退火装置的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种退火装置。

背景技术：

在制作AMOLED面板的过程中，首先要将玻璃基板放入退火装置中进行退火，以降低硬度，消除缺陷。

退火装置包括箱体、加热器和固定件。箱体的内壁上设置有陶瓷隔热材，在退火装置工作时，陶瓷隔热材用于避免箱体与外界的热传递。加热器通过固定件设置在箱体内。由于快速热退火工艺是在高温条件下进行，退火装置使用一段时间后，加热器上容易沾上水分，有机物等污染物颗粒会影响基板的良率和性能。因此需要定期将加热器拆卸下来进行维护。

但是，对于传统的退火装置，拆卸加热器为工作人员手动操作，工作人员首先将固定加热器的固定件拆卸，然后将加热器从箱体内取出。因此，在拆卸加热器的过程中，加热器容易碰到箱体内部的陶瓷隔热材，导致陶瓷隔热材或加热器损坏，存在安全隐患。

技术实现要素：

基于此，有必要针对传统的退火装置中从箱体内手动拆卸加热器时，加热器容易碰到箱体内部的陶瓷隔热材，导致陶瓷隔热材或加热器损坏，存在安全隐患的问题，提供一种退火装置。

一种退火装置，包括：箱体、滑移件、支撑部及加热器。所述滑移件设置在所述箱体内；所述支撑部与所述滑移件连接，所述支撑部随所述滑移件滑进到所述箱体内或滑出到所述箱体外；所述加热器设置在所述支撑部上。

在退火装置中，支撑部在滑移件的带动下滑进箱体内或滑出到箱体之外。加热器设置在支撑部上，因此，加热器和支撑部能够一起滑进箱体内或滑出箱体外。当加热器需要维护时，可以使加热器和支撑部一起滑出箱体外，并且将加热器从支撑部上拆下即可。这样，可以避免工作人员将手伸入箱体内部拆卸加热器并将加热器取出，避免加热器由工作人员的手的晃动导致的晃动(例如，左右晃动或上下晃动)，从而避免加热器与箱体内部部件碰撞，例如与陶瓷隔热材碰撞，进而避免部件或加热器损坏，因此，安全拆卸加热器。此外，通过可移动的支撑部来拆卸加热器，省时省力。

在其中一个实施例中，所述支撑部朝向所述加热器的一侧开设有凹槽，所述凹槽的形状与所述加热器相配合；所述加热器设置于所述凹槽内。

在其中一个实施例中，还包括卡紧部，所述卡紧部位于所述支撑部和所述加热器之间，所述卡紧部设置于所述支撑部上，所述卡紧部将所述加热器固定在所述凹槽内。

在其中一个实施例中，所述卡紧部设置于所述凹槽的表面，所述卡紧部包括卡环，所述加热器由所述卡环固定。

在其中一个实施例中，所述加热器为圆柱状；所述卡环为半圆形，所述卡环的开口朝向所述加热器，所述卡环的卡环臂卡紧所述加热器。

在其中一个实施例中，所述卡紧部的数量为3个，所述卡紧部沿着所述加热器的长度方向均匀分布于所述支撑部上。

在其中一个实施例中，所述退火装置还包括保护筒，所述保护筒设置于所述箱体内部，且所述保护筒套设于所述滑移件、所述支撑部和所述加热器的外部，所述滑移件能滑动穿过所述保护筒而滑进到所述箱体内或滑出到所述箱体外。

在其中一个实施例中，所述退火装置还包括导向结构，所述导向结构固定设置于所述保护筒的侧壁上，所述导向结构与所述滑移件相适配；所述滑移件能够沿所述导向结构设定的方向滑动。

在其中一个实施例中，所述导向结构包括导轨，所述滑移件包括滑块。

在其中一个实施例中，所述加热器拆装式地设置于所述支撑部上。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的退火装置的示意图；

图2为图1所示实施例的滑移部的导向结构和滑移件的示意图；

图3为图1所示实施例的卡紧部的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

如图1所示，图1为本实施例的退火装置100的示意图。该退火装置100包括箱体110、滑移部120、支撑部130及加热器150。箱体110的一侧设有第一开口110A。滑移部120设置在箱体110内部，本实施例中，滑移部120包括滑移件121及导向结构122。滑移件121大体垂直于第一开口110A所在的平面，滑移件121能够在大体垂直于第一开口110A所在平面的方向上往复滑动。支撑部130设置于滑移件121与加热器150之间，支撑部130与滑移件121连接，支撑部130对准第一开口110A，支撑部130能够在滑移件121的带动下从第一开口110A滑进或滑出箱体110。加热器150可拆卸地设置在支撑部130上。

在退火装置100中，支撑部130在滑移件121的带动下从第一开口110A滑进箱体110内或滑出到箱体110之外。加热器150可拆卸地设置在支撑部130上，因此，加热器150和支撑部130能够一起从第一开口110A滑进箱体110内或滑出箱体110外。当加热器150需要维护时，可以使加热器150和支撑部130一起从第一开口110A滑出箱体110外，并且将加热器150从支撑部130上拆下即可。这样，可以避免工作人员将手伸入箱体110内部拆卸加热器150并将加热器150取出，从而可以避免加热器150由工作人员或工作人员的手的晃动导致的晃动(例如，左右晃动或上下晃动)，从而避免加热器150与箱体110内部部件碰撞，例如，与陶瓷隔热材的碰撞，进而部件或加热器150损坏，因此，实现了安全地拆卸加热器150。此外，通过可移动的支撑部130来拆卸加热器150，省时省力。

箱体110还包括箱盖(未示出)，箱盖位于箱体110的第一开口110A所在的一侧，箱盖用于封闭第一开口110A，以保证退火装置100的密封性。箱盖也能够相对于第一开口110A打开，以将需要退火的物品放入箱体110，或者拿出箱体110。

退火装置100还包括保护筒140，保护筒140固定设置于箱体110内部，且保护筒140套设于滑移部120、支撑部130和加热器150的外部，滑移件121能滑动穿过保护筒140而滑进到箱体110内或滑出到箱体110外。保护筒140的一端设有第二开口140A，第二开口140A正对第一开口110A。滑移部120固定设置于保护筒140的侧壁上。支撑部130能够依次穿过第二开口140A和第一开口110A滑出或滑入箱体110。由于加热器150设置于支撑部130上，在拆卸加热器150的过程中，支撑部130和加热器150同时穿过第二开口140A滑出保护筒140，再经过第一开口110A滑出箱体110。即在拆卸加热器150的过程中，支撑部130和加热器150的移动方向为图中箭头a所指的方向。反过来，在安装加热器150的过程中，支撑部130和加热器150同时穿过第一开口110A滑进箱体110，再经过第二开口140A滑进保护筒140。即在安装加热器150的过程中，支撑部130和加热器150的移动方向为图中箭头a所指方向的反方向。这样，安装或拆卸加热器150的过程中，有保护筒140的保护，进一步保证了加热器150的安全并且避免了加热器150与箱体110的内部部件的碰撞。

请结合图1和图2，图2为图1所示实施例的滑移部120的导向结构122和滑移件121的示意图。如图1和图2所示，导向结构122固定设置于保护筒140的侧壁上，导向结构122与滑移件121相适配。滑移件121能够沿导向结构122设定的方向滑动。这样可以使滑移件121相对于导向结构122滑动，并且滑移件121带动支撑部130和加热器150相对于导向结构122滑动。如图2所示，导向结构122为导轨，滑移件121为与导轨配合的滑块。滑块121可以带动支撑部130以及放置在支撑部130上的加热器150相对导轨122滑动。滑块121、支撑部130及加热器150一起依次通过第二开口140A、第一开口110A滑出箱体110，或者依次通过第一开口110A、第二开口140A滑入箱体110。滑块121在与滑块相配合的导轨122上面滑动，可以使得支撑部130及加热器150滑出箱体110或滑入箱体110的过程更加顺畅。

需要说明的是，在其它实施例中，滑移件121也可以为其它滑动机构，例如与作为导向结构122的导轨相配合的滚轮。滑移件121可以滑出保护筒140及箱体110外、也可以限制在保护筒140内沿导轨滑动，只要实现使支撑部130及加热器150滑出保护筒140及箱体110外即可。

应当理解的是，导向结构122轴向地固定安装于保护筒140的侧壁上。在另一个实施例中，导向结构122是保护筒140的一部分。

支撑部130朝向加热器150的一侧开设有凹槽130A，凹槽130A的形状与加热器150相配合。加热器150可拆卸地设置于凹槽130A内，使得加热器150随支撑部130滑进或滑出箱体110时，不会碰撞到箱体110内部的陶瓷隔热材，进一步使加热器150安全。

本实施例中，加热器150为圆柱状。相应地，凹槽130A的长度与加热器150的长度相配合，使得加热器150能够稳定地放置在凹槽130A内，确保加热器150拆装过程中的安全性。应理解的是，加热器150还可以为任何适当的其他形状，例如棱柱形。支撑部130上凹槽130A的形状也为相应的形状。

如图1所示，退火装置100还包括卡紧部160，卡紧部160位于支撑部130和加热器150之间，卡紧部160设置于支撑部130上，卡紧部160将加热器150固定在凹槽130A内。这样，在加热器150随支撑部130滑进或滑出箱体110时，加热器150始终处在凹槽130A内，使得加热器150更加稳定，进一步保证了加热器150的安全性，防止加热器150晃动。在一个实施例中，卡紧部160的数量为3个，卡紧部160沿着加热器150的长度方向均匀分布于支撑部130上。这样可以保证加热器150稳定处于凹槽130A内。

请结合图1和图3，图3为图1所示实施例的卡紧部的示意图。卡紧部160设置于凹槽130A的表面。如图3所示，卡紧部160包括卡环161，卡环161为半圆形，卡环161的开口朝向加热器150，加热器150由卡环161的卡环臂161A卡紧。具体地，卡环臂161A的末端具有弹性，将加热器150放入凹槽130A时，在垂直于凹槽130A底部的方向上，加热器150从卡环161的开口向卡环161内直接放入，由卡环臂161A卡紧。将加热器150从支撑部130的凹槽130A取出时，在垂直于凹槽130A底部的方向上，直接从卡环161的开口将加热向卡环161外取出即可。这样拆装加热器150，简单方便。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。