一种用于衬底基片的高纯度石墨基座的制作方法

本实用新型涉及石墨基座技术领域，具体为一种用于衬底基片的高纯度石墨基座。

背景技术：

外延片生长技术处于led产业链中的上游环节，是半导体照明产业技术含量最高、对最终产品品质、成本控制影响最大的环节。现有用于承载衬底基片的装置包括石墨支撑环和设置在石墨支撑环上的石墨基座，衬底基片放置在石墨基座上。

由于衬底基片的大小规格不同，对于小规格的基片放置在石墨基座上，进行调节石墨基座的位置或者支撑环发生相应的运动时，小规格的基片易滑动，容易滑出石墨基座表面的放置槽，不利于对不同规格的衬底基片进行固定。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于衬底基片的高纯度石墨基座，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于衬底基片的高纯度石墨基座，包括石墨基座本体、置物槽、定型环以及卡接块，所述石墨基座本体中心处贯穿设有穿孔，围绕穿孔外侧均匀排列有若干个置物槽，置物槽位于石墨基座本体的上表面，所述置物槽内侧壁安装有与其相匹配的定型环，定型环内侧壁处放置有与其相匹配的衬底基片，定型环的高度与置物槽的深度相同，所述置物槽内壁处对称设置有卡接槽，定型环外侧边设置有与卡接槽匹配的卡接块，卡接块对应插入定型环中，所述定型环内壁处设置有弧形凹槽。

优选的，所述石墨基座本体外侧边设置有向内凹陷的环形安装槽，环形安装槽内部安装有与其形状相匹配的防滑垫，防滑垫的厚度大于环形安装槽的深度。

优选的，所述环形安装槽内壁处设置有连接卡块，连接卡块穿过防滑垫，连接卡块呈四棱台形状，且连接卡块长度小的一端位于环形安装槽的外侧。

优选的，环形安装槽与连接卡块为一体成型结构。

优选的，石墨基座本体、连接卡块与定型环外表面均涂有碳化硅涂层。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1．使用石墨基座本体时，通过设置的定型环，可根据不同规格的衬底基片设置有内环直径不同的定型环，与相应的衬底基片配合使用，有利于人们放置不同规格的衬底基片，对衬底基片进行固定，避免石墨基座本体移动时，衬底基片滑出置物槽，使用定型环时，将其放置在置物槽中，同时将卡接块插入卡接槽中，进行固定定型环，防止其在置物槽内发生滑动，不利于对其内部的衬底基片进行固定，

2．在石墨基座本体中心处设置有穿孔，人们通过将着力点放置在穿孔处，便于人们将石墨基座本体与石墨支撑环分开。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型石墨基座本体的结构俯视图；

图3为本实用新型石墨基座本体的结构示意图。

图中：1、石墨基座本体；2、穿孔；3、置物槽；4、环形安装槽；5、防滑垫；6、定型环；7、连接卡块；8、弧形凹槽；9、卡接槽；10、卡接块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于衬底基片的高纯度石墨基座，包括石墨基座本体1、置物槽3、定型环6以及卡接块10，所述石墨基座本体1中心处贯穿设有穿孔2，围绕穿孔2外侧均匀排列有若干个置物槽3，置物槽3位于石墨基座本体1的上表面，所述置物槽3内侧壁安装有与其相匹配的定型环6，定型环6内侧壁处放置有与其相匹配的衬底基片，定型环6的高度与置物槽3的深度相同，所述置物槽3内壁处对称设置有卡接槽9，定型环6外侧边设置有与卡接槽9匹配的卡接块10，卡接块10对应插入定型环6中，所述定型环6内壁处设置有弧形凹槽8。

进一步的，所述石墨基座本体1外侧边设置有向内凹陷的环形安装槽4，环形安装槽4内部安装有与其形状相匹配的防滑垫5，防滑垫5的厚度大于环形安装槽4的深度。

进一步的，所述环形安装槽4内壁处设置有连接卡块7，连接卡块7穿过防滑垫5，连接卡块7呈四棱台形状，且连接卡块7长度小的一端位于环形安装槽4的外侧。

进一步的，环形安装槽4与连接卡块7为一体成型结构。

进一步的，石墨基座本体1、连接卡块7与定型环6外表面均涂有碳化硅涂层。

工作原理：进行使用石墨基座本体1时，通过设置的定型环6，可根据不同规格的衬底基片设置有内环直径不同的定型环6，与相应的衬底基片配合使用，有利于人们放置不同规格的衬底基片，对衬底基片进行固定，避免石墨基座本体1移动时，衬底基片滑出置物槽3，使用定型环6时，将其放置在置物槽3中，同时将卡接块10插入卡接槽9中，进行固定定型环6，防止其在置物槽3内发生滑动，不利于对其内部的衬底基片进行固定，该置物槽3的直径与实际使用的衬底基片的最大直径相同，设置有弧形凹槽8，将衬底基片放置在定型环6内侧时，便于人们将食指至于弧形凹槽8处，将位于内侧的衬底基片取出，便于人们更换衬底基片，在石墨基座本体1中心处设置有穿孔2，人们通过将着力点放置在穿孔2处，便于人们将石墨基座本体1与石墨支撑环分开，

人们一般将石墨基座本体1放入石墨支撑环中配合使用，设置有防滑垫5，增加石墨基座本体1与石墨支撑环之间的摩擦力，防止两者发生相互滑动，通过将连接卡块7插入与其相匹配的石墨支撑环的连接槽中，进行连接石墨基座本体1和石墨支撑环。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种用于衬底基片的高纯度石墨基座，其特征在于：包括石墨基座本体（1）、置物槽（3）、定型环（6）以及卡接块（10），所述石墨基座本体（1）中心处贯穿设有穿孔（2），围绕穿孔（2）外侧均匀排列有若干个置物槽（3），置物槽（3）位于石墨基座本体（1）的上表面，所述置物槽（3）内侧壁安装有与其相匹配的定型环（6），定型环（6）内侧壁处放置有与其相匹配的衬底基片，定型环（6）的高度与置物槽（3）的深度相同，所述置物槽（3）内壁处对称设置有卡接槽（9），定型环（6）外侧边设置有与卡接槽（9）匹配的卡接块（10），卡接块（10）对应插入定型环（6）中，所述定型环（6）内壁处设置有弧形凹槽（8）。

2.根据权利要求1所述的一种用于衬底基片的高纯度石墨基座，其特征在于：所述石墨基座本体（1）外侧边设置有向内凹陷的环形安装槽（4），环形安装槽（4）内部安装有与其形状相匹配的防滑垫（5），防滑垫（5）的厚度大于环形安装槽（4）的深度。

3.根据权利要求2所述的一种用于衬底基片的高纯度石墨基座，其特征在于：所述环形安装槽（4）内壁处设置有连接卡块（7），连接卡块（7）穿过防滑垫（5），连接卡块（7）呈四棱台形状，且连接卡块（7）长度小的一端位于环形安装槽（4）的外侧。

4.根据权利要求1所述的一种用于衬底基片的高纯度石墨基座，其特征在于：环形安装槽（4）与连接卡块（7）为一体成型结构。

5.根据权利要求1所述的一种用于衬底基片的高纯度石墨基座，其特征在于：石墨基座本体（1）、连接卡块（7）与定型环（6）外表面均涂有碳化硅涂层。

技术总结
本实用新型公开了一种用于衬底基片的高纯度石墨基座，包括石墨基座本体、置物槽、定型环以及卡接块，所述石墨基座本体中心处贯穿设有穿孔，围绕穿孔外侧均匀排列有若干个置物槽，置物槽位于石墨基座本体的上表面，所述置物槽内侧壁安装有与其相匹配的定型环，本实用新型在使用石墨基座本体时，通过设置的定型环，可根据不同规格的衬底基片设置有内环直径不同的定型环，与相应的衬底基片配合使用，有利于人们放置不同规格的衬底基片，对衬底基片进行固定，避免石墨基座本体移动时，衬底基片滑出置物槽，使用定型环时，将其放置在置物槽中，同时将卡接块插入卡接槽中，进行固定定型环。

技术研发人员：余波;郑方渊;张华;冯晓倩
受保护的技术使用者：上海弘竣新能源材料有限公司
技术研发日：2019.11.27
技术公布日：2020.08.14