一种具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置的制作方法

文档序号:22905294发布日期:2020-11-13 12:39阅读:150来源:国知局
一种具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置的制作方法

本实用新型涉及回收装置技术领域,具体为一种具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置。



背景技术:

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径,比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的。

目前市场上的单晶炉在边皮熔料过程中,因条件限制,边皮熔料需用手持盒人工手动熔料,较为费时、费力,且人工实际操作中因操作不当或未及时操作极易造成漏硅、渗硅、边皮卡料、成晶不良等事故,故而提出一种具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置来解决上述中所提出的问题。



技术实现要素:

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置,具备防漏功能好等优点,解决了单晶炉在边皮熔料过程中人工操作不当极易造成漏硅、渗硅、边皮卡料、成晶不良等事故的问题。

(二)技术方案

为实现上述防漏功能好的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置,包括底座,所述底座的顶部固定连接有单晶炉炉体,所述底座的内部固定安装有坩埚旋转电机,所述坩埚旋转电机的输出轴上固定连接有坩埚轴,所述坩埚轴的顶部固定连接有坩埚底座,所述坩埚底座的顶部固定连接有坩埚,所述单晶炉炉体的内部且位于坩埚的外部固定连接有加热器,所述加热器的外表面固定连接有保温筒,所述单晶炉炉体的顶部固定连接有法兰,所述法兰的内壁上固定连接有贯穿并延伸至单晶炉炉体内部的漏斗,所述法兰的顶部固定连接有端盖,所述端盖的顶部固定连接有贯穿并延伸至端盖内部的传动旋转电机,所述旋转电机的顶部固定连接有伸缩气缸,所述旋转电机的输出轴上固定连接有转轴,所述转轴的顶部固定连接有挡板,所述单晶炉炉体的右侧固定连接有控制箱,所述控制箱的内部固定安装有plc控制器和时间继电器,所述控制箱的外表面固定连接有自锁按钮开关。

优选的,所述底座的外形为矩形,所述底座的内部开设有中空腔,所述单晶炉炉体为中空的圆柱体。

优选的,所述坩埚底座为空心圆柱体,所述坩埚为空心的圆柱体,所述坩埚底座的内径大小等于坩埚的外径大小。

优选的,所述加热器和保温筒均为空心的圆柱体,所述加热器底部的左右两侧均设有与时间继电器电连接的电极。

优选的,所述漏斗底部的口径大小小于或等于挡板顶部的外径大小,所述端盖的顶部开设有旋转电机外径大小的槽孔,所述端盖的右侧设有惰性气体接口。

优选的,所述控制箱为中空的立方体,所述坩埚旋转电机、旋转电机和伸缩气缸分别与plc控制器和时间继电器电连接。

(三)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了一种具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置,具备以下有益效果:

1、该具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置,通过设置漏斗和漏斗底部的挡板,便于储存边皮原料,再通过设置plc控制器控制旋转电机和伸缩气缸启动,使转轴向下运动,使挡板与漏斗的出料口分离,便于控制边皮原料进入坩埚内的数量,然后通过设置自锁按钮开关控制时间继电器,使边皮熔料过程达到可控的目的,达到了防漏功能好的效果。

2、该具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置,通过设置加热器外表面的保温筒,能够有效增强坩埚保温时间长的效果,通过设置法兰固定漏斗,能够有效增强漏斗的稳定性,从而有效的解决了单晶炉在边皮熔料过程中人工操作不当极易造成漏硅、渗硅、边皮卡料、成晶不良等事故的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中:1底座、2单晶炉炉体、3坩埚旋转电机、4坩埚轴、5坩埚底座、6坩埚、7加热器、8保温筒、9法兰、10漏斗、11端盖、12旋转电机、13伸缩气缸、14转轴、15挡板、16控制箱、17plc控制器、18时间继电器、19自锁按钮开关。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1,一种具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置,包括底座1,底座1的顶部固定连接有单晶炉炉体2,底座1的外形为矩形,底座1的内部开设有中空腔,单晶炉炉体2为中空的圆柱体,底座1的内部固定安装有坩埚旋转电机3,该坩埚旋转电机3的型号可为y160m-4,坩埚旋转电机3的输出轴上固定连接有坩埚轴4,坩埚轴4的顶部固定连接有坩埚底座5,坩埚底座5的顶部固定连接有坩埚6,坩埚底座5为空心圆柱体,坩埚6为空心的圆柱体,坩埚底座5的内径大小等于坩埚6的外径大小,单晶炉炉体2的内部且位于坩埚6的外部固定连接有加热器7,加热器7的外表面固定连接有保温筒8,加热器7和保温筒8均为空心的圆柱体,加热器7底部的左右两侧均设有与时间继电器18电连接的电极,单晶炉炉体2的顶部固定连接有法兰9,法兰9的内壁上固定连接有贯穿并延伸至单晶炉炉体2内部的漏斗10,该具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置,通过设置加热器7外表面的保温筒8,能够有效增强坩埚6保温时间长的效果,通过设置法兰9固定漏斗10,能够有效增强漏斗10的稳定性,法兰9的顶部固定连接有端盖11,漏斗10底部的口径大小小于或等于挡板15顶部的外径大小,端盖11的顶部开设有旋转电机12外径大小的槽孔,端盖11的右侧设有惰性气体接口,端盖11的顶部固定连接有贯穿并延伸至端盖11内部的传动旋转电机12,旋转电机12的顶部固定连接有伸缩气缸13,旋转电机12的输出轴上固定连接有转轴14,转轴14的顶部固定连接有挡板15,单晶炉炉体2的右侧固定连接有控制箱16,控制箱16的内部固定安装有plc控制器17和时间继电器18,控制箱16为中空的立方体,坩埚旋转电机3、旋转电机12和伸缩气缸13分别与plc控制器17和时间继电器18电连接,控制箱16的外表面固定连接有自锁按钮开关19,该具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置,通过设置漏斗10和漏斗10底部的挡板15,便于储存边皮原料,再通过设置plc控制器17控制旋转电机12和伸缩气缸13启动,使转轴14向下运动,使挡板15与漏斗10的出料口分离,便于控制边皮原料进入坩埚6内的数量,然后通过设置自锁按钮开关19控制时间继电器18,使边皮熔料过程达到可控的目的,达到了防漏功能好的效果,从而有效的解决了单晶炉在边皮熔料过程中人工操作不当极易造成漏硅、渗硅、边皮卡料、成晶不良等事故的问题。

综上所述,该具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置,通过设置漏斗10和漏斗10底部的挡板15,便于储存边皮原料,再通过设置plc控制器17控制旋转电机12和伸缩气缸13启动,使转轴14向下运动,使挡板15与漏斗10的出料口分离,便于控制边皮原料进入坩埚6内的数量,然后通过设置自锁按钮开关19控制时间继电器18,使边皮熔料过程达到可控的目的,达到了防漏功能好的效果。

并且,该具有防漏功能的单晶炉边皮熔料装置,通过设置加热器7外表面的保温筒8,能够有效增强坩埚6保温时间长的效果,通过设置法兰9固定漏斗10,能够有效增强漏斗10的稳定性,从而有效的解决了单晶炉在边皮熔料过程中人工操作不当极易造成漏硅、渗硅、边皮卡料、成晶不良等事故的问题。

需要说明的是,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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