专利名称：分体式结构碳/碳坩埚的制作方法
技术领域：
分体式结构碳/碳坩埚技术领域[0001]本实用新型涉及一种单晶炉用碳/碳坩埚，具体涉及一种分体式结构碳/碳坩埚。
技术背景[0002]在单晶炉热场中石墨或碳/碳坩埚对石英坩埚起到支撑作用，现有的石墨或碳/ 碳坩埚由径向的多瓣或轴向的多部分构成。[0003]使用时，将石墨或碳/碳坩埚放置在埚托上，由于石墨或碳/碳坩埚由径向的多瓣或轴向的多部分组成，此类设计在一定程度上缓解了石英坩埚软化时对石墨或碳/碳坩埚壁的压力，并且使石墨或碳/碳坩埚损坏时只需更换部分即可使用，但各瓣或各部分仍要承受石英坩埚形变时所产生的应力，对其寿命造成一定影响。实用新型内容[0004]本实用新型的目的是提供一种分体式结构碳/碳坩埚，以解决现有存在的坩埚对石英坩埚形变所产生的应力无法扩散，从而导致其使用寿命短的问题。[0005]本实用新型的目的是这样实现的，一种分体式结构碳/碳坩埚，包括埚碗和埚筒且接触连接，所述埚碗在圆周方向上为多等份，所述埚筒由多层圆环组成，每层圆环分为多段且采用斜面接触连接。[0006]所述圆环为3-10层，每层圆环分为4 8段，所述斜面与埚筒径向夹角为30° 45°，所述埚碗在圆周方向上分为20 100等高等份。[0007]所述埚碗每两等份之间的缝隙用形状相同的填充 块填充，所述埚碗外侧沿径向向内键嵌有外围固定环。[0008]所述圆环相邻两层之间的接缝处相互错开，并采用销钉固定。[0009]所述埚筒为两个，包括埚筒I和埚筒II且接触连接。[0010]本实用新型具有如下有益效果本实用新型的埚碗采用多等份，埚筒由多层圆环组成且每层圆环分为多段，当内部的石英坩埚形变时分散了石英坩埚对碳/碳坩埚的应力，提闻了其使用寿命。
[0011]图1为本实用新型结构示意图；[0012]图2为本实用新型埚筒结构示意图；[0013]图3为本实用新型单层圆环拼接示意图；[0014]图4为本实用新型埚碗结构示意图；[0015]图5为本实用新型碳/碳填充块形状示意图；[0016]图6为本实用新型埚碗外镶嵌外围固定环示意图；[0017]图7为本实用新型整体结构示意图；[0018]图中，1.埚筒I，2.埚筒II，3.埚碗，4.圆环，5.外围固定环，6.销钉。
具体实施方式
[0019]一种分体式结构碳/碳坩埚，参见图1，包括埚碗3和至少一个埚筒，埚筒与埚碗 3接触连接；每一个埚筒在轴向上分为5层 10层圆环4，参见图2 ;每层圆环4等分为4 段，采用斜面接触连接，斜面与埚筒径向夹角a为30° 45°，参见图3。[0020]圆环4相邻两层之间的接缝处相互错开，防止各层之间的接缝处处在同一条直线上，以保证碳/碳坩埚的稳定性，参见图2，且使用16个 23个Φ9πιπι的销钉6固定，参见图3。埚碗3在圆周方向上分为20 100等高等份，参见图4。[0021]每两等份埚碗3之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充，参见图5。[0022]祸碗3外侧距离底部开口 80mm 150mm处沿祸碗3径向向内镶嵌宽度为40mm 70mm的外围固定环5，用来使埚碗3的各等份及碳/碳填充块固定，参见图6。[0023]实施例1，一种分体式结构碳/碳坩埚，包括埚碗3、埚筒I1、埚筒112且接触连接， 埚筒I1、埚筒Π2均由7层圆弧条拼接而成的圆环4组成，每层圆环4等分为4段，采用斜面接触连接，斜面与埚筒径向夹角为40°，各层圆环4之间交叉拼接，使用20个Φ9πιπι的销钉6固定，埚碗3在圆周方向上分为72等高等份，每两等份之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充，然后在埚碗3外侧距离底部开口 IOOmm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为60mm的外围固定环5固定祸碗3。[0024]实施例2，一种分体式结构碳/碳坩埚，包括埚碗3、埚筒11、埚筒112且接触连接， 埚筒I1、埚筒Π2均由10层圆弧条拼接而成的圆环4组成，每层圆环4等分为4段，采用斜面接触连接，斜面与埚筒径向夹角为45°，各层圆环4之间交叉拼接，使用23个Φ9πιπι的销钉6固定，埚碗3在圆周方向上分为100等高等份，每两等份之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充，然后在埚碗3外侧距离底部开口 150mm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为70mm的外围固定环5固定祸碗3。[0025]实施例3，一种分体式结构碳/碳坩埚，包括埚碗3、埚筒11、埚筒112且接触连接， 埚筒I1、埚筒112均由5层圆弧条拼接而成的圆环4组成，每层圆环等分为4段，采用斜面接触连接，斜面与埚筒径向夹角为30°，各层圆环4之间交叉拼接，使用16个Φ9_的销钉 6固定，埚碗3在圆周方向上分为20等高等份，每两等份之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充，然后在埚碗3外侧距离底部开口 80mm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为40mm 的外围固定环5固定埚碗3。
权利要求1.一种分体式结构碳/碳坩埚，包括埚碗(3)和至少一个埚筒且接触连接，其特征在于所述埚碗(3)在圆周方向上为多等份，所述埚筒由多层圆环(4)组成，每层圆环(4)分为多段且采用斜面接触连接。
2.如权利要求1所述的分体式结构碳/碳坩埚，其特征在于所述圆环(4)为3-10层，每层圆环(4)分为4 8段，所述斜面与埚筒径向夹角为30° 45°，所述埚碗(3)在圆周方向上分为20 100等高等份。
3.如权利要求1或2所述的分体式结构碳/碳坩埚，其特征在于所述埚碗(3)每两等份之间的缝隙用形状相同的填充块填充，所述埚碗(3)外侧沿径向向内镶嵌有外围固定环(5)。
4.如权利要求3所述的分体式结构碳/碳坩埚，其特征在于所述圆环(4)相邻两层之间的接缝处相互错开，并采用销钉(6)固定。
5.如权利要求4所述的分体式结构碳/碳坩埚，其特征在于所述埚筒为两个，包括埚筒I (I)和埚筒II (2)且接触连接。
专利摘要一种分体式结构碳/碳坩埚，包括埚碗和埚筒且接触连接，其特征在于所述埚碗在圆周方向上为多等份，所述埚筒由多层圆环组成，每层圆环分为多段且采用斜面接触连接。本实用新型的埚碗采用多等份，埚筒由多层圆环组成且每层圆环分为多段，当内部的石英坩埚形变时分散了石英坩埚对碳/碳坩埚的应力，提高了其使用寿命。
文档编号C30B15/10GK202830219SQ20122050499
公开日2013年3月27日 申请日期2012年9月29日 优先权日2012年9月29日
发明者杨少平, 胡燕恒 申请人:银川隆基硅材料有限公司, 宁夏隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 无锡隆基硅材料有限公司