多重蓝宝石单晶生长装置及生长方法与流程

文档序号:17946789发布日期:2019-06-18 23:43阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及到多重蓝宝石单晶生长装置及生长方法,具体讲,为实现多个晶体同时生长,将布置多只坩埚的生长炉内部温度保持均匀,并为生产优质结晶而使用多重分体发热体的温度传感器,并有效布置温度调节器及电力控制装置的有关蓝宝石单晶生长装置及利用此装置的多个蓝宝石单晶生长方法。根据本发明的蓝宝石单晶生长装置,多只坩埚位于多重分体发热体内,灵活控制向各发热体施加的电力以确保炉内温度的均匀性,不仅在坩埚内,各坩埚之间的温度也可保持均匀,其质量均匀优秀,可同时生长多个具有均匀形状的晶体,相比以往的方法可以大量节约成本。

技术研发人员:徐洙滢;崔钟健;朴南奎;许华平;刘少晗;裴悠松;李钟海;贝民贤
受保护的技术使用者:贝民贤
技术研发日:2019.04.03
技术公布日:2019.06.18
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