实用新型，可以节约50%的劳动力，PVD机台的产能也提高了 46.9%。
【主权项】
1.一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具，包括一根挂具杆，其特征是:在挂具杆上设置有等距排列的若干个子扣盘，在每个子扣盘的左右两侧则各设有一个子扣，该子扣呈倒立的门子型结构，子扣能够与夹具上的母扣扣合在一起，所述母扣呈正立的门子型，工件通过夹具上的夹具孔从而固定在挂具杆上。
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于真空镀膜的工件夹具和挂具，包括一根挂具杆，在挂具杆上设置有等距排列的若干个子扣盘，在每个子扣盘的左右两侧则各设有一个子扣，该子扣呈倒立的门子型结构，子扣能够与夹具上的母扣扣合在一起，所述母扣呈正立的门子型，工件通过夹具上的夹具孔从而固定在挂具杆上。通过本实用新型的实施，生产效率大大提高，成本大大降低，PVD良率高，产品品质大大提高。挂具子扣盘PVD时镀不到膜层，导电性良好，也不存在尖端放电，挂一个夹具只需要3个动作，下挂也很方便，因为没有尖的挂钩，作业人员不会受伤，挂具钩也不容易损坏，可以节约50%的劳动力，PVD机台的产能也提高了46.9%。
【IPC分类】C23C14/50
【公开号】CN204714893
【申请号】CN201520364494
【发明人】杜旭颖, 阮志明, 王大洪, 曾德强, 陈明胜
【申请人】深圳市正和忠信股份有限公司
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年6月1日