技术总结
本申请揭示了一种小型静态退火炉，属于电池片加工领域，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；托盘在炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；测温装置设置在炉体框架内部，实时监测炉体内的温度；炉体冷却装置设置在炉体框架内部，用于对炉体进行降温；电源装置为光照装置提供恒定电流的电源；光照装置设置在位于炉体内的托盘的上方，用于以预定波长的光照射托盘上的硅片；加热装置设置在炉体内，用于对托盘上的硅片加热。本申请将加热与光照退火集成为一体，省去了自动化生产中的运输装置，易于操作，并且能够节约成本。
技术研发人员：李文;李涛;郭健;周凡
受保护的技术使用者：无锡奥特维科技股份有限公司
技术研发日：2019.07.05
技术公布日：2019.09.20