一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法与流程

文档序号:34168605发布日期:2023-05-15 02:06阅读:83来源:国知局
一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法与流程

本发明涉及钇铁石榴石晶片加工,具体涉及一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法。


背景技术:

1、中国专利cn202111359070.2公开了一种离子掺杂钆镓石榴石晶片的加工方法,包括以下步骤:步骤一、机械研磨:室温下,将ggg粗晶片放置在铸铁盘中,然后加入研磨液,进行机械研磨,得粗磨ggg晶片,控制研磨速度为60-65r/min,研磨压力105-108g/cm2,研磨时间为30-40min,研磨液为氧化铝(粒径为4-6μm)和去离子水超声振荡20-30min获得,且氧化铝的浓度为0.05-0.07g/ml;步骤二、机械抛光:采用ic1000抛光垫作为机械抛光用抛光垫,修整抛光垫,装载好粗磨ggg晶片,流入机械抛光液,然后在室温下进行机械抛光,得机械抛光后的ggg晶片,其中,抛光压力125g/cm2,抛光盘转速60r/min,抛光时间为20-30min,机械抛光液的流量为4ml/min,机械抛光液为氧化铝(粒径为1μm)和去离子水超声振荡20-30min获得,且氧化铝的浓度为0.08g/ml;步骤三、化学机械抛光:采用绒布抛光垫为作为化学机械抛光用抛光垫,并对其进行修整,采用硅溶胶抛光液为化学机械抛光液,装载好机械抛光后的ggg晶片,然后在室温下进行化学机械抛光,得一种离子掺杂钆镓石榴石晶片,控制抛光压力130g/cm2,抛光盘转速70r/min,抛光时间为40-70min,化学机械抛光液的流量为6ml/min。

2、该专利采用物理加工方法获得掺杂钆镓石榴石晶片,然而并未对石榴石晶片的制备流程进行研究,在对石榴石晶片的制备过程中,其所处的温度值和ph值的不同,均影响到晶片的纯度。


技术实现思路

1、本发明的目的就在于解决上述背景技术的问题,而提出一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法。

2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现:

3、一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法,包括以下步骤:

4、步骤一:采用铁和钇的氧化物作为原料,合成获得yig粉料;

5、步骤二:将步骤一中获得的yig粉料与铈的氧化物原料混合,获得共同沉淀物;

6、步骤三:将共同沉淀物经过清洗、过滤,去除可溶性杂质离子;然后再干燥得到先驱体;

7、步骤四:将先驱体在高温下进行煅烧,获得ce:yig晶片。

8、制备ce:yig粉料的化学反应方程式如下:

9、2xceo2+(3-x)y2o3+5fe2o3→2cexy3-xfe5o12+x/2o2↑

10、本发明的进一步技术改进在于:yig粉料的制备采用高温固相法,高温固相法制备yig粉料是以y2o3、fe2o3为原料。

11、本发明的进一步技术改进在于:高温固相法制备yig粉料的具体步骤为:

12、步骤a1:依据化学计量比精确称量铁和钇的氧化物作为原料;

13、步骤a2:铁和钇的氧化物采用研磨混合的方式混合均匀;

14、步骤a3:在1300℃-1400℃的高温下进行多次烧结获得yig粉料。

15、使用高温固相法制备yig粉料的化学反应方程式如下:

16、3y2o3+5fe2o3→2y3fe5o12+5o2

17、本发明的进一步技术改进在于:步骤a3中对yig粉料进行烧结时填充氮气,升温速率为10℃/min,从室温升至1300℃-1400℃。

18、本发明的进一步技术改进在于:yig粉料的制备采用共沉淀法,共沉淀法制备yig粉料是以y2o3和fe2o3为原料。

19、本发明的进一步技术改进在于:共沉淀法制备yig粉料的具体步骤为:

20、步骤b1:在电子天平上精确称量一定量的y2o3和fe2o3,溶于调制好的hno3混合液中,得到y(no3)3和fe(no3)3溶液并将两者混合均匀得到母盐溶液;

21、步骤b2:使用氨水调节母盐溶液的ph值为3-4,并搅拌均匀;

22、步骤b3:将调好ph值后的母盐溶液滴定到nh4hco3溶液中;

23、步骤b4:滴定完成后继续搅拌0.5h后,静置陈化15-20h后进行抽滤、干燥、研磨得到yig前驱体;

24、步骤b5:最后将前驱粉体在马弗炉中高温烧结得到yig粉料。

25、共沉淀法制备yig粉体的化学反应机理如下:

26、y2o3+6hno3→2y(no3)3+3h2o

27、fe2o3+6hno3→2fe(no3)3+3h2o

28、2y(no3)3+6nh4hco3→y2(co3)3↓+6nh4no3+3co2↑

29、2fe(no3)3+6nh4hco3→fe2(co3)3↓+6nh4no3+3co2↑

30、3y2(co3)3+5fe2(co3)3→2y3fe5o12+24co2↑

31、本发明的进一步技术改进在于:步骤b1中在hno3溶液加入hcl用于y2o3和fe2o3的溶解。

32、本发明的进一步技术改进在于:步骤b2中母盐溶液的添加采用反滴定法,滴定速度为1-2ml/min。

33、本发明的有益效果:

34、本发明采用共同沉淀法制备ce:yig粉料,所制得的前驱体具有很好的化学均匀性和反应活性,煅烧合成时,由于粒子的扩散路途变短,可以降低煅烧温度,并可改善煅烧性能,且颗粒尺寸易于控制。可以通过控制原料溶液中各组分的浓度来进行准确的配料,从而实现对材料成分的精确控制。易于均匀地分散适量的添加剂,还可避免机械粉碎如球磨等过程中的杂质的引入,使制得的晶体粉料化学纯度高,质量好。

35、通过对比获得制备ce:yig粉料的最佳温度值范围和最佳ph值范围,可以有效确保在对ce:yig粉料制备时减少杂相的出现,提高ce:yig制备的纯度。



技术特征:

1.一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法,其特征在于,yig粉料的制备采用高温固相法,高温固相法制备yig粉料是以y2o3、fe2o3为原料。

3.根据权利要求2所述的一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法,其特征在于,高温固相法制备yig粉料的具体步骤为:

4.根据权利要求3所述的一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法,其特征在于,步骤a3中对yig粉料进行烧结时填充氮气,升温速率为10℃/min,从室温升至1300℃-1400℃。

5.根据权利要求1所述的一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法,其特征在于,yig粉料的制备采用共沉淀法,共沉淀法制备yig粉料是以y2o3和fe2o3为原料。

6.根据权利要求5所述的一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法,其特征在于,共沉淀法制备y i g粉料的具体步骤为:

7.根据权利要求6所述的一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法,其特征在于,步骤b1中在hno3溶液加入hcl用于y2o3和fe2o3的溶解。

8.根据权利要求6所述的一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法,其特征在于,步骤b3中母盐溶液的添加采用反滴定法,滴定速度为1-2ml/min。


技术总结
本发明公开了一种掺铈钇铁石榴石晶片的加工方法,包括以下步骤:步骤一:采用铁和钇的氧化物作为原料,合成获得YIG粉料;步骤二:将步骤一中获得的YIG粉料与铈的氧化物原料混合,获得共同沉淀物;步骤三:将共同沉淀物经过清洗、过滤,去除可溶性杂质离子;然后再干燥得到先驱体;步骤四:将先驱体在高温下进行煅烧,获得Ce:YIG晶片,本发明通过对比获得制备Ce:YIG粉料的最佳温度值范围和最佳PH值范围,可以有效确保在对Ce:YIG粉料制备时减少杂相的出现,提高Ce:YIG制备的纯度。

技术研发人员:罗毅,龚瑞,许伙长
受保护的技术使用者:合肥中科瑞恒新材料科技有限责任公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/12
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