技术总结
本实用新型涉及直拉单晶用加热器,包括圆筒状的加热器本体,加热器本体包括上部产热部和下部产热部,上部产热部的产热量大于下部产热部的产热量;直拉单晶用加热器安装到单晶炉中后,上部产热部与单晶棒结晶面以及单晶棒结晶面以上的区域对应,能够增大单晶棒的纵向温度梯度;下部产热部与坩埚对应,能够降低坩埚中的硅液的纵向温度梯度。减少了硅液底部的氧含量随着热对流向上移动到单晶棒结晶面,提高了单晶棒的质量。增大单晶棒的纵向温度梯度和降低坩埚中的硅液的纵向温度梯度能够提高单晶棒的拉速,从而提高生产效率和节约成本。
技术研发人员:周钦松
受保护的技术使用者:宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
文档号码:201621132136
技术研发日:2016.10.17
技术公布日:2017.05.24