基于硅的熔融组合物和使用其制造碳化硅单晶的方法与流程

文档序号:16045346发布日期:2018-11-24 10:49阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
根据一个示例性实施方案的基于硅的熔融组合物被用于形成碳化硅单晶的溶液生长法,并且由包含硅(Si)、第一金属M1、第二金属M2和第三金属M3的式1表示,其中第一金属M1是选自镍(Ni)和锰(Mn)中的一者或更多者,第二金属M2是选自钪(Sc)和钛(Ti)中的一者或更多者,以及第三金属M3是选自铝(Al)和镓(Ga)中的一者或更多者:SiaM1bM2cM3d(式1)其中a为0.3至0.8,b为0.1至0.5,c为0.01至0.3,d为0.01至0.2,并且a+b+c+d为1。

技术研发人员:郑粲烨;李虎林;金敬勋;高正旼
受保护的技术使用者:株式会社LG化学
技术研发日:2017.08.22
技术公布日:2018.11.23
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