一种拉速可调的引晶装置的制作方法

本实用新型属于晶体制备技术领域，具体涉及一种拉速可调的引晶装置。

背景技术：

单晶生长法基本原理为，多晶体硅料经加热熔化，待温度合适后，经过将籽晶浸入、熔接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤，完成一根单晶锭的拉制。

引晶的目的是排除位错，直拉大尺寸单晶硅由于直径尺寸较大，引晶长度较短不能达到有效排除位错的目的，所以大尺寸单晶硅的引晶长度至少在一个直径的长度；所以这其中手动引晶的时间会增加，更容易造成工时的浪费。

现有设备的引晶，需要设备自动引晶和人工手动引晶相结合才能达到有效排除位错的效果，才能有效提高成晶率；这其中主要的问题在于设备引出的细晶未能达到均匀且在有效直径控制范围内的条件，而且人工操作易造成工时浪费，也是自动化、信息化推进的一种阻碍。

技术实现要素：

为解决上述问题，本实用新型提供了一种拉速可调的引晶装置，包括：

引晶装置本体，用于对籽晶进行引晶操作；

cdd摄像头，用于对所述引晶装置本体上的所述籽晶进行监测；所述cdd摄像头设置于所述引晶装置本体上；

放大装置，用于对所述引晶装置本体上的所述籽晶进行放大，以供所述cdd摄像头进行监测；所述放大装置设置于所述cdd摄像头上朝向所述引晶装置本体的一侧；

其中，所述cdd摄像头通过判断所述籽晶四点收缩的程度是否超过预设值以调节所述引晶装置本体进行引晶操作的拉速。

优选地，所述引晶装置本体包括：

伺服电机，用于接收所述cdd摄像头的控制命令，并调节所述引晶装置本体的拉速；所述伺服电机分别与所述引晶装置本体和所述cdd摄像头连接。

优选地，所述引晶装置本体包括：

石英坩埚，用于引晶；

底座，用于支撑所述石英坩埚；

支撑杆，用于连接所述石英坩埚和所述底座；所述支撑杆底端可转动地设置于所述石英坩埚上，且顶端支撑所述底座，所述伺服电机与所述支撑杆连接，并控制其在所述底座上的转动。

优选地，所述引晶装置本体还包括：手轮，用于调节所述引晶装置本体的拉速；所述手轮与所述伺服电机连接，以控制所述支撑杆在所述底座上的转动。

本实用新型提供的一种拉速可调的引晶装置，采用放大装置，将籽晶在ccd中的成像放大，ccd摄像头采集籽晶图像更为清晰清楚，通过对籽晶四点收缩的程度判断来调节拉速，同时对细晶直径的测量使其在安全范围内并且引出的细晶均匀，有利于提高成活率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的一种拉速可调的引晶装置的连接示意图；

图2是本实用新型提供的引晶装置本体的连接示意图；

图3是本实用新型提供的引晶装置本体的连接示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1-3，在

本技术：
实施例中，本申请提供了一种拉速可调的引晶装置，包括：引晶装置本体1、cdd摄像头2和放大装置3，下面对各部分进行详细描述。

如图1-3，在本申请实施例中，本申请提供的一种拉速可调的引晶装置，包括：

引晶装置本体1，用于对籽晶进行引晶操作；

cdd摄像头2，用于对所述引晶装置本体1上的所述籽晶进行监测；所述cdd摄像头2设置于所述引晶装置本体1上；

放大装置3，用于对所述引晶装置本体1上的所述籽晶进行放大，以供所述cdd摄像头2进行监测；所述放大装置3设置于所述cdd摄像头2上朝向所述引晶装置本体1的一侧；

其中，所述cdd摄像头2通过判断所述籽晶四点收缩的程度是否超过预设值以调节所述引晶装置本体1进行引晶操作的拉速。

如图2，在本申请实施例中，所述引晶装置本体1包括：

伺服电机4，用于接收所述cdd摄像头2的控制命令，并调节所述引晶装置本体1的拉速；所述伺服电机4分别与所述引晶装置本体1和所述cdd摄像头2连接。

如图3，在本申请实施例中，所述引晶装置本体1包括：

石英坩埚5，用于引晶；

底座6，用于支撑所述石英坩埚5；

支撑杆7，用于连接所述石英坩埚5和所述底座6；所述支撑杆7底端可转动地设置于所述石英坩埚5上，且顶端支撑所述底座6，所述伺服电机4与所述支撑杆7连接，并控制其在所述底座6上的转动。

在本申请实施例中，所述cdd摄像头2通过放大装置3(比如凸透镜、显微镜或纳米显微镜等)观察石英坩埚5内的籽晶，并判断所述籽晶四点收缩的程度是否超过预设值；当超过预设值时，所述cdd摄像头2控制伺服电机4带动支撑杆7转动，以调节所述引晶装置本体1进行引晶操作的拉速。

如图3，在本申请实施例中，所述引晶装置本体1还包括：手轮8，用于调节所述引晶装置本体1的拉速；所述手轮8与所述伺服电机4连接，以控制所述支撑杆7在所述底座6上的转动。使用者可以通过手轮8控制所述引晶装置本体1进行引晶操作的拉速。

本实用新型提供的一种拉速可调的引晶装置，采用放大装置，将籽晶在ccd中的成像放大，ccd摄像头采集籽晶图像更为清晰清楚，通过对籽晶四点收缩的程度判断来调节拉速，同时对细晶直径的测量使其在安全范围内并且引出的细晶均匀，有利于提高成活率

应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

技术特征：

1.一种拉速可调的引晶装置，其特征在于，包括：

引晶装置本体，用于对籽晶进行引晶操作；

cdd摄像头，用于对所述引晶装置本体上的所述籽晶进行监测；所述cdd摄像头设置于所述引晶装置本体上；

放大装置，用于对所述引晶装置本体上的所述籽晶进行放大，以供所述cdd摄像头进行监测；所述放大装置设置于所述cdd摄像头上朝向所述引晶装置本体的一侧；

其中，所述cdd摄像头通过判断所述籽晶四点收缩的程度是否超过预设值以调节所述引晶装置本体进行引晶操作的拉速。

2.根据权利要求1所述的引晶装置，其特征在于，所述引晶装置本体包括：

伺服电机，用于接收所述cdd摄像头的控制命令，并调节所述引晶装置本体的拉速；所述伺服电机分别与所述引晶装置本体和所述cdd摄像头连接。

3.根据权利要求2所述的引晶装置，其特征在于，所述引晶装置本体包括：

石英坩埚，用于引晶；

底座，用于支撑所述石英坩埚；

支撑杆，用于连接所述石英坩埚和所述底座；所述支撑杆底端可转动地设置于所述石英坩埚上，且顶端支撑所述底座，所述伺服电机与所述支撑杆连接，并控制其在所述底座上的转动。

4.根据权利要求3所述的引晶装置，其特征在于，所述引晶装置本体还包括：手轮，用于调节所述引晶装置本体的拉速；所述手轮与所述伺服电机连接，以控制所述支撑杆在所述底座上的转动。

技术总结
本申请提供了一种拉速可调的引晶装置，包括：引晶装置本体、CDD摄像头和放大装置。本实用新型提供的一种拉速可调的引晶装置，采用放大装置，将籽晶在CCD中的成像放大，CCD摄像头采集籽晶图像更为清晰清楚，通过对籽晶四点收缩的程度判断来调节拉速，同时对细晶直径的测量使其在安全范围内并且引出的细晶均匀，有利于提高成活率。

技术研发人员：韩凯;赵志远;郭志荣;钟旭;景吉祥;李晓东;王胜利;康学斌
受保护的技术使用者：内蒙古中环光伏材料有限公司
技术研发日：2019.12.18
技术公布日：2020.08.28