一种多晶硅铸锭炉的制作方法

本实用新型涉及多晶硅制造技术领域，更具体地说，涉及一种多晶硅铸锭炉。

背景技术：

现有使用的多晶硅铸锭炉中，用于支撑石英坩埚都是由一块底板和四块侧板构成。当发生溢流硅液溢流时，溢流硅液通过底板四周和侧板底部的溢流口流到炉底的溢流棉上导致溢流丝熔断，触发溢流报警。

但是此装置会使存在炉底的溢流棉发生破损未被发现，导致溢流硅液触碰炉底壁引发事故；当溢流量较少时由于底板和侧板有一定空间，导致溢流硅液未及时流向炉底，推迟溢流报警时间。

综上所述，如何有效地解决多晶硅铸锭炉的报警装置溢流报警不及时的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种多晶硅铸锭炉，该多晶硅铸锭炉可以有效地解决多晶硅铸锭炉的报警装置溢流报警不及时的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种多晶硅铸锭炉，包括用于支撑坩埚的底板和设置在所述底板四周的侧板，所述底板和/或侧板上设置有溢流孔，所述溢流孔处设置有第一溢流丝，还包括在所述第一溢流丝熔断时报警的报警装置。

优选地，还包括位于所述底板下侧且位于炉底的溢流棉，所述溢流棉上设置有第二溢流丝，所述报警装置能够在所述第二溢流丝熔断时报警。

优选地，各个所述侧板的下端面与所述底板的上侧面之间均具有间隙以形成所述溢流孔，在所述底板的四周围绕有所述第一溢流丝。

优选地，所述底板的四周设置有竖直贯穿所述底板设置且位于所述侧板内侧的所述溢流孔。

优选地，所述侧板的下侧开设有沿侧板厚度方向延伸且横截面呈半圆型的开槽，所述开槽与所述底板之间构成所述溢流孔。

优选地，所述第一溢流丝设置在所述侧板内侧且沿所述底板周向延伸并依次经过各个所述溢流孔。

优选地，竖直设置的所述溢流孔上端孔沿周向围绕有所述第一溢流丝。

本实用新型提供的一种多晶硅铸锭炉，具体的该多晶硅铸锭炉包括炉体、底板、侧板、第一溢流丝和报警装置。其中炉体内设置有炉腔，而其中底板用于支撑坩埚。还设置有溢流孔，以当坩埚内的硅液溢流时，溢流硅液会从坩埚外侧，进一步的从溢流孔流出。在溢流孔处设置有第一溢流丝，其中报警装置在第一溢流丝熔断时报警。

根据上述的技术方案，可以知道，在该多晶硅铸锭炉中，在溢流孔处设置了第一溢流丝，使得当坩埚溢流出来的溢流硅液经过溢流孔时，就会造成第一溢流丝熔断。首先反应比较迅速，即在溢流硅液未流出侧板和底板外侧时，报警装置就响起报警。而且当溢流孔流出的溢流硅液数量比较少时，也会在流经溢流孔后再流出，所以能够有效地保证溢流出的溢流硅液经过第一溢流丝，有效保证报警装置及时报警响应。综上所述，该多晶硅铸锭炉能够有效地解决多晶硅铸锭炉的报警装置溢流报警不及时的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的多晶硅铸锭炉的结构示意图。

附图中标记如下：

炉底1、溢流棉2、第一溢流丝3。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种多晶硅铸锭炉，以有效地解决多晶硅铸锭炉的报警装置溢流报警不及时的问题。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，图1为本实用新型实施例提供的多晶硅铸锭炉的结构示意图。

在一种具体实施例中，本实施例提供了一种多晶硅铸锭炉，具体的该多晶硅铸锭炉包括炉体、底板、侧板、第一溢流丝3和报警装置。

其中炉体内设置有炉腔，而其中底板用于支撑坩埚，该坩埚主要是石英坩埚，其中侧板设置在底板的四周，其中一般底板呈矩形，四个侧板沿底板的边沿依次垂直于底板设置。其中底板和侧板主要采用保温材料制成，以起到对坩埚的保温作用。

还设置有溢流孔，具体的，可以在底板或侧板上设置有溢流孔，以当坩埚内的硅液溢流时，溢流硅液会从坩埚外侧壁顺流至底板上，以可以进一步的从溢流孔流出，少量的溢流硅液会从侧板的内侧壁下流，以可以进一步的从溢流孔流出。

在溢流孔处设置有第一溢流丝3，其中报警装置在第一溢流丝3熔断时报警。溢流丝在遇到高温的溢流硅液时，会被高温的溶液熔断，而当熔断时，则会触发报警装置报警，其中溢流丝作为金属丝件，在熔断时如何引起报警装置报警，可以参考现有技术，在此不再赘述。需要说明的是，其中溢流孔处设置有第一溢流丝3，指的是，当溢流孔处流淌有溢流硅液时，就会流经第一溢流丝3，进而会对第一溢流丝3熔断。

在该多晶硅铸锭炉中，在溢流孔处设置了第一溢流丝3，使得当坩埚溢流出来的溢流硅液经过溢流孔时，就会造成第一溢流丝3熔断。首先反应比较迅速，即在溢流硅液未流出侧板和底板外侧时，报警装置就响起报警。而且当溢流孔流出的溢流硅液数量比较少时，也会在流经溢流孔后再流出，所以能够有效地保证溢流出的溢流硅液经过第一溢流丝3，有效保证报警装置及时报警响应。综上所述，该多晶硅铸锭炉能够有效地解决多晶硅铸锭炉的报警装置溢流报警不及时的问题。

进一步的，考虑到一旦溢流发现不及时，则造成的经济损失会非常大，而在实际使用中，可能存在底板或侧板裂开，造成溢流硅液不经过溢流孔流出至底板和侧板外侧；也有可能第一溢流丝3偏移目标位置，造成流经溢流孔的溢流硅液未经过第一溢流丝3。基于此，此处优选还包括位于底板下侧且位于炉底1的溢流棉2，溢流棉2初步缓冲溢流硅液对炉顶的破坏，其中溢流棉2上设置有第二溢流丝，而报警装置应当能够在第二溢流丝熔断时报警，以起到双重报警的作用。

进一步的，为了使溢流硅液可以尽快流出，可以使各个侧板与底板的上侧面之间均具有间隙以形成溢流孔，此时相应的，可以使底板四周围绕设置第一溢流丝3，以当溢流硅液从侧板与底板之间间隙的任一处流出，都会触碰到第一溢流丝3，进而及时查出是否溢流。

进一步的，为了更好的更快的导出溢流，一般在底板的四周会设置有竖直贯穿底板设置的溢流孔，且该溢流孔位于侧板的内侧，以及时将底板上侧的溢流硅液导出。还可以是在侧板下侧开设有沿侧板厚度方向延伸且横截面呈半圆型的开槽，其中开槽与底板之间构成溢流孔。此时为了保证第一溢流丝3及时察觉从溢流孔流出的溢流硅液，此处优选第一溢流丝3设置在侧板内侧且沿底板周向延伸并依次经过各个溢流孔。对于其中竖直设置的溢流孔此处优选，在该溢流孔的上端孔沿周向围绕有上述第一溢流丝3。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。