技术特征：
1.一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：包括汽化器（1）和设置在汽化器（1）上方的洗涤塔（2），所述汽化器（1）内设置有加热装置（1.1），所述加热装置（1.1）下端设置有氢气分配盘（1.3），所述氢气分配盘（1.3）上端设置有多个氢气喷嘴（1.4），所述氢气分配盘（1.3）上还连接有氢气进管（1.5），所述洗涤塔（2）内设置有多个筛板（2.1），所述洗涤塔（2）上端侧壁设置有三氯氢硅进管（2.2），所述洗涤塔（2）上端设置有汽化出管（2.3）。2.根据权利要求1所述的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：所述加热装置（1.1）为电加热器，所述加热器与电源电连接。3.根据权利要求1所述的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：所述加热装置（1.1）包括加热盘管（1.2），所述加热盘管（1.2）一端连接有蒸汽进管（1.6），所述蒸汽进管（1.6）上设置有蒸汽切断阀（1.7）和蒸汽调节阀（1.8），所述加热盘管（1.2）另一端连接有冷凝水出管（1.9），所述冷凝水出管（1.9）上设置有冷凝水切断阀（1.10）和疏水阀（1.11）。4.根据权利要求1所述的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：所述加热装置（1.1）包括加热盘管（1.2），所述加热盘管（1.2）一端连接有导热油进管（1.12），所述加热盘管（1.2）另一端设置有导热油出管（1.13），所述导热油进管（1.12）和导热油出管（1.13）上均设置有导热油切断阀（1.14）。5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：所述汽化器（1）右端下部设置有排污部（1.15）。6.根据权利要求5所述的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：所述排污部（1.15）为漏斗状，所述排污部（1.15）与排污管（1.16）相连。7.根据权利要求6所述的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：所述三氯氢硅进管（2.2）上设置有第一切断阀（2.4）和第一调节阀（2.5）。8.根据权利要求7所述的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：所述氢气进管（1.5）上设置有第二切断阀（1.17）和第二调节阀（1.18）。9.根据权利要求1所述的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：所述汽化器（1）上设置有法兰盘（1.19）。10.根据权利要求1所述的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：所述洗涤塔（2）内设置有多段填料（2.6）。
技术总结
本实用新型公开了一种新型三氯氢硅低温汽化系统，属于多晶硅生产技术领域，包括汽化器和设在汽化器上方的洗涤塔，汽化器内设有加热装置，加热装置下端设有氢气分配盘，氢气分配盘上端设有多个氢气喷嘴，氢气分配盘上还连接有氢气进管，洗涤塔内设有多个筛板，洗涤塔上端侧壁设有三氯氢硅进管，洗涤塔上端设有汽化出管。本实用新型具有能耗低、杂质少和汽化效果好等优点。效果好等优点。效果好等优点。
技术研发人员：陈绍林
受保护的技术使用者：云南通威高纯晶硅有限公司
技术研发日：2021.09.06
技术公布日：2022/4/1