一种多晶硅上料装置的制作方法

文档序号:14588886发布日期:2018-06-02 06:07阅读:177来源:国知局

本实用新型属于多晶硅生产设备领域,主要涉及一种多晶硅上料装置。

技术背景

多晶硅(polycrystalline silicon),单质硅的一种形态。高温熔融状态下,具有较大的化学活泼性,能与几乎任何材料作用。具有半导体性质,是极为重要的优良半导体材料。多晶硅又是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。被称为“微电子大厦的基石”。从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。

多晶硅呈现灰色金属光泽,密度2.32—2.34,熔点1410℃,沸点2355℃。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中,不溶于水、硝酸和盐酸。硬度介于锗和石英之间,室温下质脆,切割时易碎裂。加热至800℃以上即有延性,1300℃时显出明显变形。常温下不活泼,高温下与氧、氮、硫等反应。高温熔融状态下,具有较大的化学活泼性,能与几乎任何材料作用。

在对多晶硅的生产加工过程中,主要包括对晶硅的清洗、检测—坩埚喷涂—对晶硅的铸锭—硅锭剖方—硅块检验—去头尾—磨面、倒角—粘胶—切片—硅片脱胶—硅片清洗—硅片检验—硅片包装—硅片入库。其中在对多晶硅清洗、检测后,进行坩埚喷涂前,需要对多晶硅进行上料,已完成下一步的生产处理,因此需要一种多晶硅上料装置,对清洗、检测过的多晶硅进行自动上料。



技术实现要素:

为了实现多晶硅的自动上料,本实用新型提供一种多晶硅上料装置,本实用新型结构简单,操作方便,设有的机械手臂和传送带可以完成多晶硅生产过程的自动上料,承载多晶硅的挡板固定带两侧设有挡板,可以有效防止多晶硅在运输过程中的掉落,实用性强。

本实用新型所采用的设计方案是:一种多晶硅上料装置,包括底座1,所述底座1上设有支架2,所述支架2上装有传送带滚轮3,所述传送带滚轮3的一端设有电机皮带凹槽4,所述电机皮带凹槽4内装有电机皮带5,所述电机皮带5的另一端连接在电机6上,所述传送带滚轮3中间设有滚轮凹槽7,所述滚轮凹槽7上装有传送带8,所述传送带8外侧设有挡板固定带9,所述挡板固定带9上装有挡板10,所述底座1上装有机械手臂11,所述机械手臂11上端设有上料斗12。

本实用新型提供的设计方案中,所述支架2有四个,且两个平行分布在底座1的四角。

本实用新型提供的设计方案中,所述传送带滚轮3有两个,分别安装在平行分布的两组支架2之间。且可以在支架2上滚动。

本实用新型提供的设计方案中,所述电机皮带凹槽4有一个,位于其中一个传送带滚轮3的一端、支架2的内侧。

本实用新型提供的设计方案中,所述挡板10固定在挡板固定带9上,且挡板固定带9与传送带8紧密贴合,彼此之间没有相互滑动。

本实用新型提供的设计方案中,所述机械手臂11的结构有三段,可360度扭转,且上端安装的上料斗12可以上下运动,以此将盛装的多晶硅转移到挡板固定带9上,完成对晶硅的上料过程。

本实用新型具有以下优点:

本实用新型结构简单,操作方便,设有的机械手臂和传送带可以完成多晶硅生产过程的自动上料,承载多晶硅的挡板固定带两侧设有挡板,可以有效防止多晶硅在运输过程中的掉落,实用性强。

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

附图说明

图1为多晶硅上料装置的三维结构图。1-底座,2-支架,3-传送带滚轮,4-电机皮带凹槽,5-电机皮带,6-电机,7-滚轮凹槽,8-传送带,9-挡板固定带,10-挡板,11-机械手臂,12-上料斗。

具体实施方式

下面将结合本实用新型附图和具体设计方案,对本实用新型实施例中的设计方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型专利中的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利保护的范围。

实施例1

如图1多晶硅上料装置的结构图所示,一种多晶硅上料装置,包括底座1,所述底座1上设有支架2,所述支架2上装有传送带滚轮3,所述传送带滚轮3的一端设有电机皮带凹槽4,所述电机皮带凹槽4内装有电机皮带5,所述电机皮带5的另一端连接在电机6上,所述传送带滚轮3中间设有滚轮凹槽7,所述滚轮凹槽7上装有传送带8,所述传送带8外侧设有挡板固定带9,所述挡板固定带9上装有挡板10,所述底座1上装有机械手臂11,所述机械手臂11上端设有上料斗12。

所述支架2有四个,且两个平行分布在底座1的四角。

所述传送带滚轮3有两个,分别安装在平行分布的两组支架2之间。且可以在支架2上滚动。

所述电机皮带凹槽4有一个,位于其中一个传送带滚轮3的一端、支架2的内侧。

所述挡板10固定在挡板固定带9上,且挡板固定带9与传送带8紧密贴合,彼此之间没有相互滑动。

所述机械手臂11的结构有三段,可360度扭转,且上端安装的上料斗12可以上下运动,以此将盛装的多晶硅转移到挡板固定带9上,完成对晶硅的上料过程。

在装置使用时,将盛放物料的设备放置在机械手臂的一侧,调整位置,使得机械手臂可以自动取料,然后放置在挡板固定带上,同时打开电机,电机带动传送带运动,挡板固定带随之运动,将上面的多晶硅物料运输到下一生产处理设备。

本实用新型结构简单,操作方便,设有的机械手臂和传送带可以完成多晶硅生产过程的自动上料,承载多晶硅的挡板固定带两侧设有挡板,可以有效防止多晶硅在运输过程中的掉落,实用性强。

各位技术人员须知:虽然本实用新型已按照上述具体实施方式做了描述,但是本实用新型的发明思想并不仅限于此专利,任何运用本实用新型思想的改装,都将纳入本专利专利权保护范围内。

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