一种端部固定及侧向连接的拼接埚邦及带有该埚邦的坩埚的制作方法

本技术属于坩埚领域，特别是涉及基于端部固定结构以及侧部连接的埚邦结构以及带有该埚邦结构的坩埚。

背景技术：

1、在单晶硅的制作中，目前普遍采用的是直拉法又称cz法，是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。在制造设备中，有一个重要的部件就是石墨或碳/碳坩埚，它是用来承载内部的石英坩埚的。在使用的过程中，由于石英坩埚与石墨或碳/碳坩埚的膨胀系数不同，并且硅蒸汽与石墨会产生侵蚀反应的原因，会存在石墨或碳/碳坩埚龟裂、侵蚀失强等问题。并且，随着单晶体生长的晶体直径越来越粗，相应的单晶炉的直径也会越做越大，对热场的可靠性要求也越来越高。

2、现有的整体式坩埚采用相对标准的曲面，整体制造而成，在使用过程中极容易因溅上硅液体，使得坩埚不得不报废处理，缩短了坩埚的使用寿命，同时增加了成本。针对以上问题，提供一种端部固定及侧向连接的拼接埚邦及带有该埚邦的零件化标准坩埚，可降低因硅液体溅射导致的整体坩埚报废，具有重要的工程应用价值和意义。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种端部固定及侧向连接的拼接埚邦及带有该埚邦的坩埚，解决了以上问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、本实用新型的一种端部固定及侧向连接的拼接埚邦，采用环绕设置的多个弧形埚邦拼条经侧部相贴合形成单层拼条，沿竖直方向上进行堆叠多个单层拼条形成多层结构的埚邦主体；位于埚邦主体的外侧面、内侧面中至少有一面通过竖直设置的限位连接槽内卡合竖向拼接条，位于埚邦主体的端部环绕设置有由多个弧形拼条经侧部相贴合构成的端部固定环；所述弧形拼条的顶部开设有沉孔，通过螺栓使弧形拼条与埚邦主体固定形成一体。

4、进一步地，所述限位连接槽位于各单层拼条侧面的非拼接线位置，限位连接槽的槽口与竖向拼接条的剖面形状一致。

5、进一步地，所述弧形埚邦拼条、竖向拼接条、弧形拼条以及螺栓的材料包括碳碳复合材料、碳陶复合材料、陶瓷材料、石墨材料。

6、一种坩埚，带有上述结构表述的至少一个端部固定及侧向连接的零件化标准化的埚邦。

7、本实用新型相对于现有技术包括有以下有益效果：

8、本实用新型的一种端部固定及侧向连接的拼接埚邦，单个弧形埚邦拼条、竖向拼接条、弧形拼条以及螺栓之间的安装及制造简单便捷，便于拆卸和更换，在单个部件损坏后能够快速高效地进行更换，降低了使用成本；埚邦整体采用分体式的结构方案，对易损坏的埚邦结构采用多层式环绕拼接的弧形埚邦并于端部设置弧形拼条，借助螺栓对弧形拼条以及弧形埚邦拼条、竖向拼接条实现整体连接并形成结构牢固的拼接结构，连接稳定性好，结构强度高，能够达到与整体式埚邦结构接近的结构强度，有利于推广和使用。

9、当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

技术特征：

1.一种端部固定及侧向连接的拼接埚邦，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种端部固定及侧向连接的拼接埚邦，其特征在于，所述限位连接槽(101)位于各单层拼条侧面的非拼接线位置，限位连接槽(101)的槽口与竖向拼接条(2)的剖面形状一致。

3.根据权利要求1所述的一种端部固定及侧向连接的拼接埚邦，其特征在于，所述弧形埚邦拼条(1)、竖向拼接条(2)、弧形拼条(3)以及螺栓(4)的材料包括碳碳复合材料、碳陶复合材料、陶瓷材料、石墨材料。

4.一种坩埚，其特征在于：带有如权利要求1-3任一项所述的至少一个端部固定及侧向连接的拼接埚邦。

技术总结
本技术公开了一种端部固定及侧向连接的拼接埚邦及带有该埚邦的坩埚，涉及坩埚领域。本技术采用环绕设置的弧形埚邦拼条经侧部贴合形成单层拼条，堆叠多个单层拼条形成多层结构的埚邦主体；位于埚邦主体的外侧面、内侧面中至少有一面通过竖直设置的限位连接槽内卡合竖向拼接条；限位连接槽位于各单层拼条侧面的非拼接线位置，限位连接槽的槽口与竖向拼接条的剖面形状一致。本技术的单个弧形埚邦拼条、竖向拼接条、弧形拼条以及螺栓之间的安装及制造简单便捷，实现了坩埚的标准化零件化生产，克服了原有模塑化生产效率低、成品率低、加工余量大所导致的高成本问题，便于成品的拆卸和更换，提高了产品的连接强度，提升了产品的稳定性。

技术研发人员：申富强,李开元,俞松,徐传栋,牛龙祥
受保护的技术使用者：上海骐杰碳素材料有限公司
技术研发日：20220513
技术公布日：2024/1/15