多晶硅还原炉的绝缘组件的制作方法

文档序号:12014918阅读:来源:国知局
技术总结
一种多晶硅还原炉的绝缘组件,包括石墨支撑底座,石墨支撑底座包括第一导电臂和第二导电臂。多晶硅还原炉的绝缘组件还包括绝缘支撑台,该绝缘支撑台包括用于支撑第一导电臂的第一支撑臂和用于支撑第二导电臂的第二支撑臂。本实用新型的多晶硅还原炉的绝缘组件,对于多导电臂的石墨支撑底座对应设计,可以稳定支撑石墨支撑底座,保证多晶硅还原炉内可以高密度生长大量硅棒。

技术研发人员:齐林喜;喻波;陈建宇;赵亮;郝爱科
受保护的技术使用者:内蒙古盾安光伏科技有限公司
文档号码:201620986709
技术研发日:2016.08.31
技术公布日:2017.10.24

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