一种多晶硅制备坩埚的制作方法

本实用新型涉及制造多晶硅锭的设备领域，特别是涉及一种多晶硅制备坩埚。

背景技术：

多晶硅坩埚是一种用于生长多晶硅的坩埚，普通的用于生产制造多晶硅锭的坩埚底面一般为平面，多晶铸锭成核阶段，可在坩埚底部任意位置成核并横向长大，晶粒大小不受控制，不利于抑制枝晶生长，且晶粒大小不一，均匀性不好。现有技术例如中国专利cn201310337043.4中的坩埚将底面设置的凹凸不平来抑制枝晶生长作用，然而，将坩埚内部设置的凹凸不平虽然能够有效的抑制枝晶生长，但凹凸不平同样造成了生产结束后锅内难以清理的问题，清理不当可能会留下杂质扩散污染下一个生产的多晶硅锭或者影响多晶硅异质成核、引晶生长。同时，由于坩埚侧壁也会形核长晶，仅在底部设置凹凸不平的形核点，侧壁形成的晶体会逐渐长大到正常晶体位置，占有底部成核生长出来的晶体位置，影响硅锭整体质量。

技术实现要素：

本实用新型目的是提供一种多晶硅制备坩埚，能够加大生产效率。

本实用新型解决其技术问题采用的技术方案是，提出一种多晶硅制备坩埚，包括：坩埚外锅、与坩埚外锅可拆卸连接且与坩埚外锅内表面贴合的坩埚内锅，坩埚内锅包括内锅底面、内锅侧面，内锅底面与内锅侧面通过设置在内锅底面侧边的转轴铰接，用以使内锅侧面能够沿转轴转动进而将坩埚内锅展开为一个平面。

进一步的，坩埚内锅开口端处设有环形把手。

进一步的，环形把手铰接在坩埚内锅上。

进一步的，坩埚外锅外壁上设置有护板。

进一步的，内锅侧面用以与其他内锅侧面贴合的一端设有磁吸件。

进一步的，坩埚内锅的内表面复合有氮化硅涂层。

进一步的，氮化硅涂层表面复合有颗粒层。

进一步的，坩埚外锅与坩埚内锅之间填充有锡层。

本实用新型的有益效果为：1.在坩埚内锅的内表面复合有颗粒层，使得坩埚内锅的底面和侧壁均有形成形核点，降低了晶体内部的缺陷密度，还使得侧壁形成的晶体不会杂乱无章，保障了硅锭整体的质量。2.坩埚内锅与坩埚外锅可拆卸连接使得能够将坩埚内锅取出，解决了坩埚整体较重生产完毕后不方便运输的问题，同时，当生产完毕后，将充满硅锭的内锅取出并放入另一个内锅即可继续进行生产，而不需要将硅锭全部取出并清理完毕后才能继续生产，提高了生产效率。3.坩埚内锅可以将内锅侧面转动来将坩埚内锅展开为一个平面，展开后能够更好的取出硅锭，增加了工作人员的工作效率，同时，由于颗粒层的存在，使得内锅内表面凹凸不平，正常情况下非常难以清理，若清理不当留下杂质将会影响下一次的生产，将坩埚内锅展开能够使清理工作变的十分容易。

附图说明

图1为本实用新型实施例的一种多晶硅制备坩埚的剖面图；

图2为本实用新型实施例的一种多晶硅制备坩埚的俯视图；

图3为本实用新型实施例中坩埚内锅展开后的结构图。

图中：1-坩埚内锅、11-转轴、12-内锅底面、13-内锅侧面、14-磁吸件、2-坩埚外锅、3-护板、4-环形把手。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例和/或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。另，涉及方位的属于仅表示各部件间的相对位置关系，而不是绝对位置关系。

请参阅图1、图2、图3。本实用新型的一种多晶硅制备坩埚，包括：坩埚外锅2、与坩埚外锅2可拆卸连接且与坩埚外锅2内表面贴合的坩埚内锅1，坩埚内锅1包括内锅底面12、内锅侧面13，内锅底面12与内锅侧面13通过设置在内锅底面12侧边的转轴11铰接，用以使内锅侧面13能够沿转轴11转动进而将坩埚内锅1展开为一个平面。

其中，坩埚内锅1和坩埚外锅2之间具体的可拆卸连接的方式可以通过磁吸件（例如磁铁）连接，还可以通过相互匹配的卡扣来连接等，上述可拆卸连接的方式均为本领域技术人员很容易想到的现有技术，并非本申请的重点，故在此不详述。

本申请的具体使用过程为，将坩埚外锅2与坩埚内锅1连接安装在一起，进行多晶硅锭的生产工作，待生产结束后，将坩埚内锅1从坩埚外锅2上拆卸下来并取出，将坩埚内锅1的四个内锅侧面13通过转轴11转动进而将坩埚内锅1展开为一个平面，取出多晶硅锭并对坩埚内锅1上残留的杂质进行清理，清理结束后，将坩埚内锅1的四个内锅侧面13通过转轴11转动进而将坩埚内锅1重新组合成一个一端开口的锅型，将坩埚内锅1重新与坩埚外锅2可拆卸连接起来。

作为优选实施例，坩埚内锅1开口端处设有环形把手4。环形把手4能够使得当生产结束时取出坩埚内锅1更加方便快捷，无论是通过人工还是机器的方式，环形把手4都能作为一个施力点，加大了工作效率。

作为优选实施例，环形把手4铰接在坩埚内锅1上。将环形把手4铰接于坩埚内锅1上能够使环形把手4可以相对坩埚内锅1转动，当处于不需要取出坩埚内锅1时，可将环形把手4转动至其贴合坩埚外表面，使其不会对其他的工序造成影响，实用性更高。

作为优选实施例，坩埚外锅2外壁上设置有护板3。在多晶硅锭长上来的过程中，它是通过温度来换热的，最好的方式是从底部散热，但是坩埚侧面同样也能够散热，因此坩埚的侧面，尤其是侧面的底部必须要具有足够的保温效果，如果没有保温措施，晶体生长起来有一定的斜向，质量参差不齐。因此在坩埚外锅2的外壁上设有护板3，用来起到一个保温的作用，护板3的材料可以选用二氧化硅气凝胶，这样能使护板3的保温效果极佳而且质量特别轻，不会使得坩埚整体过重。

作为优选实施例，内锅侧面13用以与其他内锅侧面13贴合的一端设有磁吸件14。坩埚内锅1由于可以展开的结构，在非展开状态即正常锅型下内锅侧面13之间相互贴合的可能不紧密、出现缝隙，这样可能会在多晶硅锭的生产过程中使一些杂志泄露到坩埚外锅2处造成污染，因此在内锅侧面13用以与其他内锅侧面13贴合的一端设置有磁吸件14，相贴合的两端上的磁吸件14可以为磁极相异的磁铁，这样能够使得非展开状态下内锅侧面13贴合的较为紧密。

作为优选实施例，坩埚内锅1的内表面复合有氮化硅涂层。为了抑制坩埚杂质扩散污染多晶硅锭，会在坩埚内锅1上复合喷涂氮化硅层以有效抑制杂质的扩散。

作为优选实施例，氮化硅涂层表面复合有颗粒层。颗粒层上的颗粒能够在生长多晶硅的过程中作为硅的形核点，优先在该位置形核，形核点分布的均匀性和集中细密性减少了晶核的无序竞争以及形成枝状晶的可能，降低了晶体生长过程中的内应力，使晶体缺陷少，质量高。颗粒层的颗粒可以采用硅颗粒。

作为优选实施例，坩埚外锅2与坩埚内锅1之间填充有锡层，能够提高使用时坩埚内锅1和坩埚外锅2之间的导热效果。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。