技术特征：
技术总结
本发明提出了一种碳/碳复合材料PECVD承载框的制备方法。与传统石墨材质的承载框相比，碳/碳复合材料力学性能优于石墨，而且能够适应PECVD高温，高真空度，等离子体溅射等恶劣的镀膜环境。此外，本发明采取CVI(化学气相沉积)工艺制备的碳/碳板材力学性能更佳，碳/碳复合材料承载框表面沉积碳化硅涂层后，承载框的耐酸洗性能得到增强，进而大大减少了承载框更换频次，提高了其使用寿命。
技术研发人员：吴彪;贾林涛;邵忠
受保护的技术使用者：上海康碳复合材料科技有限公司;福建康碳复合材料科技有限公司
技术研发日：2018.12.13
技术公布日：2019.03.08