基板分割装置的制作方法

本发明涉及基板分割装置，特别涉及将基板的端部材料从主体进行分割的基板分割装置。

背景技术：

通常在液晶面板的制造工序中，制造将成为制造单元的多个单元显示面板(单元基板)图案化了的大面积的贴合玻璃基板(母基板)，接着按每个单元显示面板将其分割。具体而言，使用上下一对刀轮从上下方向在两面同时对母基板进行刻划，接着通过在两面同时进行分离，从而按每个单元显示面板进行分割。在单元显示面板彼此之间设置有额外的部分，这些在分割后成为端部材料。

作为端部材料的处理，已知有使用卡盘(chuck)构件对端部材料进行抓持，并使卡盘向分离的方向移动从而使端部材料下落到设置在下方的端部材料收集容器的方法(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2002/057192号。

发明要解决的课题

近年来，盛行在带式输送机上分割基板。但是，如果在分割端部材料时切断杆冲击到基板，则导致基板与带一起弯曲，因此可以认为端部刻划线(在基板的主体(单元基板)与端部材料之间形成的刻划线)的分割精度降低。

然而，在现有技术中没有提出用于解决这样的问题的技术。

技术实现要素：

本发明的目的在于高精度地进行带式输送机上的基板的端部材料的分割。

用于解决课题的方案

以下，作为用于解决问题的手段，对多种方式进行说明。这些方式能够根据需要进行任意地组合。

本发明的一个观点涉及的基板分割装置具有带式输送装置、第一切断杆以及垫板。

带式输送装置对在主体与端部材料之间形成有端部刻划线、且形成有与所述端部刻划线交叉的交叉刻划线的基板进行输送。

第一切断杆配置于所述带式输送装置的上方，通过向所述基板施加冲击力来对所述端部刻划线进行分割。

垫板在与所述基板的端部材料对应的位置处，沿着所述端部刻划线抵接或接近地配置在所述带式输送装置的上侧输送部的下表面，从而在所述基板的下方确保间隙。通过在垫板的基板的主体侧的端面形成有与交叉刻划线对应的缺口，避免在对交叉刻划线进行分割时垫板与第一切断杆发生缓冲。

在该装置中，由于通过垫板在带式输送装置的上侧输送部的下方确保间隙，所以当第一切断杆向在带式输送装置上配置的基板施加冲击力时，在端部刻划线的周边产生大的应力，其结果是，端部刻划线被高精度地分割。

在该装置中，也可以具有用于对交叉刻划线进行分割的第二切断杆。此外，也可以使得第一切断杆在水平面内旋转，也作为第二切断杆发挥作用。在该装置中，由于在对交叉刻划线进行分割时第二切断杆抵接于基板的与垫板的缺口对应的位置，该垫板配置在与基板的端部材料对应的位置，所以能够避免由于切断杆与垫板的缓冲而产生的分割不良的情况。

此外，如果与本发明不同，没有垫板，则即使第一切断杆下降而压下端部材料，在端部刻划线周边也不会产生充分大的弯曲应力，因此有可能不会高精度地分割端部刻划线。此外，如果在垫板上没有缺口，则在对交叉刻划线进行分割时第二刻划线与垫板发生缓冲而没有沿着交叉刻划线产生充分大的弯曲应力，因此有可能不会高精度地分割交叉刻划线。

在该装置中，当切断杆压下端部材料时，弯曲应力作用于刻划线。

垫板的所述端面也可以与基板的端部刻划线平行。

在该装置中，当切断杆压下端部材料时，弯曲应力均匀地作用在整个端部刻划线。

所述端面也可以从所述端部刻划线离开而形成有上述间隙。

在该装置中，在刻划线周边产生大的应力。

基板也可以为由两片基板构成的贴合基板。也可以在对下侧的基板的端部刻划线进行分割时，以端面成为比端部刻划线靠外侧的方式配置垫板，也可以在对上侧的基板的端部刻划线进行分割时，以端面成为比刻划线靠内侧的方式配置垫板。

在该装置中，能够高精度地分割贴合基板的两张基板的端部材料。

发明效果

在本发明涉及的基板分割装置中，能够高精度地进行带式输送机上的基板的端部材料的分割(沿着端部刻划线分割)以及沿着交叉刻划线的分割。

附图说明

图1为第一实施方式涉及的基板分割装置的立体图。

图2为基板分割装置的带式输送装置的局部俯视图。

图3为基板分割装置的带式输送装置的局部立体图。

图4为垫板的立体图。

图5为表示基板分割工作的示意剖视图。

图6为基板的示意俯视图。

具体实施方式

1.第一实施方式

(1)基板分割装置

使用图1对第一实施方式的基板分割装置1进行说明。图1为第一实施方式涉及的基板分割装置的立体图。此外，在各图中，箭头x为第一水平方向，箭头y为第二水平方向。

基板分割装置1为如下装置：通过将在前段工序中形成有刻划线(切槽)(包含端部刻划线s1、s2以及交叉刻划线s3、s4)的基板100(图5、图6)从该端部刻划线s1、s2(以及交叉刻划线s3、s4)的相反侧的面按压而使基板弯曲，从而沿着端部刻划线s1、s2(以及交叉刻划线s3、s4)来分割基板100。

基板分割装置1具有带式输送装置3。带式输送装置3能够在第二水平方向上输送基板100。带式输送装置3具有用于载置基板100的上侧输送部3a。

基板分割装置1具有在第一水平方向(x方向)上延伸的梁(横梁)9。梁9配置于比带式输送装置3的上侧输送部3a靠上方的位置，能够通过滑动驱动机构(未图示)沿着轨道15在第二水平方向上移动。

基板分割装置1具有第一切断杆11。第一切断杆11保持在梁9，例如沿着第二水平方向延伸很长。第一切断杆11配置于带式输送装置3的上方，通过下降向基板100施加冲击力而对在第一水平方向上形成的端部刻划线s1、s2进行分割。具体而言，第一切断杆11在与基板100的表面接触的位置处静止，在该状态下使作为冲击构件的锤(未图示)下落至第一切断杆11，通过其冲击将基板100沿着端部刻划线s1、s2切断。此外，也可以利用由切断杆11本身的按压而产生的冲击力而将基板100沿着端部刻划线s1、s2进行切断。第一切断杆11能够在水平面内旋转，能够成为沿着第二水平方向延伸的状态，对在第二水平方向上形成的交叉刻划线s3、s4进行分割。此外，也可以与沿着第二水平方向延伸的第一切断杆11不同地，具有沿着第一水平方向延伸的第二切断杆，用第二切断杆对在第二水平方向上形成的交叉刻划线s3、s4进行分割。

如图5所示，基板100是由第一基板101和第二基板102构成的贴合玻璃。如图6所示，在基板100形成有端部刻划线s1、s2以及交叉刻划线s3、s4。在第一基板101中，通过端部刻划线s1来划分主体106a和端部材料107a，并形成有与端部刻划线s1交叉的交叉刻划线s3。在第二基板102中，通过端部刻划线s2来划分主体106b和端部107b，并形成有与端部刻划线s2交叉的交叉刻划线s4。端部刻划线s1和端部刻划线s2、以及交叉刻划线s3和交叉刻划线s4在俯视时一致。

基板分割装置1具有垫板21。垫板21是用于不会对带输送装置上的基板的交叉刻划线的分割精度造成不良影响而使端部刻划线的分割精度提高的构件。在带式输送装置3的上侧输送部3a的下方，垫板21配置于载置台27的上表面上。垫板21具有端面25a。在与第一基板101的端部材料107a、107b对应的位置处，端面25a抵接或接近地配置在带式输送装置3的上侧输送部3a的下表面。在端面25a形成有与交叉刻划线s3、s4对应的缺口26。

使用图2～图4进一步详细地说明垫板21。图2为基板分割装置的带式输送装置的局部俯视图。图3为基板分割装置的带式输送装置的局部立体图。图4为垫板的立体图。

垫板21为在带式输送装置3的第一水平方向两侧配置的一对构件。垫板21是用于对基板的第一水平方向的一侧或两侧的端部材料进行分割的构件。在载置台27上，各垫板21相对于载置台27配置在第一水平方向上规定范围内的任意的位置。载置台27在第二水平方向上具有规定的宽度，具有在第一水平方向上延伸很长的上表面。载置台27的上表面为平面，接近地配置在带式输送装置3的上侧输送部3a的下方。

垫板21具有第一部分23、和在第一部分23的第一水平方向内侧形成的第二部分25。第二部分25具有上述的端面25a。端面25a朝向彼此相向的一侧(第一水平方向的内侧)。端面25a在第二水平方向上直线状地延伸。在垫板21的端面25a(基板的主体侧的端面)形成有从端面25a起沿第一水平方向延伸的缺口(对应于交叉刻划线的缺口)26。第二部分25还具有在第二水平方向两侧延伸的一对的细的延长部25b。也就是说，端面25a的第二水平方向两侧部分的第一水平方向外侧成为板构件被切口的形状。因此，能够使垫板21轻量化，进而能够降低材料费。

进而，第二部分25在延长部25b的顶端具有折弯部25c。折弯部25c从延长部25b顶端向下方延伸。折弯部25c抵接或接近于载置台27的第二水平方向端面。由此，垫板21相对于载置台27朝向第二水平方向的移动被限制。

基板分割装置1也可以具有使垫板21在图1的位置和其它位置之间移动的移动机构。

(2)基板分割工作

使用图5来说明对下侧的基板的端部刻划线进行分割的基板分割工作。图5为表示基板分割工作的示意剖视图。

在图5中，在基板100中，端部刻划线s1、s2在第二方向延伸，也就是说，端部材料107a和107b配置于第一水平方向外侧。而且，第一基板101配置于下侧。

垫板21的端面25a以与端部材料107a、107b对应的方式配置，更具体而言以比端部刻划线s1靠近第一水平方向外侧的方式配置。换句话说，端面25a从端部刻划线s1起向第一水平方向外侧离开地配置。以上的结果为，在上侧输送部3a的下方确保了间隙29。具体而言，间隙29形成在主体106a、106b的下方以及端部材料107a、107b的下方的一部分。

如图5所示，当第一切断杆11压下基板100的端部材料107a、107b或其附近时，弯曲应力作用于端部刻划线s1。因此，能高精度地分割端部刻划线s1。此外，第一切断杆11按压的位置可以与端部刻划线s1、s2一致，也可以从此处起在第一水平方向上偏离。

特别地，由于端面25a与基板100的刻划线s1平行，所以当第一切断杆11压下端部材料107a、107b时，弯曲应力均匀地作用于整个端部刻划线s1。

此外，以下说明对上侧的基板的端部刻划线进行分割的实施方式。

在基板100中，端部刻划线s1、s2在第二水平方向延伸，也就是说，端部材料107a和107b配置于第一水平方向外侧。而且，第一基板101配置于下侧。

垫板21的端面25a可以以比端部刻划线s2靠近第一水平方向内侧的方式配置。换句话说，端面25a从端部刻划线s2起向第一水平方向内侧离开地配置。以上的结果为，在上侧输送部3a的下方确保了间隙29。具体而言，间隙29形成在主体106a、106b的一部分以及端部材料107a、107b的下方。

如图5所示，当第一切断杆11压下基板100的端部材料107a、107b或者其附近时，弯曲应力作用于端部刻划线s2。因此，能高精度地分割端部刻划线s2。此外，第一切断杆11按压的位置优选为比端部刻划线s1、s2靠近第一水平方向外侧即端部材料107a、107b。

特别地，由于端面25a与基板100的端部刻划线s2平行，所以当第一切断杆11压下端部材料107a、107b时，弯曲应力均匀地作用于整个端部刻划线s2。

2.其它实施方式

以上，对本发明的多个实施方式进行了说明，但是本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种改变。特别地，本说明书中描述的多个实施方式以及变形例能够根据需要任意地组合。

(1)垫板的变形例

垫板的平面形状、截面形状、厚度等不限定于第一实施方式。

垫板也可以以在第一水平方向上延伸的方式配置，用于去除在基板的第二水平方向单侧或两侧的端部材料。

(2)基板的变形例

对于将两张脆性材料基板贴合成的贴合脆性材料基板，包含贴合了玻璃基板的液晶面板、等离子显示板、有机el显示板等的平面显示板、和将硅基板、蓝宝石基板等贴合于玻璃基板的半导体基板。

基板的种类没有特别地限定。基板包含单板的玻璃、半导体晶片、陶瓷基板。

(3)刻划线的变形例

刻划线的形状没有限定。在所述实施方式中刻划线为直线，但也可以在局部或全部具有曲线。

产业上的可利用性

本发明能够广泛应用于将基板的端部材料从主体分割的基板分割装置。

附图标记说明

1：基板分割装置；

3：带式输送装置；

3a：上侧输送部；

11：第一切断杆；

21：垫板；

23：第一部分；

25：第二部分；

25a：端面；

25b：延长部；

25c：折弯部；

26：缺口；

27：载置台；

29：间隙；

100：基板；

101：第一基板；

102：第二基板；

106a：主体；

106b：主体；

107a：端部材料；

107b：端部材料；

s1：端部刻划线；

s2：端部刻划线。