一种自动供气式碳化硅晶体生长炉的制作方法

1.本实用新型属于晶体生长炉技术领域，具体涉及一种自动供气式碳化硅晶体生长炉。


背景技术：

2.碳化硅晶体生长炉是一种晶体生产设备，把高纯度的多晶硅原料放入生长器主体内，混合原料蒸发到生长器盖体下方结晶，进行晶体生长。现有的碳化硅晶体生长炉需要向内腔内供入惰性气体，供入惰性气体装置的供入惰性气体效果无法做到随着生长炉内的变化而变化，且需要人工调节，故此，本实例提出一种在生长器内对碳化硅进行晶体生长时，其上的通气管根据内部的具体情况进行供气，且设有不同的供气速度的碳化硅晶体生长炉。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种自动供气式碳化硅晶体生长炉，在生长器内对碳化硅进行晶体生长时，其上的通气管根据内部的具体情况进行供气，且设有不同的供气速度，实用性强，适合推广。
4.本实用新型提供了如下的技术方案：包括支撑架、生长炉、调节室，所述支撑架上端与生长炉固定相连，所述生长炉内设有生长器主体，所述生长炉上方可拆卸设有封堵盖，所述生长炉前方设有贯穿的观察窗，所述生长器主体下方固定设有底柱，所述生长器主体上方可拆卸设有生长器盖体，所述生长器盖体上端固定设有提拉杆，所述提拉杆与底柱固定连接有升降机构，所述生长器主体与生长炉内壁之间构成内腔，所述生长炉位于内腔的两侧贯穿设有通气管，一侧的通气管内设有单向阀，另一侧的通气管位于生长炉外侧贯穿调节室，所述调节室与生长炉固定相连，所述调节室内通过中心轴设有旋转盘，所述旋转盘上环绕设有通气孔与封闭垫，所述生长炉位于调节室一侧固定设有固定架，所述固定架上固定设有电机，所述电机的旋转轴固定设有旋转涡轮，所述旋转盘的侧边处设有齿纹，所述旋转涡轮与旋转盘之间齿纹相连，所述固定架一侧固定设有检测仪，所述检测仪的检测柱贯穿生长炉延伸至内腔内。
5.优选地，通气孔设有从大到小的多个，所述通气孔与封闭垫的圆心在同一个圆上，该圆的圆心与中心轴的截面圆心点重合，所述旋转盘将通气管截断，通气管与其滑动连接处固定设有密闭环，所述通气管的截面圆心处与通气孔、封闭垫的圆心点处相重合，所述密闭环与封闭垫紧密相连。
6.优选地，旋转轴固定连接有位于生长炉外壁内的内转轴，所述升降机构固定在支撑架上，所述封堵盖贯穿设有固定钮。
7.优选地，检测仪与电机通过电信号相连，所述电机的运转根据检测仪的测量结果控制。
8.本实用新型的有益效果：在生长器内对碳化硅进行晶体生长时，其上的通气管根
据内部的具体情况进行供气，且设有不同的供气速度，实用性强，具体如下：
9.本实用新型设有调节室，在生长炉内进行晶体生长时，向内腔内供气，检测仪检测处内腔内的气压、气氛，从而判断供气量，或者切断供气，在检测仪得到检测结果后，电机根据检测结果进行旋转，其根据旋转盘上的通气孔与封闭垫设有不同的运动状态，在电机旋转时，带动旋转盘旋转，并将大小不同的通气孔分别旋转至通气管处，根据通气孔的大小不同控制进气量，在封闭垫旋转至通气管处时，封闭垫与密闭环紧密相连，将供气关闭，实现生长炉内的自动供气。
附图说明
10.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
11.图1是本实用新型的整体示意图；
12.图2是本实用新型的剖视图；
13.图3是本实用新型的旋转盘处截面图；
14.图4是本实用新型中a处放大图；
15.图中标记为：1、支撑架；2、生长炉；3、升降机构；4、观察窗；5、封堵盖；6、提拉杆；7、内腔；8、调节室；9、通气管；10、固定架；11、电机；12、检测仪；13、旋转涡轮；14、检测柱；15、固定钮；16、底柱；17、生长器主体；18、生长器盖体；19、生长晶体；20、旋转盘；21、通气孔；22、封闭垫；23、齿纹；24、旋转轴；25、内转轴；26、密闭环；27、中心轴；28、混合原料。
具体实施方式
16.下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设有”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
17.现结合说明书附图，详细说明本实用新型的结构特点。
18.参见图1-2，一种自动供气式碳化硅晶体生长炉，包括支撑架1、生长炉2、调节室8，支撑架1上端与生长炉2固定相连，生长炉2内设有生长器17，生长炉2上方可拆卸设有封堵盖5，生长炉2前方设有贯穿的观察窗4，生长器主体17下方固定设有底柱16，所述生长器主体17上方可拆卸设有生长器盖体18，所述生长器盖体18上端固定设有提拉杆6，所述提拉杆6与底柱16固定连接有升降机构3，生长器主体17与生长炉2内壁之间构成内腔7，通过生长器主体17内的混合原料28蒸发到生长器盖体18下方结晶，进行晶体生长。
19.参见图2-4，生长炉2位于内腔7的两侧贯穿设有通气管9，一侧的通气管9内设有单向阀，通过单向阀进行向外排风，另一侧的通气管9位于生长炉2外侧贯穿调节室8，通过调节室8控制供入惰性气体量，调节室8与生长炉2固定相连，调节室8内通过中心轴27设有旋转盘20，旋转盘20上环绕设有通气孔21与封闭垫22，生长炉2位于调节室8一侧固定设有固定架10，固定架10上固定设有电机11，通过电机11驱动旋转涡轮13旋转，电机11的旋转轴24
固定设有旋转涡轮13，旋转盘20的侧边处设有齿纹23，旋转涡轮13与旋转盘20之间齿纹23相连，通过旋转涡轮13带动旋转盘20旋转，固定架10一侧固定设有检测仪12，检测仪12的检测柱14贯穿生长炉2延伸至内腔7内，通过检测仪12测量内腔7内气压、气氛。
20.参见图3-4，通气孔21设有从大到小的多个，提供不同的供气量，通气孔21与封闭垫22的圆心在同一个圆上，该圆的圆心与中心轴27的截面圆心点重合，旋转盘20将通气管9截断，通气管9与其滑动连接处固定设有密闭环26，通气管9的截面圆心处与通气孔21、封闭垫22的圆心点处相重合，密闭环26与封闭垫22紧密相连，通过封闭垫22封闭通气管9。
21.参见图1-2，旋转轴24固定连接有位于生长炉2外壁内的内转轴25，升降机构3固定在支撑架1上，封堵盖5贯穿设有固定钮15，通过固定钮15将封堵盖5固定。
22.检测仪12与电机11通过电信号相连，电机11的运转根据检测仪12的测量气压、气氛控制。
23.本实用新型的自动供气式碳化硅晶体生长炉，在生长器内对碳化硅进行晶体生长时，其上的通气管根据内部的具体情况进行供气，且设有不同的供气速度，实用性强，适合推广。
24.具体地使用时，参照图1-4，在生长炉2内进行晶体生长时，向内腔7内供气，检测仪12检测处内腔7内的气压、气氛，从而判断供气量，或者切断供气，在检测仪12得到检测结果后，电机11根据检测结果进行旋转，其根据旋转盘20上的通气孔21与封闭垫22设有不同的运动状态，在电机11旋转时，带动旋转盘20旋转，并将大小不同的通气孔21分别旋转至通气管9处，根据通气孔21的大小不同控制进气量，在封闭垫22旋转至通气管9处时，封闭垫22与密闭环26紧密相连，将供气关闭。
25.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。