技术特征：
1.一种适用于立式成膜设备的发热装置，其特征在于：包括发热体、石墨电极和电连接件，所述发热体设置于反应室内的分隔套筒外侧的环形发热室内，在所述分隔套筒内形成气体流道，所述环形发热室与所述分隔套筒同轴嵌套设置，所述石墨电极的一端和所述发热体连接，另一端可拆卸设置于电极座上，所述电连接件的一端通向电源，另一端可拆卸设置于所述电极座上，所述电连接件包括多段子电连接件，各所述子电连接件均呈直杆或直棒形，各所述子电连接件均由金属材料制成，多段所述子电连接件依次可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的适用于立式成膜设备的发热装置，其特征在于：所述环形发热室内沿竖向布设有多个所述发热体，所述发热体呈环形，各所述发热体的两侧均连接有一个所述石墨电极，一个所述石墨电极对应设置有一个所述电极座，多个所述电极座均固定设置于石英环上，所述石英环固定设置于所述反应室的上部，所述石英环、所述环形发热室和所述分隔套筒均同轴。3.根据权利要求1所述的适用于立式成膜设备的发热装置，其特征在于：多个所述子电连接件分别为电极棒、平板、连杆和电极柱，所述电极柱固定设置，所述电极柱的底部设置有电缆连接处，所述电极柱顶部与所述连杆铰接连接，所述平板与所述连杆通过紧定螺钉连接，所述电极棒的一端可拆卸连接于所述电极座上，所述平板顶端与所述电极棒远离所述电极座的一端可拆卸连接。4.根据权利要求3所述的适用于立式成膜设备的发热装置，其特征在于：立式设备的外壁设置有多个电极盒，所述电极棒的一端位于所述立式设备的内部，另一端伸出所述立式设备后即伸进所述电极盒内，所述电极棒、所述平板、所述连杆和所述电极柱的连接处均位于所述电极盒内。5.根据权利要求4所述的适用于立式成膜设备的发热装置，其特征在于：所述电极盒的侧端盖上设有冷却流道，所述侧端盖能够打开，所述电极盒上还设置有用于通入保护气体的进气口，所述电缆连接处位于所述电极盒的下方，所述电缆连接处的外侧罩设有保护罩。6.根据权利要求4所述的适用于立式成膜设备的发热装置，其特征在于：所述电极柱的底部穿过所述电极盒的底板，所述底板的下方固定设置有固定法兰，所述电极柱穿设于所述固定法兰中，所述电极柱穿设于所述固定法兰的部分壁面外套设有绝缘陶瓷套。7.根据权利要求5所述的适用于立式成膜设备的发热装置，其特征在于：所述保护罩上设置有散热风扇。
技术总结
本实用新型提供一种适用于立式成膜设备的发热装置，涉及半导体晶片制备技术领域，包括发热体、石墨电极和电连接件，发热体设置于反应室内的分隔套筒外侧的环形发热室内，在分隔套筒内形成气体流道，环形发热室与分隔套筒同轴嵌套设置，石墨电极的一端和发热体连接，另一端可拆卸设置于电极座上，电连接件的一端通向电源，另一端可拆卸设置于电极座上，电连接件包括多段子电连接件，各子电连接件均呈直杆或直棒形，各子电连接件均由金属材料制成，多段子电连接件依次可拆卸连接。本实用新型提供的方案采用多段式结构，清理反应室内部时仅需拆装前段部分电极，从而避免拆卸后段电极与外部电缆，提高成膜设备整体的稳定性。提高成膜设备整体的稳定性。提高成膜设备整体的稳定性。
技术研发人员：刘鹏 徐文立 沈磊
受保护的技术使用者：宁波恒普真空科技股份有限公司
技术研发日：2022.12.05
技术公布日：2023/3/21