一种具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件的制作方法

本实用新型涉及晶体生长设备上采用的波纹管组件，具体地说是一种具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件。

背景技术：

在单晶炉或多晶炉设备上采用的波纹管组件，上端法兰与炉底板相连，下端法兰与坩埚升降平台相连，上、下端法兰之间连接有波纹管。在炉底板的上方，通过石墨拖杆安装有坩埚，坩埚内盛有硅液。在晶体生长过程中，炉内的温度在1000℃以上，坩埚内部的硅液由于石墨拖杆的不慎倾斜而容易溅落出来；若碰到波纹管，会造成波纹管烫伤而破损，进而导致晶体报废。

技术实现要素：

为了防止溅落出来的高温硅液碰到波纹管内壁，本实用新型的目的在于提供一种具有防溅伤环的晶体生长设备用波纹管组件。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

本实用新型包括上端法兰、下端法兰、波纹管及石墨拖杆，其中波纹管连接于所述上端法兰与下端法兰之间，所述上端法兰上开设有炉底板安装槽，所述石墨拖杆由下端法兰、波纹管及上端法兰上的炉底板安装槽穿过；所述上端法兰上安装有防止溅落出来的硅液接触到波纹管内壁的防溅伤环，该防溅伤环的上端安装于上端法兰上开设的炉底板安装槽内，下端由所述炉底板安装槽内穿出，位于所述波纹管内部与石墨拖杆之间；

其中：所述防溅伤环的上端为法兰，下端为缩口，该法兰与缩口之间为环体；所述法兰与上端法兰上开设的炉底板安装槽内部相连，所述缩口位于上端法兰的下方，处于所述波纹管内部与石墨拖杆之间，该缩口的内径小于所述法兰的内径；

所述环体的内壁由上至下向内弯曲；

所述法兰上沿周向开设有多个沉孔；

所述炉底板安装槽为阶梯孔，内部形成止口，该止口的内表面制有便于固定所述防溅伤环的螺纹；

所述防溅伤环分为形状、结构相同的两半；

所述防溅伤环内孔的直径大于石墨拖杆的外径，该防溅伤环的外径小于波纹管的内径；

所述防溅伤环的轴向长度小于晶体生长结束后的所述波纹管的最短长度。

本实用新型的优点与积极效果为：

1.本实用新型在上端法兰处加装了防溅伤环，确保高温硅液溅落出来不会直接碰到波纹管的内壁，而是顺着防溅伤环的导流口，顺着耐高温的石墨拖杆流到波纹管的底部，进而保护波纹管不会烫伤泄露。

2.本实用新型的防溅伤环可整体加工后均分两半，便于波纹管组件套入石墨拖杆后安装。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构剖视图；

图2为本实用新型防溅伤环一种结构的示意图；

图3为本实用新型防溅伤环另一种结构的示意图；

图4为本实用新型防溅伤环的结构剖视图；

其中：1为石墨拖杆，2为上端法兰，3为下端法兰，4为炉底板安装槽，5为波纹管，6为防溅伤环，601为法兰，602为环体，603为缩口，604为沉孔。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

实施例一

如图1、图2所示，本实施例的晶体生长设备用波纹管组件包括石墨拖杆1、上端法兰2、下端法兰3、波纹管5及防溅伤环6，其中波纹管5连接于上端法兰2与下端法兰3之间，上端法兰2上开设有炉底板安装槽4，石墨拖杆1由下端法兰3、波纹管5及上端法兰2上的炉底板安装槽4穿过；炉底板安装槽4为阶梯孔，内部形成止口，该止口的内表面制有便于固定防溅伤环6的螺纹；炉底板安装在该炉底板安装槽4中。

上端法兰2上安装有防止溅落出来的硅液接触到波纹管5内壁的防溅伤环6，该防溅伤环6的上端安装于上端法兰2上开设的炉底板安装槽4内，下端由炉底板安装槽4内穿出，位于波纹管5内部与石墨拖杆1之间。

本实施例的防溅伤环6为一体结构，上端为法兰601，下端为缩口603，该法兰601与缩口603之间为环体602。法兰601上沿圆周方向开设有多个沉孔604(本实施例的沉孔604为沿圆周方向均布)，便于螺丝固定后防溅伤环6的上端平面与炉底板紧密结合。法兰601与上端法兰2上开设的炉底板安装槽4内部相连，缩口603位于上端法兰2的下方，处于波纹管5内部与石墨拖杆1之间，该缩口603的内径小于法兰601的内径；缩口603可以使溅落的高温硅液顺着导流口缓缓流下，不会使高温硅液溅落到防溅伤环6后二次溅起。环体602的内壁由上至下向内弯曲，环体602上端外表面与炉底板安装槽4带有螺纹的部分连接。防溅伤环6内孔的直径大于石墨拖杆1的外径，确保上下移动自由；本实施例防溅伤环6的内孔直径大于石墨拖杆1外径2～5毫米，确保高温硅液不能飞溅到波纹管5的内壁。防溅伤环6的外径小于波纹管5的内径，确保上下移动自由；本实施例防溅伤环6的外径小于波纹管5内径5毫米，确保移动过程中不碰伤波纹管5。防溅伤环6的最大工作高度(即轴向长度)要小于晶体生长结束后的波纹管5的最短长度。

因炉型不同，石墨拖杆1的外径不同，因此，本实施例的防溅伤环6的内径大小可根据需要自由更换。

实施例二

如图1、图3及图4所示，本实施例与实施例一的区别在于：本实施例的防溅伤环6整体加工后，均分为形状、结构相同的两半，便于波纹管组件套入石墨拖杆1后安装。其余均与实施例一相同。

本实用新型为防止溅落出来的高温硅液碰到波纹管5的内壁，在上端法兰2处加装了防溅伤环6，确保高温硅液溅落出来不会直接碰到波纹管5的内壁，而是顺着防溅伤环6的导流口(即缩口603)，顺着耐高温的石墨拖杆1流到波纹管5的底部，进而保护波纹管5不会烫伤泄漏。

防溅伤环6统一安装在上端法兰2开设的炉底板安装槽4中，安装位置统一，便于安装。