冷却组件和晶体生长设备的制作方法

1.本实用新型涉及晶体生长技术领域，尤其是涉及一种冷却组件和晶体生长设备。


背景技术：

2.相关技术中，晶体生长设备中，为适应热场温度梯度的变化和晶体拉速的要求，冷却组件的尺寸设计相对固定；但在实际硅单晶拉制过程中，为适应市场需求经常遇到拉制不同直径的晶体(例如单晶硅棒)，因此晶体生长设备需要整体更换冷却组件，增加了生产成本，且降低了生产效率。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种冷却组件，所述冷却组件可以用于对不同直径的晶体进行冷却，具有良好的适配性。
4.本实用新型还提出一种具有上述冷却组件的晶体生长设备。
5.根据本实用新型第一方面实施例的冷却组件，所述冷却组件用于晶体生长设备，且用于对晶体进行冷却，所述冷却组件包括：集流件，所述集流件具有多组通口组，每组所述通口组包括第一通口组和第二通口组，所述集流件限定出分隔的第一集流腔和第二集流腔，多组所述第一通口组均形成于所述第一集流腔，且沿径向内外间隔设置，每组所述第一通口组包括多个沿周向间隔设置的第一通口，多组所述第二通口组均形成于第二集流腔，且沿径向内外间隔设置，每组所述第二通口组包括多个沿周向间隔设置的第二通口；多个换热件，所述换热件呈环形设置且与对应所述通口组可分离配合，所述换热件形成有多个冷却通道，每个所述冷却通道适于与对应所述第一通口和对应所述第二通口分别连通，其中，多个所述换热件可选择地与所述集流件配合，任意两个所述换热件的内径不等。
6.根据本实用新型实施例的冷却组件，通过集流件具有多组通口组，每组通口组包括形成于第一集流腔的第一通口组和形成于第二集流腔的第二通口组，多组第一通口组沿径向间隔设置，多组第二通口组沿径向间隔设置，每个通口组与对应换热件可分离配合，且多个换热件可选择地与集流件配合，使得不同换热件与集流件配合时，可以使得冷却组件用于对不同直径的晶体进行冷却，具有良好的适配性，有效降低生产成本、提升生产效率。
7.在一些实施例中，同一所述通口组的所述第一通口组和所述第二通口组位于同一圆柱面上。
8.在一些实施例中，位于同一圆柱面上的多个所述第一通口和多个所述第二通口沿周向交替设置，相邻所述第一通口和所述第二通口连通同一所述冷却通道。
9.在一些实施例中，径向外侧的所述通口组的所述第一通口和所述第二通口的数量之和大于径向内侧的所述通口组的所述第一通口和所述第二通口的数量之和。
10.在一些实施例中，所述冷却通道包括弯折相连的第一通道段和第二通道段，所述第一通道段和所述第二通道段均沿轴向延伸。
11.在一些实施例中，所述集流件呈环形设置，所述第一集流腔和所述第二集流腔分
别呈环形设置，所述第一集流腔的至少部分和所述第二集流腔的至少部分沿所述集流件的轴向依次设置。
12.在一些实施例中，所述第一集流腔的至少部分位于所述第二集流腔的上侧，所述第一通口形成在所述第一集流腔的底壁上，所述第一通口处设有第一连通管，所述第一连通管穿设于所述第二集流腔且伸出所述第二集流腔，所述第二通口形成在所述第二集流腔的底壁上，所述第二通口处设有第二连通管，所述第二连通管的至少部分伸出所述第二集流腔。
13.在一些实施例中，所述换热件包括多个沿周向间隔设置的换热管，每个所述换热管限定出一个冷却通道，且每个所述换热管与对应所述第连通管和对应所述第二连通管分别可拆卸配合。
14.在一些实施例中，所述换热管的长度两端分别具有扩口部，所述扩口部套设于所述第一连通管或所述第二连通管的外侧，且与所述第一连通管或所述第二连通管卡接。
15.根据本实用新型第二方面实施例的晶体生长设备，包括：进液管路和出液管路；冷却组件，所述冷却组件为根据本实用新型上述第一方面实施例的冷却组件，所述第一集流腔和所述第二集流腔中的其中一个与所述进液管路连通，另一个与所述出液管路连通。
16.根据本实用新型实施例的晶体生长设备，通过采用上述的冷却组件，可以实现对不同直径晶体的冷却，节约生产成本。
17.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
18.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
19.图1是根据本实用新型一个实施例的冷却组件的示意图；
20.图2是图1中所示的冷却组件的周向展开示意图；
21.图3是图2中所示的集流件的示意图；
22.图4是图2中所示的换热管的示意图；
23.图5是根据本实用新型另一个实施例的示意图；
24.图6是沿图5中a-a线的使用状态示意图；
25.图7是沿图5中b-b线的使用状态示意图。
26.附图标记：
27.冷却组件100、进液管路101、出液管路102、
28.集流件1、贯通通道f、第一集流腔1a、第二集流腔1b、
29.通口组10a、第一通口组10b、第一通口10c、第二通口组10d、第二通口10e、
30.第一连通管11、第二连通管12、
31.换热件2、冷却通道2a、第一通道段2b、第二通道段2c、
32.换热管21、限位部211、限位台阶211a。
具体实施方式
33.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
34.下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。
35.下面，参考附图，描述根据本实用新型第一方面实施例的冷却组件100。其中，冷却组件100用于晶体生长设备，且冷却组件100用于对晶体进行冷却。
36.如图1和图2所示，冷却组件100包括集流件1，集流件1具有多组通口组10a，每组通口组10a包括第一通口组10b和第二通口组10d，集流件1限定出分隔的第一集流腔1a和第二集流腔1b，则第一集流腔1a和第二集流腔1b隔断，第一集流腔1a内的冷却介质无法直接流至第二集流腔1b，第二集流腔1b内的冷却介质也无法流至第一集流腔1a。
37.其中，多组第一通口组10b均形成于第一集流腔1a，且多组第一通口组10b沿径向内外间隔设置，每组第一通口组10b包括多个沿周向间隔设置的第一通口10c；多组第二通口组10d均形成于第二集流腔1b，且多组第二通口组10d沿径向内外间隔设置，每组第二通口组10d包括多个沿周向间隔设置的第二通口10e。
38.如图1-图3所示，冷却组件100还包括多个换热件2，换热件2呈环形设置，以便于在冷却组件100用于晶体生长设备中时，换热件2环绕晶体设置，以对晶体整个周向进行冷却；换热件2与对应通口组10a可分离配合，换热件2形成有多个冷却通道2a，每个冷却通道2a适于与对应第一通口10c和对应第二通口10e分别连通，则换热件2与对应通口组10a配合时，换热件2的每个冷却通道2a与通口组10a的对应第一通口10c和对应第二通口10e分别连通，第一集流腔1a可以通过多个冷却通道2a与第二集流腔1b连通，使得多个冷却通道2a并联设置，而换热件2与对应通口组10a分离时，与换热件2对应的第一通口10c和第二通口10e无法通过冷却通道2a连通。
39.其中，多个换热件2可选择地与集流件1配合，任意两个换热件2的内径不等，而换热件2在对晶体进行冷却时，换热件2与晶体之间需要保持合适的间距，则不同换热件2可以用于对不同直径的晶体进行冷却，使得冷却组件100可以满足不同直径晶体的冷却需求。
40.下面以换热件2为两个、或三个为例进行说明，本领域技术人员在阅读了下面的技术方案后，容易理解换热件2为四个或四个以上的实施方案。
41.例如，在图1-图3的示例中，通口组10a为两组，每组通口组10a分别包括第一通口组10b和第二通口组10d，两组通口组10a分别为第一组和第二组，第一组的第一通口组10b和第二组的第一通口组10b沿冷却组件100的径向由内向外依次设置，第一组的第二通口组10d和第二组的第二通口组10d沿冷却组件100的径向由内向外依次设置；换热件2为两个，两个换热件2可以分别为第一换热件和第二换热件，且第一换热件与第一组可分离配合，第
二换热件与第二组可分离配合。
42.当第一换热件与第一组配合时，第一换热件的每个冷却通道2a分别连通第一组的对应第一通口10c和第二通口10e，如果第一集流腔1a形成为进液腔、第二集流腔1b形成为出液腔，则第一集流腔1a内的冷却介质可以通过多个第一通口10c被分配至第一换热件的多个冷却通道2a内，多个冷却通道2a内的冷却介质可以及时带走晶体的热量，而后多个冷却通道2a内的换热完成的冷却介质汇聚至第二集流腔1b并排出；当第二换热件与第二组配合时，第二换热件的每个冷却通道2a分别连通第二组的对应第一通口10c和第二通口10e，如果第一集流腔1a形成为进液腔、第二集流腔1b形成为出液腔，则第一集流腔1a内的冷却介质可以通过多个第一通口10c被分配至第二换热件的多个冷却通道2a内，多个冷却通道2a内的冷却介质可以及时带走晶体的热量，而后多个冷却通道2a内的换热完成的冷却介质汇聚至第二集流腔1b并排出。
43.当然，第一集流腔1a还可以形成为出液腔、第二集流腔1b形成为进液腔。
44.然而，由于第一换热件的内径小于第二换热件的内径，则第一换热件为晶体提供的通过空间小于第二换热件为晶体提供的通过空间，也就是说，第一换热件可以用于对直径为d1的晶体进行冷却，第二换热件可以用于对直径为d2的晶体进行冷却，d1＜d2。由此，可以根据晶体的直径选取合适的换热件2进行冷却，比如当需要对直径为d1的晶体进行冷却时，可以将第一换热件与第一组配合、将第二换热件与集流件1分离，也可以将第一换热件与第一组配合、且第二换热件与第二组配合，以实现直径d1晶体的冷却；当需要对直径为d2的晶体进行冷却时，可以将第一换热件与第一组分离、第二换热件与第二组配合，以实现直径d2晶体的冷却。
45.可以理解的是，当第一换热件和第二换热件均安装于集流件1时，第一换热件和第二换热件沿冷却组件100的径向由内向外依次设置，则第二换热件环绕于第一换热件的外侧，
46.当然，第一组和第二组的设置不限于此；例如，第一组的第一通口组10b和第二组的第一通口组10b沿冷却组件100的径向由内向外依次设置，第一组的第二通口组10d和第二组的第二通口组10d沿冷却组件100的径向由外向内依次设置。
47.又例如，在图5-图7的示例中，通口组10a为三组，每组通口组10a分别包括第一通口组10b和第二通口组10d，三组通口组10a分别为第一组、第二组和第三组，第一组的第一通口组10b、第二组的第一通口组10b和第三组的第一通口组10b沿冷却组件100的径向由内向外依次设置，第一组的第二通口组10d、第二组的第二通口组10d和第三组的第二通口组10d沿冷却组件100的径向由内向外依次设置；换热件2为三个，三个换热件2可以分别为第一换热件、第二换热件和第三换热件，第一换热件与第一组可分离配合，第二换热件与第二组可分离配合，第三换热件与第三组可分离配合。
48.由于第一换热件的内径小于第二换热件的内径，且第二换热件的内径小于第三换热件的内径，三个换热件2为晶体提供的通过空间大小不同，则第一换热件用于对直径为d1的晶体进行冷却，第二换热件用于对直径为d2的晶体进行冷却，第三换热件用于对直径为d3的晶体进行冷却，d1＜d2＜d3。
49.由此，可以根据晶体的直径选择合适的换热件2进行冷却，比如需要对直径为d1的晶体进行冷却时，可以将第一换热件与第一组配合、第二换热件与第二组分离、第三换热件
与第三组分离，也可以将第一换热件与第一组配合、第二换热件与第二组配合、第三换热件与第三组分离，还可以将第一换热件与第一组配合、第二换热件与第二组配合、第三换热件与第三组配合，亦可以将第一换热件与第一组配合、第二换热件与第二组分离、第三换热件与第三组配合；需要对直径为d2的晶体进行冷却时，可以将第一换热件与第一组分离、第二换热件与第二组配合、第三换热件与第三组分离，也可以将第一换热件与第一组分离、第二换热件与第二组配合、第三换热件与第三组配合；需要对直径为d3的晶体进行冷却时，可以将第一换热件与第一组分离、第二换热件与第二组分离、第三换热件与第三组配合。
50.根据本实用新型实施例的冷却组件100，通过集流件1具有多组通口组10a，每组通口组10a包括形成于第一集流腔1a的第一通口组10b和形成于第二集流腔1b的第二通口组10d，多组第一通口组10b沿径向间隔设置，多组第二通口组10d沿径向间隔设置，每个通口组10a与对应换热件2可分离配合，且多个换热件2可选择地与集流件1配合，使得不同换热件2与集流件1配合时，可以使得冷却组件100用于对不同直径的晶体进行冷却；相对于一些技术中，对不同直径的晶体进行冷却时，需要更换冷却组件，导致生产成本较高、生产效率较低，本技术冷却组件100可以用于不同直径的晶体的冷却，具有良好的适配性，有效降低生产成本、提升生产效率。
51.此外，当换热件2损坏时，只需更换对应换热件2即可，无需更换整个冷却组件100，进一步节约生产成本。
52.可以理解的是，使用冷却组件100时，如果存在通口组10a并未与换热件2配合，则该通口组10a的第一通口10c和第二通口10e分别需要用密封件(例如封堵盖等)密封堵死，以避免内部冷却介质外泄。
53.需要说明的是，本文所述的“径向”为冷却组件100的径向，“轴向”为冷却组件100的轴向，冷却组件100的中心轴线竖直延伸，“周向”为冷却组件100的周向即绕冷却组件100中心轴线的方向；本文所述的“环形”当作广义理解，即不限于“圆环形”，例如还可以是“多边形环”等等。当换热件2呈多边形环时，换热件2的内径可以理解为换热件2对应的多边形的内切圆直径。
54.在一些实施例中，如图1和图5所示，同一通口组10a的第一通口组10b和第二通口组10d位于同一圆柱面上，则对于同一通口组10a的第一通口组10b和第二通口组10d而言，第一通口组10b与冷却组件100中心轴线的径向距离和第二通口组10d与冷却组件100中心轴线的径向距离相等，多个通口组10a可以沿径向内外间隔设置，从而不同通口组10a的内径不同，便于操作人员通过内径大小快速区分不同的通口组10a，进而便于将对应换热件2快速配合至该通口组10a，有利于提升换热件2和集流件1的配合效率；此外，由于第一通口组10b包括多个周向间隔设置的第一通口10c，第二通口组10d包括多个周向间隔设置的第二通口10e，方便了通口组10a的多个第一通口10c和多个第二通口10e的加工。
55.在一些实施例中，如图1和图5所示，位于同一圆柱面上的多个第一通口10c和多个第二通口10e沿周向交替设置，即同一通口组10a的多个第一通口10c和多个第二通口10e沿周向交替设置，使得对于同一通口组10a来说，相邻两个第一通口10c之间可以设有一个第二通口10e，相邻两个第二通口10e之间可以设有一个第一通口10c；相邻第一通口10c和第二通口10e连通同一冷却通道2a，使得相邻第一通口10c和第二通口组10d成一组，操作人员可以无需区分同一通口组10a中哪些是第一通口10c、哪些是第二通口10e，只需将相邻的第
一通口10c和第二通口10e连接至同一冷却通道2a即可，进一步方便了通口组10a和对应换热件2的配合。
56.显然，第一通口10c和第二通口10e是成对出现的，第一通口10c与相邻的一个第二通口10e连通同一冷却通道2a，则第一通口10c不会与其它相邻的第二通口10e相连于另一冷却通道2a；同理可得，第二通口10e与相邻的一个第一通口10c连通同一冷却通道2a，则第二通口10e不会与其它相邻的第一通口10c相连于另一冷却通道2a；换言之，相邻两个冷却通道2a不共用第一通口10c、也不共用第二通口10e。
57.此外，当第一集流腔1a和第二集流腔1b分别形成为环形，且第一集流腔1a的至少部分位于第二集流腔1b的上侧，第一通口组10b形成于第一集流腔1a，且第一通口组10b包括多个第一通口10c，第二通口组10d形成于第二集流腔1b，且第二通口组10d包括多个第二通口10e，多个第一通口10c和多个第二通口10e沿冷却组件100的周向依次交替间隔设置，使得对于第一集流腔1a而言，多个第一通口10c的布置相对较为分散，对于第二集流腔1b而言，多个第二通口10e的布置相对较为分散，便于保证集流件1的结构强度的均衡，可以避免多个第一通口10c或多个第二通口10e集中设置而使得集流件1易产生结构薄弱部分。
58.在一些实施例中，如图1和图5所示，径向外侧的通口组10a的第一通口10c和第二通口10e的数量之和大于径向内侧的通口组10a的第一通口10c和第二通口10e的数量之和，使得径向外侧的通口组10a所对应冷却通道2a的数量多于径向内侧的通口组10a对应的冷却通道2a的数量，而径向外侧的通口组10a对应的冷却通道2a用于对直径相对较大的晶体进行冷却，则便于使得每个换热件2与对应晶体的直径相匹配，以保证每个换热件2对相应直径晶体的冷却效果，更好地满足不同直径的晶体所需的冷却强度。
59.在一些实施例中，如图2和图4所示，冷却通道2a包括弯折相连的第一通道段2b和第二通道段2c，第一通道段2b和第二通道段2c均沿轴向延伸，第一通道段2b和第二通道段2c的延伸方向平行于晶体的拉伸方向，使得冷却通道2a可以大致形成为u型通道，有利于冷却通道2a内的冷却介质和晶体之间的热量交换，提高晶体的冷却效果，同时冷却通道2a结构简单，便于简化换热件2的结构。
60.显然，可以通过调节第一通道段2b和第二通道段2c沿轴向延伸的长度以改变冷却通道2a对晶体的冷却能力，从而进一步适应不同直径晶体的冷却需求，保证晶体的生产效率。
61.可选地，第一通道段2b和第二通道段2c可以通过圆弧通道段过渡相连。
62.在一些实施例中，如图1和图5-图7所示，集流件1呈环形设置，则集流件1的中部形成有允许不同直径的晶体通过并向上运动的贯通通道f，此时通口组10a可以沿集流件1的周向设置一整圈，便于保证通口组10a与对应换热件2配合可靠；第一集流腔1a和第二集流腔1b分别呈环形设置，以保证第一集流腔1a和第二集流腔1b的冷却介质流动稳定，同时有利于换热件2环形设置，保证换热件2的整个周向上对晶体的冷却能力较为均匀，以保证晶棒的生产，避免因晶体冷却不均匀中断晶体的长晶过程而造成晶体废弃，此时第一通口组10b的多个第一通口10c可以沿集流件1的周向间隔设置一整圈，第二通口组10d的多个第二通口10e可以沿集流件1的周向间隔设置一整圈，有利于提升第一通口10c和第二通口10e的布置数量，则便于提升冷却通道2a的数量，从而提升换热件2的冷却能力。
63.其中，第一集流腔1a的至少部分和第二集流腔1b的至少部分沿集流件1的轴向依
次设置，则第一集流腔1a的一部分与第二集流腔1b沿轴向依次设置、或者第一集流腔1a与第二集流腔1b沿轴向依次设置、或者第一集流腔1a的一部分与第二集流腔1b的一部分沿轴向依次设置、或者第二集流腔1b的一部分与第一集流腔1a沿轴向依次设置，有利于缩小集流件1径向尺寸，使得冷却组件100结构紧凑，可以适应内部空间较小的晶体生长设备，提高冷却组件100的适配性。
64.当然，第一集流腔1a和第二集流腔1b的设置不限于此；例如，第一集流腔1a和第二集流腔1b还可以沿集流件1径向依次设置。
65.在一些实施例中，如图2和图3所示，第一集流腔1a的至少部分位于第二集流腔1b的上侧，便于使得第一集流腔1a和第二集流腔1b设置更加集中，使得集流件1结构紧凑。
66.其中，第一通口10c形成在第一集流腔1a的底壁上，第一通口10c处设有第一连通管11，第一连通管11穿设于第二集流腔1b，且第一连通管11伸出第二集流腔1b，第二通口10e形成在第二集流腔1b的底壁上，第二通口10e处设有第二连通管12，第二连通管12的至少部分伸出第二集流腔1b，第一连通管11和第二连通管12与对应换热件2分别可拆卸配合，方便选择对应换热件2是否配合于集流件1上使用，同时方便了换热件2与集流件1的配合。
67.在一些实施例中，如图2和图4所示，换热件2包括多个沿周向间隔设置的换热管21，每个换热管21限定出一个冷却通道2a，且每个换热管21与对应第一连通管11和对应第二连通管12分别可拆卸配合,方便更换换热件2以对换热管21清洁，同时换热件2的多个换热管21之间彼此独立设置，有利于避免因换热管21损坏而更换整个换热件2，进一步节约生产成本。
68.例如，在图1-图4的示例中，集流件1限定出分隔的第一集流腔1a和第二集流腔1b，第一集流腔1a底壁形成有多组第一通口组10b，每组第一通口组10b包括多个沿周向间隔设置的第一通口10c，第二集流腔1b底壁形成有多组第二通口组10d，每组第二通口组10d包括多个沿周向间隔设置的第二通口10e，对应于同一换热件2的多个第一通口10c和第二通口10e沿周向交替设置且呈环形布置，每个第一通口10c处设有第一连通管11，每个第二通口10e处设有第二连通管12，第一连通管11和第二连通管12的下端基本在同一高度，换热件2包括多个沿周向间隔设置的换热管21，换热管21形状为u形，换热管21两端分别与对应第一连通管11和对应第二连通管12连接，实现冷却组件100的冷却介质从第一集流腔1a分流至多个换热管21、而后汇入第二集流腔1b的循环，以对晶体冷却。
69.在一些实施例中，如图2-图4所示，换热管21的长度两端分别具有限位部211，限位部211的内周壁形成有限位台阶211a，限位部211套设于第一连通管11或第二连通管12的外侧，且限位部211与第一连通管11或第二连通管12卡接,以保证换热管21与第一连通管11或第二连通管12的连接稳固，从而保证集流件1内的冷却介质流动循环的稳定；限位台阶211a与第一连通管11或第二连通管12抵接，以便于实现限位部211与第一连通管11或第二连通管12的快速限位，有利于提升换热管21的安装效率。
70.需要说明的是，换热管21长度两端的两个限位部211，其中一个限位部211与第一连通管11配合，另一个第一限位部211与第二连通管12配合。
71.根据本实用新型第二方面实施例的晶体生长设备，包括进液管路101、出液管路102和冷却组件100，冷却组件100为根据本实用新型上述第一方面实施例的冷却组件100，第一集流腔1a和第二集流腔1b中的其中一个与进液管路101连通，第一集流腔1a和第二集
流腔1b中的另一个与出液管路102连通，即第一集流腔1a和第二集流腔1b中的其中一个可以作为进液腔，另一个可以作为出液腔。
72.根据本实用新型实施例的晶体生长设备，通过采用上述的冷却组件100，可以实现对不同直径晶体的冷却，节约生产成本。
73.可选地，晶体生长设备为单晶炉。
74.例如，在图2的示例中，第一集流腔1a位于第二集流腔1b的上侧，进液管路101穿设于第一集流腔1a且与第二集流腔1b连通，出液管路102连接在第一集流腔1a的上端。
75.例如，在使用冷却组件100时，根据需要拉制晶体的目标直径，选择合适径向距离的通口组10a连通换热件2，例如需要生产直径较小的晶棒时，选择径向距晶棒距离较小的通口组10a(即最内侧的通口组10a)连通对应换热件2，且换热件2的换热管21的数量与对应通口组10a的成对的第一通口10c和第二通口10e的数量相匹配。
76.冷却介质通过进液管路101流入第二集流腔1b，然后同时进入并联的多个换热管21，冷却介质经过与晶体热量交换后，从换热管21流入第一集流腔1a，最终通过出液管路102向外排出，以上述过程循环实现晶体的冷却。冷却介质可以为冷却液(例如水等)、或者冷却气体(例如低温氮气等)等。
77.根据本实用新型实施例的晶体生长设备的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
78.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
79.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
80.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
81.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。