一种单晶炉的制作方法

1.本技术涉及单晶炉技术领域，尤其是涉及一种单晶炉。


背景技术：

2.单晶硅是电子信息材料和光伏行业中的最基础性材料，而直拉法单晶炉是生产硅单晶的关键技术装备。直拉式单晶硅生长炉是制备单晶硅材料的主要设备,又称单晶硅生长炉，或者单晶炉。设备通过石墨加热方式将盛在石英坩埚中的高纯多晶硅原料熔化,在持续的低压氩气保护下，硅晶体在合适的温度与生长速度下，在一根细小的籽晶上逐淅结晶成一根单晶体。在装料，取晶棒、清理等环节，根据不同的需求，需要将副炉室、隔离阀、炉盖或主炉室提升至一定高度并旋开，以便完成不同的任务要求，即单晶炉的装卸过程中需要对炉体进行旋转和升降驱动。
3.现有技术中，针对单晶炉的主炉室旋转和升降，需要在主炉室的侧边设置一机架，在机架上设置一旋转座，为了提高旋转座和主炉室之间的连接稳定性，往往需要将旋转座设置较长或较大；旋转座具有升降和旋转的自由度，通过旋转座与主炉室之间的固定连接，实现主炉室整体的旋转和升降，如此，在主炉室的旋转过程中，机架和旋转座本身就占据了较大空间，在驱动主炉室旋转过程中，则需要更大的空间以满足旋转座的摆动。
4.因此，现有技术的技术问题在于：炉体的旋转、升降结构占据的空间较大。


技术实现要素：

5.本技术提供一种单晶炉，解决了炉体的旋转、升降结构占据的空间较大的技术问题，达到减小炉体的旋转、升降结构占据的空间的技术效果。
6.一种单晶炉，包括：主炉室，所述主炉室的外壁具有挂接槽；驱动机构，所述驱动机构包括：悬臂组件，所述悬臂组件上具有挂接部，所述挂接部用于与所述挂接槽插接配合；所述悬臂组件具有竖直升降的移动自由度和水平旋转的转动自由度，所述悬臂组件挂接于所述主炉室后，使得所述主炉室能够随所述悬臂组件升降和旋转。
7.作为优选，所述主炉室包括：工艺法兰；炉体，所述炉体连接于所述工艺法兰的底部；其中，所述工艺法兰的外壁具有第一挂接槽，所述炉体的外壁具有第二挂接槽；所述悬臂组件包括：第一悬臂，所述第一悬臂上具有第一挂接部，所述第一挂接部用于与所述第一挂接槽配合；第二悬臂，所述第二悬臂位于所述第一悬臂的下方，所述第二悬臂上具有第二挂接部，所述第二挂接部用于与所述第二挂接槽配合。
8.作为优选，所述工艺法兰的外壁上连接有一外伸的第一挂接座，所述第一挂接座上具有所述第一挂接槽。
9.作为优选，所述第一悬臂包括：第一调平件，所述第一调平件包括：第一调节螺钉；第一调节板，所述第一调节板用于抵触于所述工艺法兰的外壁上，所述第一调节板通过所述第一调节螺钉滑移连接于所述第一悬臂上，使得所述第一调节板具有相对于所述工艺法兰的外壁靠近或远离的自由度。
10.作为优选，所述炉体的外壁上连接有第二挂接座，所述第二挂接座上具有所述第二挂接槽；所述第二挂接座位于所述第一挂接座的底部，且所述第二挂接座相对于所述第一挂接座靠近所述主炉室的外壁。
11.作为优选，所述第二悬臂包括：第二悬臂座；第二悬臂本体，所述第二悬臂本体水平滑移连接于所述第二悬臂座上；以及伸缩件，所述伸缩件固定连接于所述第二悬臂座上并作用于所述第二悬臂本体上，使得所述第二悬臂本体具有相对于炉体靠近或远离的移动自由度，从而使得所述第二挂接部能够进入所述第二挂接槽中配合。
12.作为优选，所述第二悬臂还包括：第二调平件，所述第二调平件包括：第二调节螺钉；第二调节板，所述第二调节板用于抵触于所述炉体的外壁上，所述第二调节板通过所述第二调节螺钉滑移连接于所述第二悬臂本体上，使得所述第二调节板具有相对于所述炉体的外壁靠近或远离的自由度。
13.作为优选，所述驱动机构还包括：第一驱动组件，所述第一驱动组件包括：座体，所述座体固定；升降座，所述升降座沿竖直方向滑移连接于所述座体上，所述升降座上转动连接有所述第二悬臂；以及第一驱动件，所述第一驱动件连接于所述座体和所述升降座之间，所述第一驱动件用于驱动所述升降座竖直升降。
14.作为优选，所述驱动机构还包括：第二驱动组件，所述第二驱动组件包括：升降轴，所述升降轴呈竖直方向布置，所述升降轴容置于所述升降座的内部，所述升降轴上套设所述第一悬臂；第二驱动件，所述第二驱动件包括：第二丝杆，所述第二丝杆呈竖直方向布置，所述第二丝杆容置于所述升降座的内部且所述第二丝杆转动连接于所述升降座上；其中，所述升降轴套设于所述第二丝杆上，且所述升降轴通过螺纹滑移连接于所述第二丝杆上，使得所述第二悬臂可随所述升降轴而升降。
15.作为优选，所述驱动机构还包括：旋转组件，所述旋转组件作用于所述第一悬臂和所述第二悬臂，使得所述第一悬臂和所述第二悬臂具有水平旋转的转动自由度。
16.本技术提供的一种单晶炉，采用如下的技术方案：
17.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
18.1、本技术中炉体与悬臂之间采用挂接的形式连接，代替现有技术中旋转座连接炉体的方式，通过挂接的形式连接炉体和驱动机构，简化了炉体和驱动机构之间的连接结构的同时能够保证稳定连接和支撑炉体，将挂接的形式代替体积较大的旋转座，减小了驱动机构在旋转炉体时占据的摆动空间，解决了炉体的旋转、升降结构占据的空间较大的技术问题，达到减小炉体的旋转、升降结构占据的空间的技术效果。
19.2、针对主炉室上的工艺法兰和炉体，通过两个悬臂进行分别旋转和提升，有利于对悬臂的重量的分担，提高悬臂对主炉室支撑的稳定性。
20.3、在工艺法兰和炉体上分别设置第一挂接座和第二挂接座，分别与第一悬臂和第二悬臂挂接配合，且第二挂接座的位置相对于第一挂接座的位置更靠近炉体的侧壁，使得磁场在上升下降过程中不会与挂接座之间形成干涉，有利于单晶炉系统中空间的合理利用。
21.4、对于第一悬臂和第二悬臂的驱动，本技术通过第一驱动组件对第一悬臂和第二悬臂的整体提升，第二驱动组件容置于第一驱动组件的升降座中第二驱动组件可单独调节第二悬臂的升降，实现了可对每个悬臂灵活驱动，同时还极大的减小了第二驱动组件对空
间的占用，提高单晶炉系统中空间的利用率。
附图说明
22.图1是本技术单晶炉的主炉室和驱动机构的示意图；
23.图2是本技术单晶炉的工艺法兰和炉体的示意图；
24.图3是本技术单晶炉的悬臂组件的示意图；
25.图4是本技术单晶炉的悬臂组件的剖视图；
26.图5是本技术单晶炉的驱动机构的示意图；
27.图6是本技术单晶炉的旋转组件示意图。
28.附图标记说明：100、主炉室；110、工艺法兰；111、第一挂接座；1111、固定板；1112、第一板；1113、第二板；1114、第一挂接槽；120、炉体；121、第二挂接座；1211、侧板；1212、顶板；1213、盖板；1214、第二挂接槽；200、驱动机构；210、悬臂组件；211、第一悬臂；2111、第一悬臂本体；2112、第一挂接部；212、第一调平件；2121、第一调节螺钉；2122、第一调节板；213、第二悬臂；2131、第二悬臂座；2132、第二悬臂本体；2133、第二挂接部；2134、受力板；2135、伸缩件；214、第二调平件；2141、第二调节螺钉；2142、第二调节板；215、套筒；220、第一驱动组件；221、升降座；222、第一驱动件；2221、第一电机；2222、第一丝杆；2223、第一滑块；230、第二驱动组件；231、升降轴；232、第二驱动件；2321、第二电机；2322、第二丝杆；2323、第二滑块；240、旋转组件；241、安装座；242、齿轮；243、齿环；245、定位件；2451、定位盘；2452、定位缺口；2453、定位气缸。
具体实施方式
29.本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本技术所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
30.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
31.本技术实施例提供了一种单晶炉，解决了炉体的旋转、升降结构占据的空间较大的技术问题，达到减小炉体120的旋转、升降结构占据的空间的技术效果。
32.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
33.单晶炉的装卸过程中需要对主炉室100进行拆卸，为了实现对单晶炉主炉室100的
拆卸，需要在单晶炉周围设置机架，在机架上设置旋转架，旋转架相对于机架可旋转和升降，通过旋转架和主炉室100之间的连接，一般的，旋转架和主炉室100之间通过螺钉连接等方式，在转移主炉室100后需要再次进行旋转架和主炉室100之间的拆卸，如此，才能实现旋转架带动主炉室100旋转和升降，其中，由于主炉室100的重量较大，通常需要将旋转架做的足够大、长(若将旋转架做小，旋转架和主炉室100之间的连接不足以支撑主炉室100)，才能够稳定支撑主炉室100，因此，旋转架的摆动的环形路径占据相当大的空间，在单晶炉系统中占据的空间极大，因此，本技术提供了一种能够克服上述问题的单晶炉。
34.一种单晶炉，如图1所示，包括主炉室100和驱动机构200，主炉室100用于作为晶体生长的反应室；驱动机构200用于驱动主炉室100旋转和升降。当然，单晶炉还包括副炉室、热场、坩埚等设备，以上结构均与现有技术结构相同，此处不再累述。
35.主炉室100，如图1、2所示，主炉室100用于作为晶体生长的反应室。主炉室100包括炉盖、工艺法兰110以及炉体120，炉盖、工艺法兰110以及炉体120从上至下叠置并连接，工艺法兰110用于安装导流筒和水冷热屏，有利于单晶炉拆装前后热场的一致性；炉体120用于容置坩埚和加热器等，使得炉盖、工艺法兰110以及炉体120形成主炉室100和反应腔，其中，炉盖、工艺法兰110以及炉体120直接均为可拆卸连接，如此，在对主炉室100拆装的过程中，需要依次对炉盖、工艺法兰110以及炉体120进行拆卸或安装；针对炉盖、工艺法兰110以及炉体120的拆卸和安装，则是通过驱动机构200进行旋转和升降来完成，值得说明的是，本实施例中对炉盖的旋转和升降不做阐述，炉盖的驱动可由另外驱动结构完成。
36.进一步的，在工艺法兰110的外壁上设置有第一挂接座111，在炉体120的外壁上设置有第二挂接座121，第一挂接座111和第二挂接座121分别作为驱动机构200用于驱动工艺法兰110和炉体120的作用部位，也就是说，驱动机构200分别作用于第一挂接座111和第二挂接座121上从而实现对工艺法兰110和炉体120的分布驱动；其中，第一挂接座111位于第二挂接座121的正上方，第一挂接座111相对于工艺法兰110向外延伸，使得第一挂接座111到主炉室100外壁的第一距离大于第二挂接座121到主炉室100外壁的第二距离，即第二挂接座121相对于第一挂接座111更加靠近主炉室100的侧壁。
37.第一挂接座111，如图1、2所示，用于作为驱动工艺法兰110的作用部。第一挂接座111固定连接于工艺法兰110的外侧壁上，第一挂接座111包括固定块、第一板1112以及第二板1113，固定块固定连接于工艺法兰110的外侧壁上，第一板1112固定连接于第一固定板1111上，第二板1113固定连接于第一板1112上，第一板1112和第二板1113形成t形结构布置，使得在第二板1113、第一板1112以及第一固定板1111之间形成了两个第一挂接槽1114，第一挂接槽1114用于与驱动机构200进行插接配合。
38.第二挂接座121，如图1、2所示，用于作为驱动炉体120的作用部。第二挂接座121固定连接于炉体120的外侧壁上，第二挂接座121位于第一挂接座111的正下方，且第二挂接座121相对于第一挂接座111更加靠近主炉室100的炉壁，以防止磁场在升降时磁场与第二挂接座121之间的位置干涉；具体的，第二挂接座121包括侧板1211、顶板1212以及盖板1213，其中侧板1211具有两组，两组侧板1211呈竖直方向布置并固定连接于炉体120的外侧壁上，顶板1212和盖板1213分别连接并固定在两组侧板1211的顶部，使得在侧板1211、顶板1212以及盖板1213之间形成第二挂接槽1214，第二挂接槽1214用于与驱动机构200进行插接配合。
39.驱动机构200，如图1、3所示，驱动机构200用于驱动主炉室100旋转和升降。驱动机构200包括悬臂组件210、第一驱动组件220、第二驱动组件230以及旋转组件240，悬臂组件210包括第一悬臂211和第二悬臂213，悬臂组件210用于挂接和支撑主炉室100；第一驱动组件220用于执行悬臂组件210的升降动作；第二驱动组件230用于执行第一悬臂211的升降动作；旋转组件240用于执行悬臂组件210的旋转动作。
40.悬臂组件210，如图3所示，悬臂组件210用于挂接和支撑主炉室100。悬臂组件210包括第一悬臂211和第二悬臂213，第一悬臂211和第二悬臂213分别用于挂接工艺法兰110和炉体120，换言之，第一悬臂211用于与工艺法兰110上的第一挂接座111配合，第二悬臂213用于与炉体120上的第二挂接座121配合。其中第一悬臂211位于第二悬臂213的正上方，第一悬臂211和第二悬臂213均具有竖直升降的移动自由度和水平旋转的转动自由度，使得第一悬臂211和第二悬臂213对应挂接于工艺法兰110和炉体120上之后，能够分别带动工艺法兰110和炉体120升降、旋转。
41.第一悬臂211，如图3、4所示，第一悬臂211用于挂接和支撑工艺法兰110。第一悬臂211上具有第一挂接部2112，第一挂接部2112用于与工艺法兰110上的第一挂接槽1114插接配合，第一悬臂211包括第一悬臂本体2111和第一调平件212，第一悬臂本体2111靠近工艺法兰110的一端上具有第一挂接部2112，具体的，第一挂接部2112呈钩状设置，在第一悬臂211旋转到工艺法兰110的第一挂接槽1114正下方之后，驱动第一悬臂211上升，使得第一挂接部2112与第一挂接槽1114插接配合；其中，值得说明的是，在工艺法兰110的第一挂接座111上，第二板1113面向第一挂接槽1114的一面上设置有导向面，导向面的方向呈倾斜设置，倾斜方向为由工艺法兰110轴心向外倾斜向下，对应的，在第一挂接部2112上对应设置相互配合的导向面，使得第一挂接部2112和第一挂接座111之间形成挂接导向。
42.第一调平件212，如图4所示，第一调平件212用于对工艺法兰110进行调平。第一调平件212包括第一调节螺钉2121和第一调节板2122，第一调节板2122用于抵触于工艺法兰110的外壁上，第一调节螺钉2121通过螺纹连接于第一悬臂本体2111上，第一调节板2122位于第一悬臂本体2111的下方，且第一调节板2122与第一调节螺钉2121固定连接；在第一悬臂211挂接于第一挂接座111上时，第一调节板2122抵触于工艺法兰110的侧壁上，通过调节第一调节螺钉2121的位置，使得第一调节板2122的伸出量，从而使得第一调节板2122可靠近工艺法兰110或远离，第一调节板2122的伸出量改变并作用于工艺法兰110上，从而实现对工艺法兰110的调平。
43.第二悬臂213，如图3、4所示，第二悬臂213用于挂接和支撑炉体120。第二悬臂213包括第二悬臂座2131、第二悬臂本体2132、伸缩件2135以及第二调平件214，第二悬臂座2131位于第一悬臂211的下方位置，第二悬臂座2131的内部具有腔体；第二悬臂本体2132的局部容置于腔体内，且第二悬臂本体2132在腔体内相对于第二悬臂座2131滑移，使得第二悬臂本体2132可在第二悬臂座2131上水平伸出或回缩；伸缩件2135用于驱动第二悬臂本体2132的伸出或回缩，在一个实施例中，伸缩件2135采用气缸，气缸位于第二悬臂213的下方，气缸固定连接于第二悬臂座2131上，作用于第二悬臂本体2132上，具体的，第二悬臂本体2132的下方具有一向下延伸的受力板2134，气缸的活塞杆铰接于受力板2134上，使得受力板2134受推力而带动第二悬臂本体2132伸出或回缩。其中，第二悬臂本体2132上具有第二挂接部2133，第二挂接部2133用于炉体120上的第二挂接座121挂接配合，第二挂接部2133
也呈钩状设置，使得第二挂接部2133能够进入第二挂接槽1214中完成挂接，第二挂接部2133和第二挂接座121上分别具有与第一挂接部2112和第一挂接座111相同的导向面，此处不再累述。
44.第二调平件214，如图4所示，第二调平件214用于对炉体120进行调平。第二调平件214包括第二调节螺钉2141和第二调节板2142，第二调节板2142用于抵触于炉体120的外壁上，第二调节螺钉2141通过螺纹连接于第二悬臂本体2132上，具体的讲，第二调节螺钉2141连接于第二悬臂本体2132的受力板2134上，第二调节板2142位于第二悬臂本体2132的下方，且第二调节板2142与第二调节螺钉2141固定连接；在第二悬臂213挂接于第二挂接座121上时，第二调节板2142抵触于炉体120的侧壁上，通过调节第二调节螺钉2141的位置，使得第二调节板2142的伸出量，从而使得第二调节板2142可靠近炉体120或远离，第二调节板2142的伸出量改变并作用于炉体120上，从而实现对炉体120的调平。
45.第一驱动组件220，如图5所示，第一驱动组件220用于执行悬臂组件210的升降动作。第一驱动组件220用于对第一悬臂211和第二悬臂213共同提升或下降，具体的，第一驱动组件220包括座体、升降座221以及第一驱动件222，座体位于单晶炉的一侧，座体的位置相对固定，可固定连接于地面或其他支撑物体上，升降座221沿竖直方向滑移连接于座体上，使得升降座221具有竖直升降的移动自由度，其中，升降座221上直接或间接的转动连接第二悬臂213，使得第二悬臂213可独立旋转的同时能够受第一驱动件222的驱动而升降；第一驱动件222包括第一丝杆2222、第一滑块2223以及第一电机2221，第一丝杆2222呈竖直方向连接于座体上，第一丝杆2222可旋转，第一电机2221连接于座体上并作用于第一丝杆2222，使得第一丝杆2222受驱动旋转，第一滑块2223通过螺纹连接于第一丝杆2222上，第一滑块2223固定连接于升降座221上，如此，第一丝杆2222旋转驱动第一滑块2223沿第一丝杆2222方向滑移，从而第一滑块2223带动升降座221实现升降。同时，第一驱动组件220通过与第二驱动组件230的配合，还能够对第一悬臂211进行升降驱动。
46.第二驱动组件230，如图5所示，第二驱动组件230用于执行第一悬臂211的升降动作。第二驱动组件230连接于第一驱动组件220上，使得第二驱动组件230能够随升降座221一同升降，从而完成对第一悬臂211的独立升降控制；单晶炉系统中空间局限，在一个实施例中，第一驱动组件220的升降座221呈中空设置，将第二驱动组件230容置于该升降座221的内部，具体的，第二驱动组件230包括升降轴231和第二驱动件232，升降轴231位于升降座221的内部且呈竖直方向设置，升降轴231的顶部延伸至升降座221的外部，第一悬臂211通过轴承转动连接于升降轴231的顶部，升降轴231受到第二驱动件232作用，使得第一悬臂211可独立旋转的同时能够受第二驱动件232的驱动而升降；第二驱动件232包括第二丝杆2322、第二滑块2323以及第二电机2321，第二丝杆2322呈竖直方向设置并容置于升降座221的内部，第二电机2321连接于升降座221并作用于第二丝杆2322上，使得第二丝杆2322受第二电机2321驱动而旋转，第二滑块2323通过螺纹滑移连接于第二丝杆2322上；值得说明的是，第二丝杆2322与升降轴231共轴设置，且升降轴231为中空，升降轴231套设于第二丝杆2322上并与第二滑块2323固定连接，如此，升降轴231和套设于第二丝杆2322上，减小了第二驱动件232所占据的空间，使得升降座221的体积可尽量做小，减小设备空间占据；基于上述，在第二驱动组件230的升降驱动下，第一悬臂211实现独立升降，同时在第一驱动组件220的升降驱动下，第一悬臂211和第二悬臂213又能够实现一同升降。
47.值得说明的是，第二悬臂213位于升降座221的顶部，且套设于升降轴231上，具体的，升降轴231上套设有一套筒215，第二悬臂213的第二悬臂座2131与套筒215之间通过轴承连接，使得第二悬架能够旋转且不干涉升降轴231的升降。
48.旋转组件240，如图6所示，旋转组件240用于执行悬臂组件210的旋转动作。旋转组件240具有两组，两组旋转组件240分别独立的作用于第一悬臂211和第二悬臂213上，使得第一悬臂211和第二悬臂213可独立旋转，以用于驱动第一悬臂211旋转的旋转组件240为例，包括安装座241、第三电机(第三电机未图示)以及齿轮242，安装座241连接于升降座221上，由于第一悬臂211需要相对于第二悬臂213和升降座221作升降动作，因此，安装座241需要通过滑轨竖直滑移连接于升降座221上，在一个实施例中，安装座241还与升降轴231的顶部通过轴承连接，使得安装座241整体能够与第一悬臂211同步升降；第三电机连接于安装座241上，齿轮242连接于第三电机的输出轴上，使得齿轮242受第三电机驱动而旋转；第一悬臂211和第二悬臂213的外侧分别设置有水平方向设置的齿环243，齿环243与齿轮242啮合，使得齿轮242旋转时，带动齿环243和第一悬臂211水平旋转；关于第二悬臂213上的旋转组件240，可直接连接于升降座221上，并对第二悬臂213进行旋转驱动。
49.进一步的，旋转组件240还可以包括定位件245，定位件245包括定位盘2451和定位气缸2453，定位盘2451呈环形连接于第一悬臂211和第二悬臂213的外圈，定位盘2451上开设有定位缺口2452，定位气缸2453固定连接于上述的安装座241上，通过定位气缸2453顶出进入定位缺口2452内，实现对定位盘2451以及第一悬臂211(或第二悬臂213)的定位。
50.工作原理/步骤：
51.单晶炉拆卸过程中，首先通过第一驱动件222驱动调节升降座221和悬臂组件210的水平高度，使得第二悬臂213的高度相适应于第二挂接座121；再通过第二驱动件232单独驱动调节第一悬臂211的水平高度，使得第一悬臂211的高度相适应于第一挂接座111；同时通过旋转组件240分别驱动第一悬臂211和第二悬臂213旋转至第一挂接座111和第二挂接座121下方的挂接位置；
52.第二驱动组件230驱动工艺法兰110提升和旋转：第二电机2321驱动第二丝杆2322旋转，带动升降轴231竖直上升，从而带动第一悬臂211上升，使得第一悬臂211的第一挂接部2112与工艺法兰110上的第一挂接座111挂接配合，第二电机2321继续驱动第二丝杆2322旋转，升降轴231带动第一悬臂211继续提升，使得工艺法兰110被提升而从炉体120上脱离；第三电机驱动齿轮242旋转，带动第一悬臂211旋转，从而将工艺法兰110旋开；
53.第二驱动组件230驱动炉体120提升：第一电机2221驱动第一丝杆2222旋转，带动升降座221竖直上升，从而带动第二悬臂213上升(此过程中第一悬臂211会随第二悬臂213一同上升)，使得第二悬臂213的第二挂接部2133与炉体120上的第二挂接座121挂接配合，第一电机2221继续第一丝杆2222旋转，升降座221带动第二悬臂213继续提升；第三电机驱动齿轮242旋转，带动第二悬臂213旋转，从而将炉体120旋开；由于在提升炉体120的同时将工艺法兰110一同提升，可通过第二驱动件232单独驱动工艺法兰110下降至合适位置。
54.技术效果：
55.1、本技术中炉体120与悬臂之间采用挂接的形式连接，代替现有技术中旋转座连接炉体120的方式，通过挂接的形式连接炉体120和驱动机构200，简化了炉体120和驱动机构200之间的连接结构的同时能够保证稳定连接和支撑炉体120，将挂接的形式代替体积较
大的旋转座，减小了驱动机构200在旋转炉体120时占据的摆动空间，解决了炉体120的旋转、升降结构占据的空间较大的技术问题，达到减小炉体120的旋转、升降结构占据的空间的技术效果。
56.2、针对主炉室100上的工艺法兰110和炉体120，通过两个悬臂进行分别旋转和提升，有利于对悬臂的重量的分担，提高悬臂对主炉室100支撑的稳定性。
57.3、在工艺法兰110和炉体120上分别设置第一挂接座111和第二挂接座121，分别与第一悬臂211和第二悬臂213挂接配合，且第二挂接座121的位置相对于第一挂接座111的位置更靠近炉体120的侧壁，使得磁场在上升下降过程中不会与挂接座之间形成干涉，有利于单晶炉系统中空间的合理利用。
58.4、对于第一悬臂211和第二悬臂213的驱动，本技术通过第一驱动组件220对第一悬臂211和第二悬臂213的整体提升，第二驱动组件230容置于第一驱动组件220的升降座221中第二驱动组件230可单独调节第二悬臂213的升降，实现了可对每个悬臂灵活驱动，同时还极大的减小了第二驱动组件230对空间的占用，提高单晶炉系统中空间的利用率。
59.尽管已描述了本技术的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术范围的所有变更和修改。
60.显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。