一种圆锥形产品退火治具的制作方法

本发明涉及石英产品加工领域，具体为一种圆锥形产品退火治具。

背景技术：

1、石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。半导体石英产品在完成加工后都需要退火去应力，由于退火炉温度较高，退火时石英产品会产生一定的变形，部分产品因其自身的特殊结构和尺寸要求高，如果没有支撑，产品的变形可能会超出公差要求，出现产品返修困难和报废现象。

2、现有的退火是直接将产品放置在退火炉的支撑架上进行退火，易出现产品返修率高和报废现象，同时，现有的治具在进行生产时，由于加工工程中需要对其进行夹持，易在其表面造成损伤，影响治具整体进行使用时的使用效果和精度。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本发明提供了一种圆锥形产品退火治具，解决了现有的石英产品退火加工时产品没有制成，易发生形变，返修率和生产成本高，治具的加工精度难以保证的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种圆锥形产品退火治具，包括圆锥底座，所述圆锥底座上表面活动设置有圆锥上盖；

5、所述圆锥底座底面中心处开设有通孔，所述圆锥上盖两侧外表面分别开设有夹槽。

6、优选的，具体包括以下制备方法：

7、s1.材料选取

8、根据图纸尺寸选择两块合适大小的石英原材料，选取的石英原材料需确保表面无裂痕和污点，石英原材料内部无杂质；

9、s2.材料清洁

10、将选择好的材料放入到清洁环境中，先通过石油醚和丙酮混合液对石英原材料表面进行冲洗清洁，清洁完成后通过无纺布将材料表面擦干；

11、s3.治具粗加工

12、将两块石英原材料进行区分，一块作为底座部分的材料，一块作为上盖部分的材料，将两块材料分别通过磨床对外形四面进行初步加工，使治具整体外形见光后，进一步将治具外形四面按图要求加工至上公差；

13、s4.治具精加工

14、将粗加工完成的石英原材料底面涂布热熔后的石蜡，通过石蜡将代加工的石英原材料固定到加工中心的工作台上，以精定位分中作为加工基准，将治具外形四面去除变形，将正反面精加工到位，其他位置按图纸公差加工到位，加工完成，将工作台取下，加热使石蜡熔化，取下成品；

15、s5.成品清洁

16、将加工的成品放入到超声波清洗机中，向超声波清洗机内加入去离子水，对退火治具成品进行清洗，并通过乙醇对成品进行脱水。

17、优选的，所述s2中，石油醚的浓度为75％-80％。

18、优选的，所述s2中，丙酮的浓度为85％-90％。

19、优选的，所述s2中，石油醚和丙酮的体积比为8：3。

20、优选的，所述s5中，超声波清洗机超声频率为60-75％kh，清洗温度为15-25℃，清洗时间为10-25mi n。

21、优选的，所述s5中，脱水所使用乙醇为无水乙醇。

22、(三)有益效果

23、本发明提供了一种圆锥形产品退火治具。具备以下有益效果：

24、1、本发明提供了一种圆锥形产品退火治具，该退火治具的上盖形状尺寸和产品上方尺寸吻合，作用是产品在退火时压住产品，使产品达到所需要求，底座的放置处尺寸与产品下方尺寸吻合，将产品放置在底座上，确定产品不会晃动，与底座贴合紧密，盖上上盖，退火时，当产品受到上盖带来的压力和温度的作用下，产品就达到所需状态，在满足产品工艺要求的前提下，降低返修率，提高生产效率，减低成本。

25、2、本发明提供了一种圆锥形产品退火治具，该退火治具在进行精加工生产时，通过采用将熔化的石蜡涂抹在原材料底端对治具进行固定，避免了传统加工方式中通过夹具对治具整体进行固定会在治具外表留下划痕的情况，避免治具在精加工过程中因受到外力夹持导致加工过程中产生破碎，降低使用者进行加工的操作难度，提升该治具加工的成品率。

26、3、本发明提供了一种圆锥形产品退火治具，该退火治具在进行加工生产时，采用将加工过程细分为粗加工和精加工的加工方式，粗加工过程中治具四周及其他部位均留有余量，直至精加工完成将余量去除，通过这种加工方式，有利于提升治具整体的加工精度，提升加工效果。

技术特征：

1.一种圆锥形产品退火治具，包括圆锥底座(3)，其特征在于：所述圆锥底座(3)上表面活动设置有圆锥上盖(1)；

2.根据权利要求1所述的一种圆锥形产品退火治具，其特征在于，具体包括以下制备方法：

3.根据权利要求2所述的一种圆锥形产品退火治具，其特征在于：所述s2中，石油醚的浓度为75％-80％。

4.根据权利要求2所述的一种圆锥形产品退火治具，其特征在于：所述s2中，丙酮的浓度为85％-90％。

5.根据权利要求2所述的一种圆锥形产品退火治具，其特征在于：所述s2中，石油醚和丙酮的体积比为8：3。

6.根据权利要求2所述的一种圆锥形产品退火治具，其特征在于：所述s5中，超声波清洗机超声频率为60-75％kh，清洗温度为15-25℃，清洗时间为10-25min。

7.根据权利要求1所述的一种圆锥形产品退火治具，其特征在于：所述s5中，脱水所使用乙醇为无水乙醇。

技术总结
本发明提供一种圆锥形产品退火治具，涉及石英产品加工领域。该圆锥形产品退火治具，包括圆锥底座，所述圆锥底座上表面活动设置有圆锥上盖，所述圆锥底座底面中心处开设有通孔，所述圆锥上盖两侧外表面分别开设有夹槽，具体包括以下制备方法，S1.材料选取，S2.材料清洁，S3.材料固定，S4.材料加工，S5.成品清洁。通过上盖形状尺寸和产品上方尺寸吻合，在退火时压住产品，使产品达到所需要求，底座的放置处尺寸与产品下方尺寸吻合，将产品放置在底座上，确定产品不会晃动，与底座贴合紧密，盖上上盖，退火时，当产品受到上盖带来的压力和温度的作用下，产品就达到所需状态，在满足产品工艺要求的前提下，降低返修率，提高生产效率，减低成本。

技术研发人员：王飞华,许冬华,宋建伟
受保护的技术使用者：杭州泓芯微半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13