采用柔性连接管路的单晶炉的制作方法

本实用新型涉及单晶硅加工设备技术领域，特别涉及一种采用柔性连接管路的单晶炉。

背景技术：

目前单晶炉的上炉体上用于排气的第一连接管、第二连接管之间的连接为面面接触式连接，在实际拉晶过程中，若中炉体的第一连接管、第二连接管连接存在偏差，则在抽真空检漏时会产生漏气现象，需要再次检查确认，增加了开炉前准备工作时间，严重影响开炉率。两平面接触时，由固定杆进行固定，若固定杆没有对准孔，将会导致上炉体第二连接管将第一连接管压弯，损坏单晶炉，严重影响拉晶。

技术实现要素：

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种采用柔性连接管路的单晶炉。

一种采用柔性连接管路的单晶炉，包括排气单元、上炉体，所述排气单元包括第一连接管、波纹管、第二连接管、负压组件，所述第一连接管的一端与上炉体的内腔连通，所述第一连接管的另一端与波纹管的一端连接，所述波纹管的另一端与第二连接管的一端连接，所述第二连接管的另一端与负压组件的入口连接。

优选的，所述采用柔性连接管路的单晶炉还包括二次加料部件，所述二次加料部件包括分体式钼杆，所述分体式钼杆包括支撑部分、连接部分，所述支撑部分为一个柱形杆状体，所述支撑部分的上端外环壁设有外螺纹，所述连接部分为一个柱形帽状体，所述连接部分的一端面设有沉孔，所述沉孔的内径与支撑部分的直径相等，在沉孔内环壁设有内螺纹，所述支撑部分的上端旋入连接部分的沉孔，以使支撑部分与连接部分螺纹连接。

优选的，所述连接部分相对设置沉孔的另一端截面为“凹”字形，所述连接部分相对设置沉孔的另一个端端面设有插口，所述插口的顶端开口，所述插口沿连接部分的端面的径向延伸，并贯通连接部分，在插口两个侧壁上设有第一销孔，所述第一销孔的轴向与插口的长度方向垂直。

优选的，所述采用柔性连接管路的单晶炉还包括提拉头，所述连接部分还包括连接销，所述提拉头的下端为一个矩形提拉板，所述提拉板的宽度与插口的宽度相等，在提拉板宽度方向的两侧设有第二销孔，所述第二销孔的内径与第一销孔的内径相等，所述提拉板插入插口，所述连接销依次穿过第一销孔、第二销孔，并与第一销孔、第二销孔螺纹连接，以将提拉头与连接部分相连接。

优选的，所述二次加料部件包括不等径石英管，所述不等径石英管的两端部的内径小于中间部的内径。

优选的，所述二次加料部件包括锥形盖体，所述支撑部分的下端穿过不等径石英管，所述支撑部分的下端与锥形盖体的锥端连接，所述锥形盖体相对锥端的一端面直径不小于不等径石英管的两端部的内径。

优选的，所述二次加料部件包括支撑环，所述支撑环的内径等于不等径石英管的外径，所述支撑环套装在不等径石英管的外环壁上。

优选的，所述二次加料部件包括导向环，所述导向环固定在不等径石英管内侧中间部，所述导向环为两个，一个导向环靠近不等径石英管的上端，另一个导向环靠近不等径石英管的下端，所述导向环的内径等于钼杆的外径，所述导向环的外径小于不等径石英管的内径。

优选的，所述二次加料部件包括压盖，所述压盖的外径大于不等径石英管的外径，在压盖上设有豁口，所述豁口由压盖的边缘沿其径向延伸至压盖的圆心，所述豁口的宽度不小于钼杆的外径。

优选的，所述采用柔性连接管路的单晶炉还包括隔离阀、下炉体、坩埚、提升机构，所述上炉体安装在隔离阀的上端，所述下炉体安装在隔离阀的下端，所述坩埚安装在下炉体内，在上炉体内设有提升机构，所述提拉头的上端与提升机构的伸缩端连接，所述不等径石英管的上端置于上炉体中，所述支撑环卡装在上炉体内侧的底部，以将不等径石英管相对上炉体固定，所述不等径石英管的下端穿过隔离阀、下炉体，以使不等径石英管的下端位于坩埚的正上方。

本实用新型中，第一连接管与第二连接管之间采用波纹管柔性连接，与面面连接的硬连接相比，避免了连接过程中存在的偏差，以及两个面局部难以完全接触，从而大大降低了排除因合炉异常导致的额外工作时间，提高了开炉率，提高产量，同时也避免了第二连接管将第一连接管压弯的情况，降低单晶炉损坏率。

附图说明

图1为所述采用柔性连接管路的单晶炉的结构示意图。

图2为所述分体式钼杆的主视图。

图3为所述分体式钼杆的俯视图。

图4为所述防晃动二次加料部件的剖视图。

图5为所述防晃动二次加料部件的俯视图。

图6为所述防晃动二次加料部件沿图4中a-a方向的剖视图。

图中：二次加料部件10、石英管11、钼杆12、支撑部分121、连接部分122、沉孔1221、插口1222、第一销孔1223、连接销1224、盖体13、支撑环14、导向环15、压盖16、豁口161、上炉体20、隔离阀30、下炉体40、坩埚50、提升机构60、提拉头70、提拉板71、排气单元80、第一连接管81、波纹管82、第二连接管83、负压组件84。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

参见图1至图6，本实用新型实施例提供了一种采用柔性连接管路的单晶炉，包括排气单元80、上炉体20，排气单元80包括第一连接管81、波纹管82、第二连接管83、负压组件84，第一连接管81的一端与上炉体20的内腔连通，第一连接管81的另一端与波纹管82的一端连接，波纹管82的另一端与第二连接管83的一端连接，第二连接管83的另一端与负压组件84的入口连接。

负压组件84可以是负压风机、真空泵等，波纹管82可以采用金属软管代替。

本实用新型中，第一连接管81与第二连接管83之间采用波纹管82柔性连接，与面面连接的硬连接相比，避免了连接过程中存在的偏差，以及两个面局部难以完全接触，从而大大降低了排除因合炉异常导致的额外工作时间，提高了开炉率，提高产量，同时也避免了第二连接管83将第一连接管81压弯的情况，降低单晶炉损坏率。

参见图1至图6，进一步，采用柔性连接管路的单晶炉还包括二次加料部件10，二次加料部件10包括分体式钼杆12，分体式钼杆12包括支撑部分121、连接部分122，支撑部分121为一个柱形杆状体，支撑部分121的上端外环壁设有外螺纹，连接部分122为一个柱形帽状体，连接部分122的一端面设有沉孔1221，沉孔1221的内径与支撑部分121的直径相等，在沉孔1221内环壁设有内螺纹，支撑部分121的上端旋入连接部分122的沉孔1221，以使支撑部分121与连接部分122螺纹连接。

本实施例中，将钼杆12设计成分体式，一部分为连接部分122，另一部分为支撑部分121，在重复更换造成损坏的情况下，只需要更换连接部分122，避免了整根钼部件有损坏后无法使用的状况，节省了成本。

参见图1至图6，进一步，连接部分122相对设置沉孔1221的另一端截面为“凹”字形，连接部分122相对设置沉孔1221的另一个端端面设有插口1222，插口1222的顶端开口，插口1222沿连接部分122的端面的径向延伸，并贯通连接部分122，在插口1222两个侧壁上设有第一销孔1223，第一销孔1223的轴向与插口1222的长度方向垂直。

参见图1至图6，进一步，采用柔性连接管路的单晶炉还包括提拉头70，连接部分122还包括连接销1224，提拉头70的下端为一个矩形提拉板71，提拉板71的宽度与插口1222的宽度相等，在提拉板71宽度方向的两侧设有第二销孔，第二销孔的内径与第一销孔1223的内径相等，提拉板71插入插口1222，连接销1224依次穿过第一销孔1223、第二销孔，并与第一销孔1223、第二销孔螺纹连接，以将提拉头70与连接部分122相连接。

本实施例中，提拉头70与连接部分122采用连接销1224，在重复更换造成损坏的情况下，只需要更连接销1224，避免了连接部分122频繁损坏。

参见图1至图6，进一步，二次加料部件10包括不等径石英管11，不等径石英管11的两端部的内径小于中间部的内径。

本实施例中，采用内径较大的石英管11，在其两端部进行改造，使得石英管11两端部内径缩小至要求尺寸，使钼杆12和石英管11之间接触更紧密，减少晃动，避免钼杆12将石英管11损坏，同时采用内径较大的石英管11，仅对其两端加工改进，制作成本相对低。

参见图1至图6，进一步，二次加料部件10包括锥形盖体13，支撑部分121的下端穿过不等径石英管11，支撑部分121的下端与锥形盖体13的锥端连接，锥形盖体13相对锥端的一端面直径不小于不等径石英管11的两端部的内径。

参见图1至图6，进一步，二次加料部件10包括支撑环14，支撑环14的内径等于不等径石英管11的外径，支撑环14套装在不等径石英管11的外环壁上。

参见图1至图6，进一步，二次加料部件10包括导向环15，导向环15固定在不等径石英管11内侧中间部，导向环15为两个，一个导向环15靠近不等径石英管11的上端，另一个导向环15靠近不等径石英管11的下端，导向环15的内径等于钼杆12的外径，导向环15的外径小于不等径石英管11的内径。

参见图1至图6，进一步，二次加料部件10包括压盖16，压盖16的外径大于不等径石英管11的外径，在压盖16上设有豁口161，豁口161由压盖16的边缘沿其径向延伸至压盖16的圆心，豁口161的宽度不小于钼杆12的外径。

本实施例中，压盖16的豁口161的宽度小于连接部分122的直径，提升机构60将防晃动二次加料部件10提升的过程中，可以防止钼杆12、锥形盖体13从不等径石英管11脱落。

参见图1至图6，进一步，采用柔性连接管路的单晶炉还包括隔离阀30、下炉体40、坩埚50、提升机构60，上炉体20安装在隔离阀30的上端，下炉体40安装在隔离阀30的下端，坩埚50安装在下炉体40内，在上炉体20内设有提升机构60，提拉头70的上端与提升机构60的伸缩端连接，不等径石英管11的上端置于上炉体20中，支撑环14卡装在上炉体20内侧的底部，以将不等径石英管11相对上炉体20固定，不等径石英管11的下端穿过隔离阀30、下炉体40，以使不等径石英管11的下端位于坩埚50的正上方。

在一个具体的实施方式中，不等径石英管11中间部内壁与不等径石英管11两端部内壁采用斜面连接，以防止不等径石英管11内死角积料。

在一个具体的实施方式中，钼杆12与锥形盖体13采用万向节连接，以保证锥形盖体13与等径石英管11之间盖合严密，或采用转动连接件，转动连接件的一端与钼杆12连接，转动连接件的另一端为连接球，在盖体13的锥端端面设有连接凹槽，连接凹槽为一个球面，连接凹槽的球面弧度大于半球面，连接球的直径与连接凹槽的直径相等，连接球扣入连接凹槽。

在一个具体的实施方式中，盖体13为半球形，半球形盖体13的直径大于不等径石英管11的内径，当钼杆12偏离不等径石英管11的轴线时，半球形盖体13可绕其圆心转动，依然保证与不等径石英管11贴合，与锥形盖体13相比更容易与不等径石英管11贴合。

当钼杆12偏离不等径石英管11的轴线时，采用半球形盖体13绕其圆心转动弧度过大时，圆形端面与不等径石英管11的开口端会出现漏缝，在一个具体的实施方式中，盖体13为球形，球形盖体13的直径大于不等径石英管11的内径，可避免上述出现漏缝的情况发生。

本实用新型实施例装置中的模块或单元可以根据实际需要进行合并、划分和删减。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于实用新型所涵盖的范围。