一种带有网格电极的反应炉的制作方法

文档序号:12099686阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种带有网格电极的反应炉,其包括:一反应室,所述反应室包括一进气口及一出气口,一生长基底,所述生长基底设置于反应室内,位于所述进气口及出气口之间,其特征在于,所述生长基底包括一圆柱框架和包裹在圆柱框架上的一碳纳米管催化剂复合层,所述圆柱框架可旋转的设置于反应室内部,所述圆柱框架的中心转轴垂直于气流方向,所述碳纳米管催化剂复合层上具有多个微孔,所述微孔在碳纳米管催化剂复合层上呈螺旋线状排列,通过所述碳纳米管催化剂复合层的旋转使所述反应气体在反应室内流动过程中穿过所述碳纳米管催化剂复合层的多个微孔,所述反应室内位于生长基底两侧分别设有网格电极。

2.根据权利要求1所述带有网格电极的反应炉,其特征在于,所述碳纳米管催化剂复合层包括碳纳米管层和催化剂颗粒,所述催化剂颗粒均匀分散于所述碳纳米管层表面。

3.根据权利要求2所述带有网格电极的反应炉,其特征在于,所述催化剂颗粒嵌入碳纳米管层的微孔中。

4.根据权利要求1所述带有网格电极的反应炉,其特征在于,所述圆柱框架沿顺时针方向旋转。

5.根据权利要求1所述带有网格电极的反应炉,其特征在于,所述圆柱框架材料为铝陶瓷。

6.根据权利要求1所述带有网格电极的反应炉,其特征在于,所述网格电极的平面形状为长方形、正方形、圆形或椭圆形。

7.根据权利要求1所述带有网格电极的反应炉,其特征在于,包括电源装置,该电源装置与该对网格电极相连接,用于在该对网格电极之间施加一电压,以在该对网格电极之间产生一电场。

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