一种单晶炉二次加料用的辅助装置的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉二次加料技术领域，具体涉及一种单晶炉二次加料用的辅助装置。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在通过单晶炉进行单晶硅生产的过程中需要进行复投，即重复加料。如果采用人工加料的方式，会带进很多杂质，影响产品的成晶率和产能，对所生产的产品造成污染。因此，需要采用圆管状的加料器进行复投，圆管状的加料器需要通过辅助装置进行运输。现有的辅助运输装置只设置单一的对加料器进行角度调节的结构，在运输完成后不方便对加料器进行倾斜和高度位置的调节。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种单晶炉二次加料用的辅助装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉二次加料用的辅助装置，包括辅助运输车主体，所述辅助运输车主体的侧壁开设有装配槽，所述装配槽的内腔侧壁固定安装有固定轴，所述固定轴的外侧壁套接有转动连接件，所述装配槽内装配有加料器固定架，所述加料器固定架的一侧壁开设有连接槽，所述转动连接件滑动连接于连接槽内，所述加料器固定架的另一侧壁固定安装有加料器辅助固定机构，所述加料器固定架的底部固定连接有升降气缸，所述升降气缸的底部转动连接有调节底座，所述装配槽的内腔底部固定装配有与调节底座传动连接的传动机构。
5.优选的，所述加料器辅助固定机构包括固定安装在加料器固定架侧壁的第一固定块和第二固定块，所述第一固定块的侧壁铰接有连接架的一端，所述连接架的另一端一体成型有定位卡块，所述定位卡块插接至定位卡槽内，所述第二固定块的前侧壁固定装配有与定位卡块相卡接的定位组件，所述连接架的内侧壁通过伸缩组件固定装配有辅助固定架，所述辅助固定架的内侧壁粘贴有防滑层。
6.优选的，所述定位组件包括一体成型于第二固定块侧壁的安装腔，所述安装腔内滑动连接有定位架，所述定位架的内侧壁固定安装有贯穿至定位卡槽的定位插销，所述定位架的外侧壁固定安装有贯穿第二固定块的把手架，所述定位架与安装腔之间固定安装有第一弹簧。
7.优选的，所述伸缩组件包括一体成型于连接架内侧壁的装配轴，所述装配轴内插接有伸缩轴，所述伸缩轴与装配轴之间固定安装有第二弹簧。
8.优选的，所述传动机构包括开设在装配槽底部的调节槽，所述调节槽内转动连接有转动杆，所述运输车主体的侧壁固定安装有电机，所述电机的输出端与转动杆的端部固定连接，所述转动杆的外侧壁通过螺纹与调节底座相螺接。
固定装配有辅助固定架76，辅助固定架76的内侧壁粘贴有防滑层77，防滑层77增加辅助固定架76与加料器侧壁之间的摩擦力，保证对加料器固定的稳定性，连接架73与第一固定块71之间通过铰链相铰接，使连接架73以第一固定块71的侧壁为中心进行转动，通过定位组件11对连接架73的位置进行固定。
20.定位组件11包括一体成型于第二固定块72侧壁的安装腔111，安装腔 111内滑动连接有定位架112，定位架112的内侧壁固定安装有贯穿至定位卡槽75的定位插销113，定位插销113贯穿定位卡块74，定位架112的外侧壁固定安装有贯穿第二固定块72的把手架114，定位架112与安装腔111之间固定安装有第一弹簧115，如图4中所示，当定位卡块74插接至定位卡槽75 内后，通过定位组件11内的定位插销113贯穿定位卡块74，对定位卡块74 进行位置的固定，从而使连接架73与第一固定块71和第二固定块72之间的位置固定，通过把手架114向外侧拉动定位架112，使定位插销113移入至安装腔111内后，使定位卡块74可以与定位卡槽75之间进行分离，通过设置第一弹簧115对定位架112产生弹力，使定位架112便于复位。
21.伸缩组件12包括一体成型于连接架73内侧壁的装配轴121，装配轴121 内插接有伸缩轴122，伸缩轴122与装配轴121之间固定安装有第二弹簧123，通过设置伸缩组件12可以使辅助固定架76保持与加料器的侧壁相贴合，对加料器进行位置的限定，且通过第二弹簧123使辅助固定架76与加料器固定架5的侧壁相配合可以对不同尺寸大小的加料器进行夹持固定。
22.加料器固定架5的底部固定连接有升降气缸8，升降气缸8的底部转动连接有调节底座10，装配槽2的内腔底部固定装配有与调节底座10传动连接的传动机构9，通过传动机构9对调节底座10的位置进行调节，使调节底座10 沿着装配槽2的底部进行移动，从而对加料器固定架5的倾斜角度进行调节，升降气缸8电连接外部控制器和外部电源，通过对升降气缸8进行控制，可以使加料器固定架5沿着固定轴3进行升降，进行高度位置的调节。
23.传动机构9包括开设在装配槽2底部的调节槽91，调节底座10位于调节槽91内，调节槽91内转动连接有转动杆92，运输车主体1的侧壁固定安装有电机93，电机93的输出端与转动杆92的端部固定连接，转动杆92的外侧壁通过螺纹与调节底座10相螺接，电机93电连接外部电源和外部控制器，电机93为脉冲步进电机，通过外部控制器向电机93发送脉冲信号，控制电机93的输出端进行正转或反转，从而使电机93带动转动杆92进行转动，由于转动杆92通过螺纹与调节底座10相螺接，当转动杆92转动后，可以使相匹配的调节底座10沿着调节槽91内移动，进行位置的调节。
24.工作原理：在使用的过程中，向外拉动定位组件11的把手架114，使定位卡块74与定位卡槽75相分离，然后转动连接架73，将加料器放置于加料器固定架5内后，对连接架73进行复位，此时连接架73的位置通过定位组件11进行固定，同时通过伸缩组件12使辅助固定架76与加料器的侧壁保持贴合，对加料器进行卡接固定，将本装置移动至加料指定位置后，通过控制电机93转动，使电机93对调节底座10的位置进行调节，当调节底座10在调节槽91内移动后，加料器固定架5以固定轴3进行转动倾斜，此时转动连接件4在连接槽6内滑动，保证加料器固定架5顺利进行倾斜，当倾斜角度调节完成后，控制升降气缸8的输出端进行伸缩，可以使加料器固定架5通过转动连接架4与连接槽6的配合，进行相对滑动，完成高度位置的调节。


技术特征：
1.一种单晶炉二次加料用的辅助装置，包括辅助运输车主体(1)，其特征在于：所述辅助运输车主体(1)的侧壁开设有装配槽(2)，所述装配槽(2)的内腔侧壁固定安装有固定轴(3)，所述固定轴(3)的外侧壁套接有转动连接件(4)，所述装配槽(2)内装配有加料器固定架(5)，所述加料器固定架(5)的一侧壁开设有连接槽(6)，所述转动连接件(4)滑动连接于连接槽(6)内，所述加料器固定架(5)的另一侧壁固定安装有加料器辅助固定机构(7)，所述加料器固定架(5)的底部固定连接有升降气缸(8)，所述升降气缸(8)的底部转动连接有调节底座(10)，所述装配槽(2)的内腔底部固定装配有与调节底座(10)传动连接的传动机构(9)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉二次加料用的辅助装置，其特征在于：所述加料器辅助固定机构(7)包括固定安装在加料器固定架(5)侧壁的第一固定块(71)和第二固定块(72)，所述第一固定块(71)的侧壁铰接有连接架(73)的一端，所述连接架(73)的另一端一体成型有定位卡块(74)，所述定位卡块(74)插接至定位卡槽(75)内，所述第二固定块(72)的前侧壁固定装配有与定位卡块(74)相卡接的定位组件(11)，所述连接架(73)的内侧壁通过伸缩组件(12)固定装配有辅助固定架(76)，所述辅助固定架(76)的内侧壁粘贴有防滑层(77)。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉二次加料用的辅助装置，其特征在于：所述定位组件(11)包括一体成型于第二固定块(72)侧壁的安装腔(111)，所述安装腔(111)内滑动连接有定位架(112)，所述定位架(112)的内侧壁固定安装有贯穿至定位卡槽(75)的定位插销(113)，所述定位架(112)的外侧壁固定安装有贯穿第二固定块(72)的把手架(114)，所述定位架(112)与安装腔(111)之间固定安装有第一弹簧(115)。4.根据权利要求2所述的一种单晶炉二次加料用的辅助装置，其特征在于：所述伸缩组件(12)包括一体成型于连接架(73)内侧壁的装配轴(121)，所述装配轴(121)内插接有伸缩轴(122)，所述伸缩轴(122)与装配轴(121)之间固定安装有第二弹簧(123)。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉二次加料用的辅助装置，其特征在于：所述传动机构(9)包括开设在装配槽(2)底部的调节槽(91)，所述调节槽(91)内转动连接有转动杆(92)，所述运输车主体(1)的侧壁固定安装有电机(93)，所述电机(93)的输出端与转动杆(92)的端部固定连接，所述转动杆(92)的外侧壁通过螺纹与调节底座(10)相螺接。

技术总结
本实用新型公开了一种单晶炉二次加料用的辅助装置，包括辅助运输车主体，辅助运输车主体的侧壁开设有装配槽，加料器固定架的另一侧壁固定安装有加料器辅助固定机构，加料器固定架的底部固定连接有升降气缸，升降气缸的底部转动连接有调节底座，装配槽的内腔底部固定装配有与调节底座传动连接的传动机构。通过在装配槽内所装配的传动机构对调节底座的位置进行调节，使加料器固定架以固定轴开始进行倾斜，便于对倾斜的角度进行调节，同时通过调节底座顶部所转动连接的升降气缸，在完成对加料器固定架的倾斜角度调节后，通过升降气缸可以对加料器固定架的高度位置进行调节，便于对单晶炉进行二次加料。晶炉进行二次加料。晶炉进行二次加料。


技术研发人员：郭党 张国峰 刘瑞强
受保护的技术使用者：辽宁博芯科半导体材料有限公司
技术研发日：2022.03.28
技术公布日：2022/12/1