一种新型三氯氢硅低温汽化系统的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种新型三氯氢硅低温汽化系统。


背景技术：

2.传统三氯氢硅汽化方式为：保持汽化压力稳定在0.8mpa(g)条件下，使用蒸汽或热水对三氯氢硅原料液体直接加热，当三氯氢硅液体温度达到该压力的饱和温度时开始汽化，温度约为113℃。由于在ppb数量级层面上，汽化温度越高，金属杂质析出量越大，故可通过降低三氯氢硅汽化温度来减少金属杂质析出对，对气相三氯氢硅的污染。通过引入h2进三氯氢硅汽化器，可降低气相三氯氢硅分压，从而降低其汽化温度。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在解决现有技术中存在的问题，提供一种新型三氯氢硅低温汽化系统，通过氢气降低三氯氢硅的气相分压从而降低三氯氢硅的汽化温度，加热装置使得三氯氢硅汽化，洗涤塔顶部设置的三氯氢硅液体沿着筛板或填料往下流，去除三氯氢硅蒸汽中的杂质，最终从气相三氯氢硅出管排出。本实用新型具有能耗低、杂质少和汽化效果好等优点。
4.本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：
5.一种新型三氯氢硅低温汽化系统，其特征在于：包括汽化器和设置在汽化器上方的洗涤塔，所述汽化器内设置有加热装置，所述加热装置下端设置有氢气分配盘，所述氢气分配盘上端设置有多个氢气喷嘴，所述氢气分配盘上还连接有氢气进管，所述洗涤塔内设置有多个筛板，所述洗涤塔上端侧壁设置有三氯氢硅进管，所述洗涤塔上端设置有汽化出管。
6.优选的，所述加热装置为电加热器，所述加热器与电源电连接。
7.优选的，所述加热装置包括加热盘管，所述加热盘管一端连接有蒸汽进管，所述蒸汽进管上设置有蒸汽切断阀和蒸汽调节阀，所述加热盘管另一端连接有冷凝水出管，所述冷凝水出管上设置有冷凝水切断阀和疏水阀。
8.优选的，所述加热装置包括加热盘管，所述加热盘管一端连接有导热油进管，所述加热盘管另一端设置有导热油出管，所述导热油进管和导热油出管上均设置有导热油切断阀。
9.优选的，所述汽化器右端下部设置有排污部。
10.优选的，所述排污部为漏斗状，所述排污部与排污管相连。
11.优选的，所述三氯氢硅进管上设置有第一切断阀和第一调节阀。
12.优选的，所述氢气进管上设置有第二切断阀和第二调节阀。
13.优选的，所述汽化器上设置有法兰盘。
14.优选的，所述洗涤塔内设置有多段填料。
15.工作原理：氢气通过氢气进管进入汽化器加热装置底部，氢气通过氢气喷嘴喷出，降低三氯氢硅气相分压从而降低三氯氢硅的汽化温度，汽化器顶部设置有洗涤塔，让三氯氢硅从塔顶进入，过冷三氯氢硅液体与从汽化器蒸发上来的三氯氢硅蒸汽传质传热，从而将三氯氢硅蒸汽中夹带的金属杂质洗涤下来，富集于汽化器上的排污部并排出系统。雾化后的三氯氢硅和氢气从洗涤塔顶部通过汽化出管排出。本实用新型具有能耗低、杂质少和汽化效果好等优点。
16.本技术方案的有益效果如下：
17.一、本实用新型提供的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，通过氢气降低三氯氢硅的气相分压从而降低三氯氢硅的汽化温度，加热装置使得三氯氢硅汽化，洗涤塔顶部设置的三氯氢硅液体沿着筛板往下流，去除三氯氢硅蒸汽中的杂质，最终从汽化出管排出。本实用新型具有能耗低、杂质少和汽化效果好等优点。
18.二、本实用新型提供的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，提供多种加热装置，可以根据各自情况选择更合适的加热装置。
19.三、本实用新型提供的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，漏斗状的排污部使得金属杂质更容易通过排污管排出。
20.四、本实用新型提供的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，三氯氢硅进管上设置有第一切断阀和第一调节阀，氢气进管上设置有第二切断阀和第二调节阀，可以将氢气和三氯氢硅的摩尔比调整为0.1~3:1，使得三氯氢硅汽化效果更好。
21.五、本实用新型提供的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，法兰盘的设置，使得更换加热装置和氢气分配盘更方便。
附图说明
22.图1为本实用新型第一实施例的结构示意图；
23.图2为本实用新型第二实施例的结构示意图；
24.图3为本实用新型第三实施例的结构示意图；
25.其中： 1、汽化器；1.1、加热装置；1.2、加热盘管；1.3、氢气分配盘；1.4、氢气喷嘴；1.5、氢气进管；1.6、蒸汽进管；1.7、蒸汽切断阀；1.8、蒸汽调节阀；1.9、冷凝水出管；1.10、冷凝水切断阀；1.11、疏水阀；1.12、导热油进管；1.13、导热油出管；1.14、导热油切断阀；1.15、排污部；1.16、排污管；1.17、第二切断阀；1.18、第二调节阀；1.19、法兰盘；2、洗涤塔；2.1、筛板；2.2、三氯氢硅进管；2.3、汽化出管；2.4、第一切断阀；2.5、第一调节阀；2.6、填料。
具体实施方式
26.下面结合实施例对本实用新型作进一步地详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
27.实施例1
28.作为本实用新型一种最基本的实施方案，本实施例公开了一种新型三氯氢硅低温汽化系统，如图1所示，包括汽化器1和设置在汽化器1上方的洗涤塔2，所述汽化器1内设置有加热装置1.1，所述加热装置1.1为电加热器，所述加热器与电源电连接，所述加热装置
1.1下端设置有氢气分配盘1.3，所述氢气分配盘1.3上端设置有多个氢气喷嘴1.4，所述氢气分配盘1.3上还连接有氢气进管1.5，所述洗涤塔2内设置有4个筛板2.1，最上一块的筛板2.1作为阻拦液滴用，实际供气液传质传热的筛板2.1只有3块，所述洗涤塔2上端侧壁设置有三氯氢硅进管2.2，所述洗涤塔2上端设置有汽化出管2.3。
29.实施例2
30.作为本实用新型一种优选实施方案，本实施例公开了一种新型三氯氢硅低温汽化系统，如图2所示，包括汽化器1和设置在汽化器1上方的洗涤塔2，所述汽化器1内设置有加热装置1.1，所述加热装置1.1包括加热盘管1.2，所述加热盘管1.2一端连接有蒸汽进管1.6，所述蒸汽进管1.6上设置有蒸汽切断阀1.7和蒸汽调节阀1.8，所述加热盘管1.2另一端连接有冷凝水出管1.9，所述冷凝水出管1.9上设置有冷凝水切断阀1.10和疏水阀1.11，所述加热装置1.1下端设置有氢气分配盘1.3，所述氢气分配盘1.3上端设置有多个氢气喷嘴1.4，所述氢气分配盘1.3上还连接有氢气进管1.5，所述洗涤塔2内设置有5个筛板2.1，最上一块的筛板2.1作为阻拦液滴用，实际供气液传质传热的筛板2.1只有4块，所述洗涤塔2上端侧壁设置有三氯氢硅进管2.2，所述洗涤塔2上端设置有汽化出管2.3。
31.优选的，所述汽化器1右端下部设置有排污部1.15。
32.优选的，所述排污部1.15为漏斗状，所述排污部1.15与排污管1.16相连。
33.实施例3
34.作为本实用新型一种优选实施方案，本实施例公开了一种新型三氯氢硅低温汽化系统，如图3所示，包括汽化器1和设置在汽化器1上方的洗涤塔2，所述汽化器1内设置有加热装置1.1，所述加热装置1.1包括加热盘管1.2，所述加热盘管1.2一端连接有导热油进管1.12，所述加热盘管1.2另一端设置有导热油出管1.13，所述导热油进管1.12和导热油出管1.13上均设置有导热油切断阀1.14，所述加热装置1.1下端设置有氢气分配盘1.3，所述氢气分配盘1.3上端设置有多个氢气喷嘴1.4，所述氢气分配盘1.3上还连接有氢气进管1.5，所述洗涤塔2内设置有4段填料2.6，最上一段的填料2.6作为阻拦液滴用，实际供气液传质传热的填料2.6只有3块，所述洗涤塔2上端侧壁设置有三氯氢硅进管2.2，所述洗涤塔2上端设置有汽化出管2.3。
35.优选的，所述汽化器1右端下部设置有排污部1.15。
36.优选的，所述排污部1.15为漏斗状，所述排污部1.15与排污管1.16相连。
37.优选的，所述三氯氢硅进管2.2上设置有第一切断阀2.4和第一调节阀2.5。
38.优选的，所述氢气进管1.5上设置有第二切断阀1.17和第二调节阀1.18。
39.优选的，所述汽化器1上设置有法兰盘1.19。
40.工作原理：氢气通过氢气进管1.5进入汽化器1加热装置1.1底部，氢气通过氢气喷嘴1.4喷出，降低三氯氢硅气相分压从而降低三氯氢硅的汽化温度，汽化器1顶部设置有洗涤塔2，让三氯氢硅从塔顶进入，过冷三氯氢硅液体与从汽化器1蒸发上来的三氯氢硅蒸汽传质传热，从而将三氯氢硅蒸汽中夹带的金属杂质洗涤下来，富集于汽化器1上的排污部1.15并排出系统。雾化后的三氯氢硅和氢气从洗涤塔2顶部通过汽化出管2.3排出。本实用新型具有能耗低、杂质少和汽化效果好等优点。
41.本技术方案的有益效果如下：
42.本实用新型提供的一种新型三氯氢硅低温汽化系统，通过氢气降低三氯氢硅的气
相分压从而降低三氯氢硅的汽化温度，加热装置1.1使得三氯氢硅汽化，洗涤塔2顶部设置的三氯氢硅液体沿着填料2.6往下流，去除三氯氢硅蒸汽中的杂质，最终从汽化出管2.3排出。本实用新型具有能耗低、杂质少和汽化效果好等优点。
43.提供多种加热装置1.1，可以根据各自情况选择更合适的加热装置1.1。漏斗状的排污部1.15使得金属杂质更容易通过排污管1.16排出。三氯氢硅进管2.2上设置有第一切断阀2.4和第一调节阀2.5，氢气进管1.5上设置有第二切断阀1.17和第二调节阀1.18，可以将氢气和三氯氢硅的摩尔比调整为1-1.5:1，使得三氯氢硅汽化效果更好。法兰盘1.19的设置，使得更换加热装置1.1和氢气分配盘1.3更方便。
44.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型做任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本实用新型的保护范围之内。