一种直拉硅单晶检测CCD相机的制作方法

本发明涉及直拉硅单晶，尤其是指一种直拉硅单晶检测ccd相机。

背景技术：

1、直拉法提拉硅单晶是目前生产单晶硅应用最广泛的技术，在直拉法工艺中将高纯度的多晶硅装进石英坩埚中加热熔化，然后把一特定晶向的硅单晶与熔融硅接触，硅将顺着已知晶向的籽晶上硅原子的排列结构在固液交界面上形成规则的结晶成为单晶体，不断延伸直到成为硅晶锭，最后完成硅单晶生长的过程；在整个直拉法提拉硅单晶的过程，始终需要利用ccd相机对单晶炉内部的单晶硅生长进行检测。

2、利用ccd相机进行检测时，ccd相机获取单晶硅生长的实际图像和单晶硅倒影的图像，根据实际图像位置与倒影的图像位置计算单晶硅尖端到熔硅液面的距离；基于单晶硅末端到导流筒下沿平面的距离及单晶硅晶尖端到熔硅液面的距离，准确地计算单晶炉液口距。

3、ccd相机固定安装在单晶炉的液口窗上，ccd相机的镜头直接对准单晶炉的液口窗；随着ccd相机使用，ccd相机的镜头会逐步附着灰尘，会影响ccd相机拍摄图像的清晰和准确的程度，并且过多的灰尘，会阻挡ccd相机镜头的散热，造成ccd相机镜头的温度升高，影响ccd相机的使用寿命和准确程度。

技术实现思路

1、为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中ccd相机的镜头会逐步附着灰尘的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明提供了一种直拉硅单晶检测ccd相机，包括固接在单晶炉的液口窗上的支架；所述支架的顶部固接有ccd相机；所述支架的顶部固接有清洁结构；所述清洁结构套在ccd相机的镜头外侧；所述清洁结构包括固接在支架的顶部的外壳；所述外壳套在ccd相机的镜头外侧；所述外壳的内部两侧均开设有收纳槽；所述外壳的内部另外两侧均开设有滑槽；两侧所述滑槽的内部之间滑动安装有横梁；所述横梁的顶部设置有清洁棉条；所述清洁棉条的顶面与ccd相机的镜头滑动配合；所述滑槽的内部设置有驱动单元，且驱动单元驱动横梁移动；工作人员远程控制驱动单元驱动横梁从收纳槽的内部滑出，沿着滑槽滑动，使得横梁从ccd相机的镜头底部滑过，带动清洁棉条接触ccd相机的镜头滑过，将ccd相机的镜头附着的灰尘清扫掉；控制横梁沿着滑槽往复平移多次，直至ccd相机的镜头干净，拍摄的图像清晰后，完成对ccd相机镜头的清洁工作；不但降低了工作人员对ccd相机清洁的困难度，而且降低了灰尘对ccd相机的影响。

3、在本发明的一个实施例中，所述驱动单元包括转动安装在一侧所述滑槽内部的动螺杆；所述动螺杆的两端转动贯穿外壳的外壁；所述外壳的一侧外壁固接有电机；所述电机的转轴与动螺杆的一端固接；所述动螺杆贯穿横梁的一端，且动螺杆与横梁螺纹配合；另一侧所述滑槽的内部固接有定螺杆；所述定螺杆滑动贯穿横梁的另一端；电机驱动动螺杆旋转，通过动螺杆与横梁之间的螺纹配合，驱动横梁沿着滑槽滑动，为横梁平移提供动力。

4、在本发明的一个实施例中，所述横梁的顶面开设有凹槽；所述凹槽的内部固接有托板；所述托板的底面与凹槽的底面之间均匀固接有多个弹簧；所述清洁棉条固接在托板的顶面；一侧所述收纳槽的内部顶面固接有通水管；所述通水管的一端通过管道连通水箱，且水箱的内部装有清洁液；所述通水管的底部均匀安装有多个喷嘴；清洁棉条与通水管底部的喷嘴接触，通水管内部的清洁液通过喷嘴喷入清洁棉条的内部，同时清洁棉条上的灰尘进行冲洗，提高了清洁棉条的清洁程度；利用清洁对ccd相机的镜头进行清洁，不但提高了清洁效果，而且降低了对ccd相机的镜头的损伤。

5、在本发明的一个实施例中，所述凹槽的中部开设有通槽；所述托板的底面中部固接有u形板；所述u形板的底面靠近通水管的一侧固接有正梯形块，且正梯形块的倾斜面设置在靠近u形板中部的一侧；所述u形板的内部滑动安装有滑板；所述滑板的底面固接有倒梯形块，且倒梯形块的倾斜面设置在靠近u形板中部的一侧；所述正梯形块与倒梯形块之间滑动配合；所述滑板的两端分被与两侧的通槽的内部滑动配合；两侧所述收纳槽远离横梁的一侧中部固接有推块；所述推块与通槽的内部滑动配合；实现了清洁棉条从横梁的凹槽内部滑动和收回的工作，使得吸收清洁液后的清洁棉条对ccd相机的镜头进行清洁，并且使得完成清洁后的清洁棉条与ccd相机的镜头不接触，降低了ccd相机的镜头被清洁棉条上使用后的废清洁液和灰尘污染，提高了对ccd相机的镜头清洁的效果。

6、在本发明的一个实施例中，所述横梁远离通水管的一侧两端转动安装有同步轮；两个所述同步轮分别套在动螺杆和定螺杆的外侧；所述动螺杆与外侧的同步轮之间螺纹配合；两个所述同步轮的外侧套设有同步带；所述同步带的外圈均匀固接有多个绒毛刷；所述绒毛刷与ccd相机的镜头滑动配合；绒毛刷旋转接触到ccd相机的镜头，从而将ccd相机的镜头上的较大的灰尘颗粒清扫掉，继而避免了较大的灰尘颗粒被清洁棉条推动与ccd相机的镜头摩擦，造成ccd相机的镜头产生划痕损伤。

7、在本发明的一个实施例中，所述横梁靠近同步带的一侧底面固接有安装梁；所述安装梁靠近同步带的一侧铰接有收集筐，且收集筐的铰接杆上设置有扭簧；所述收集筐的内部底面均匀固接有多个钢针刷；所述钢针刷的钢针与绒毛刷的绒毛滑动配合；绒毛刷经过多个钢针刷的分散清洁，绒毛刷上的灰尘杂质落在收集筐的底部，从而提高了绒毛刷的清洁程度。

8、在本发明的一个实施例中，另一侧所述收纳槽的内部底面开设有回收槽；所述回收槽的内部底面设置有集尘筐；所述收集筐靠近收纳槽的一侧底面中部转动安装有方扣；所述回收槽靠近横梁的一侧顶面中部开设有槽口；所述回收槽的槽口处固接有挂钩；所述挂钩与方扣滑动配合；从而便于工作人员集中去处理收集的灰尘，降低了工作人员的工作量。

9、在本发明的一个实施例中，所述横梁靠近通水管的一侧顶部固接有硅胶刮板；所述硅胶刮板的顶部与ccd相机的镜头滑动配合；所述硅胶刮板的内部开设有气腔；所述硅胶刮板的底部凹面固接有弧形的弹性网格板；所述硅胶刮板的底部固接有螺旋气管；所述螺旋气管连通气腔；所述螺旋气管的另一端贯穿外壳的外壁；所述螺旋气管远离硅胶刮板的一端连通气泵；硅胶刮板的顶部向上翘起，使得硅胶刮板与ccd相机的镜头接触，将ccd相机的镜头残留的水渍刮除；当横梁复位时，硅胶刮板收缩，避免硅胶刮板与ccd相机的镜头接触，进一步提高了ccd相机镜头的清洁度。

10、在本发明的一个实施例中，所述外壳的底部两侧均固接有导轨；两侧所述导轨之间滑动安装有遮挡筐；所述外壳的两侧均固接有液压推杆；所述液压推杆的活塞杆端部与遮挡筐的顶部固接；阻挡对ccd相机的镜头清洁时产生的落尘和滴液；同时，避免下落的落尘和滴液落入单晶炉的液口窗内。

11、在本发明的一个实施例中，所述遮挡筐远离单晶炉的一侧内部开设有通气槽；所述通气槽靠近遮挡筐中部的一侧固接有滤网；所述通气槽的内部设置有风扇；所述通气槽的内部设置有冷却栅管，且冷却栅管位于风扇与滤网之间；所述冷却栅管的两端管口连通冷却水箱；冷风对ccd相机的镜头进行降温，避免温度较低的清洁液涂到ccd相机的镜头上，造成ccd相机的镜头的损坏。

12、本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

13、1.本发明所述的一种直拉硅单晶检测ccd相机，通过设置外壳、横梁、清洁棉条、动螺杆和电机；电机驱动动螺杆旋转，通过动螺杆与横梁之间的螺纹配合，驱动横梁沿着滑槽滑动，使得横梁从ccd相机的镜头底部滑过，带动清洁棉条接触ccd相机的镜头滑过，将ccd相机的镜头附着的灰尘清扫掉；控制横梁沿着滑槽往复平移多次，直至ccd相机的镜头干净，拍摄的图像清晰后，完成对ccd相机镜头的清洁工作；不但降低了工作人员对ccd相机清洁的困难度，而且降低了灰尘对ccd相机的影响。

14、2.本发明所述的一种直拉硅单晶检测ccd相机，通过设置定螺杆、同步轮、同步带和绒毛刷；驱动单元驱动横梁滑过ccd相机的底部时，横梁沿着定螺杆移动，通过同步轮与定螺杆的螺纹配合，同时，横梁带动同步轮移动，使得同步轮沿着定螺杆的外圈旋转，使得同步带配合同步轮旋转，带动多个绒毛刷旋转清扫，绒毛刷旋转接触到ccd相机的镜头，从而将ccd相机的镜头上的较大的灰尘颗粒清扫掉，继而避免了较大的灰尘颗粒被清洁棉条推动与ccd相机的镜头摩擦，造成ccd相机的镜头产生划痕损伤。