一种改善均匀性的扩散炉进气装置的制作方法

本实用新型涉及一种扩散炉进气装置，尤其是涉及一种改善均匀性的扩散炉进气装置。

背景技术：

随着可持续发展理念深入人心，太阳能发电产业发展迅速。现有太阳能发电依托于光伏电池板，它的主要材料为硅电池片，而硅电池片在生产工序中需要磷扩散。为此，有人发明了一种名为：“一种光伏硅片石英扩散炉”的专利（中国专利号：201720902786.5），该石英扩散炉包括喷淋管、石英舟、挡板、保温桶、石英炉门、排废管和tc管，其中喷淋管即是用于进给保护气体三氯氧磷的进气装置，该喷淋管为直管，在应用于大尺寸硅片的磷化处理中会出现磷化不均的现象，增加硅片的返工率。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种呈u型分叉结构的具有改善均匀性的扩散炉进气装置；解决现有技术中存在大尺寸硅片的磷化处理中容易出现磷化不均的问题。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种改善均匀性的扩散炉进气装置，其特征在于：包括有相互连接的炉外管道和炉内管道，两者为任意形状轮廓的管状物，炉内管道包括有至少两根等间距分隔排布的喷气管和连接管，炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，所述喷气管的端部为密封设置，喷气管的管体上均匀设有若干个排气孔，各个排气孔的孔径相同。

三氯氧磷气体通过炉外管道进入炉内管道部分，然后排入扩散炉。本实用新型整体设置在扩散炉的顶部且水平分布，炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，因此炉外管道内的气体可以均匀的分配给每根喷气管，然后从排气孔排出，这样排出的气体覆盖面积较大，扩散炉内的气体均匀性较好，保证了大尺寸硅片扩散后的磷化均匀性。

作为优选，所述的喷气管为直线形圆柱管体，各喷气管等长等粗设置，有利于提高扩散炉内的气体均匀度。

作为优选，连接管上也开设有若干个均匀分布的排气孔。

作为优选，所述的连接管与每根喷气管的同侧端部连接，且连接管的轴向与喷气管轴向垂直。

作为优选，炉外管道与连接管的中部连接，且炉外管道轴向与连接管垂直。

作为优选，所述的喷气管长度为150～250cm,喷气管之间的间距为40～60cm，排气孔的间距为30～50cm。

因此，本实用新型相比现有技术具有以下特点：1.炉外管道与连接管连接，连接管与多根喷气管连通，炉外管道内的气体可以均匀的分配给每根喷气管，然后从排气孔排出，扩散炉内的气体均匀性较好，保证了大尺寸硅片扩散后的磷化均匀性。

附图说明

附图1是本实用新型的一种结构示意图；

附图2是本实用新型在扩散炉内的分布示意图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例1：见图1，一种改善均匀性的扩散炉进气装置，包括有相互连接的炉外管道1和炉内管道2，两者为任意形状轮廓的管状物，炉内管道2包括有两根等间距分隔排布的喷气管3和连接管4，喷气管之间的间距为50cm，炉外管道1与连接管4连接，连接管4与每根喷气管3的后端连通，连接处为弧状过渡，使炉内管道整体呈u形，喷气管3的端部为密封设置，喷气管3的管体上均匀设有若干个排气孔5，各个排气孔的孔径相同，排气孔之间的间距为40cm。

本实用新型整体设置在扩散炉a的顶部且水平分布，两根喷气管为等高设置（参见图2）。炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，因此炉外管道内的气体可以均匀的分配给每根喷气管，然后从排气孔排出，这样排出的气体覆盖面积较大，扩散炉内的气体均匀性较好，保证了大尺寸硅片扩散后的磷化均匀性。

见图1，喷气管3为直线形圆柱管体，各喷气管3等长等粗设置，有利于提高扩散炉内的气体均匀度。

见图1，连接管4上也开设有若干个均匀分布的排气孔5。

见图1，炉外管道1与连接管4的中部连接，且炉外管道1轴向与连接管4垂直。

本实用新型可改变为多种方式对本领域的技术人员是显而易见的，这样的改变不认为脱离本实用新型的范围。所有这样的对所述领域技术人员显而易见的修改将包括在本权利要求的范围之内。

技术特征：

1.一种改善均匀性的扩散炉进气装置，其特征在于：包括有相互连接的炉外管道（1）和炉内管道（2），两者为任意形状轮廓的管状物，炉内管道（2）包括有至少两根等间距分隔排布的喷气管（3）和连接管（4），炉外管道（1）与连接管（4）连接，连接管（4）与每根喷气管（3）连通，所述喷气管（3）的端部为密封设置，喷气管（3）的管体上均匀设有若干个排气孔（5）。

2.根据权利要求1所述的改善均匀性的扩散炉进气装置，其特征在于：所述的喷气管（3）为直线形圆柱管体，各喷气管（3）等长等粗设置。

3.根据权利要求1或2所述的改善均匀性的扩散炉进气装置，其特征在于：连接管（4）上也开设有若干个均匀分布的排气孔（5）。

4.根据权利要求3所述的改善均匀性的扩散炉进气装置，其特征在于：所述的连接管（4）与每根喷气管（3）的同侧端部连接，且连接管（4）的轴向与喷气管（3）轴向垂直。

5.根据权利要求4所述的改善均匀性的扩散炉进气装置，其特征在于：炉外管道（1）与连接管（4）的中部连接，且炉外管道（1）轴向与连接管（4）垂直。

6.根据权利要求4所述的改善均匀性的扩散炉进气装置，其特征在于：所述的喷气管（3）长度为150～250cm,喷气管（3）之间的间距为40～60cm，排气孔（5）的间距为30～50cm。

技术总结
本实用新型涉及一种改善均匀性的扩散炉进气装置。它包括有相互连接的炉外管道和炉内管道，两者为任意形状轮廓的管状物，炉内管道包括有至少两根等间距分隔排布的喷气管和连接管，炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，所述喷气管的端部为密封设置，喷气管的管体上均匀设有若干个排气孔，各个排气孔的孔径相同。本实用新型整体设置在扩散炉的顶部且水平分布，炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，因此炉外管道内的气体可以均匀的分配给每根喷气管，然后从排气孔排出，这样排出的气体覆盖面积较大，扩散炉内的气体均匀性较好，保证了大尺寸硅片扩散后的磷化均匀性。

技术研发人员：刘丹丹;林纲正;陈刚
受保护的技术使用者：浙江爱旭太阳能科技有限公司
技术研发日：2019.12.25
技术公布日：2020.08.14