一种四杆机构炉门结构的制作方法

实用新型涉及光伏行业镀膜设备，具体涉及一种用于高温扩散炉的四杆机构炉门结构。

背景技术：

管式等离子体增强化学气相沉积法 （PECVD）及高温扩散炉设备是现在光伏行业镀膜设备的主要设备之一。随着市场的发展，客户对设备的产能要求越来越大。由于厂房高度的限制，设备的整体高度受到制约，因此产能的增加主要是将反应室加大。反应室内径由开始的305mm增加到380mm,再增加到405mm，到现在的450mm。因此，在厂房高度一定的情况下必须缩小反应室与反应室之间的距离。要缩小反应室之间的距离存在许多问题，其中一个主要的问题就是避免相邻两个炉门转动时存在干涉。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服上述现有技术存在的缺陷提出一种四杆机构炉门结构。

本实用新型采用的技术方案为：

一种四杆机构炉门结构，包括：一固定在机架上的气缸，所述气缸的活塞与一四杆机构连接，驱动炉门的开启和关闭，所述的四杆机构包括设置在机架上的固定板，固定板与第一连杆和第二连杆的一端铰接，第一连杆和第二连杆的另一端均与一摆杆铰接。

所述摆杆的一端与第二连杆铰接，摆杆的中部与第一连杆铰接，摆杆的另一端与炉门固定连接。

所述气缸的活塞与第二连杆的中部铰接。

本实用新型采用四杆机构取代曲板，改变传统炉门以曲板转轴为圆心的运动轨迹，使整个炉门机构运动半径减小，不仅运动平稳，而且节约了空间。

附图说明

下面结合具体实施例和附图对本实用新型进行详细的说明，其中：

图1 是现有曲板炉门结构的示意图；

图2是本实用新型四杆机构炉门的结构示意图。

具体实施方式

图1为现有405mm内径的PECVD曲板炉门机构的示意图。炉门2的转动方式采用气缸控制，气缸12的活塞3与一曲板13的中部铰接，该曲板的一端与一固定板4铰接，形成一个旋转轴1，该曲板的另一端与炉门2固定连接。气缸的活塞3拉动曲板及固定在曲板上的炉门2绕旋转轴1运动，R1为炉门在曲板炉门机构作用下的运动轨迹。现有405mm内径PECVD炉门外径尺寸为435mm，管距610mm时相邻两个炉门最小距离为d1，经测量d1为10mm，如果管距变小炉门加大的情况下相邻两个炉门就会存在干涉，不能正常工作。

图2为本实用新型提出的四杆机构炉门结构，包括铰接在机架上的气缸12，气缸的活塞3与一四杆机构连接。四杆机构包括设置在机架上的固定板4，固定板4与第一连杆6和第二连杆7的一端铰接，第一连杆6和第二连杆7的另一端均与摆杆5铰接，摆杆5的一端与炉门2固定连接。如图2所示，第一连杆6与固定板4铰接形成第一转轴8，第二连杆7与固定板4的铰接形成第二转轴9，第一连杆6与摆杆5铰接形成第三转轴10，第二连杆7与摆杆5铰接形成第四转轴11。该实施例中，气缸的活塞3与第二连杆7的中部铰接。当炉门运动时，第一转轴8和第二转轴9的位置是固定在固定板上不动的，第三转轴10和第四转轴11的位置跟随气缸的作用力移动。这样改变传统炉门以曲板转轴为圆心的运动轨迹，使整个炉门机构运动半径减小，节约了空间。

摆杆5的一端与第二连杆7铰接，摆杆5的中部与第一连杆6铰接，摆杆5的另一端与炉门2连接。第二连杆7和炉门2连接在摆杆的两端，当第四转轴11相对于固定板之间的距离大于第三转轴10与固定板之间的距离时，则摆杆此时处于倾斜的状态，炉门在摆杆的作用下距固定板之间的距离更近，能够更大程度的减小炉门的活动范围。图2中的R2为炉门在四杆机构作用下的运动轨迹，此时在采用外径485mm的炉门，管距为610mm，相邻两个炉门最小距离为d2，经测量d2为29mm，在炉门外径增大，管距减小的情况下，明显的增大了相邻炉门间的间距，不会产生干涉。

本实用新型利用四杆机构运动的稳定性，不需要再在炉门上设置其它的铰接点，而且相邻两个炉门之间不会存在干涉，。

以上的具体实施例仅用以举例说明本实用新型的构思，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。