晶硅及其晶体生长工艺的制作方法

文档序号:18524750发布日期:2019-08-24 10:07阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种晶硅及其晶体生长工艺。其中,晶硅的晶体生长工艺包括如下步骤:在单位时间内,根据熔体中掺杂元素的分凝系数K,控制加料重量和长晶重量的加料比率,使其为K的线性函数。上述晶硅的晶体生长工艺,能够使溶液中减少的杂质总量与进入晶体的杂质总量相等,从而得到电阻率分布均匀的晶硅材料。此外,还涉及一种采用上述晶体生长工艺制备得到的晶硅。

技术研发人员:刘海;张新皓;许一柠
受保护的技术使用者:江苏协鑫软控设备科技发展有限公司
技术研发日:2019.04.29
技术公布日:2019.08.23
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