1.一种制备三氯氢硅的生产工艺，其特征是：
2.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征是：所述新入四氯化硅&氢气（a）经预热和换热后，首先在冷氢化反应器（5）中和硅粉进行冷氢化反应，生成三氯氢硅及一部分副产物氯化氢混合尾气；再将上述混合尾气、硅粉和预热后的氯化氢导入氯氢化反应器（6）中进行氯氢化反应，把剩余的氯化氢充分转化成三氯氢硅；分别通过对冷氢化反应和氯氢化反应的参数精准控制，实现更高的三氯氢硅转化率。
3.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征是：所述新入四氯化硅&氢气（a）、催化剂一（b）、硅粉（c）、催化剂二（d）和氯化氢（e）的进料管道上均设有调节阀；通过控制四氯化硅&氢气（a）的量以控制冷氢化反应器（5）的反应进度；通过控制氯化氢（e）的量来控制氯氢化反应器（6）的反应进度，避免逆反应的发生，推动反应朝正方向进行。
4.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征是：所述催化剂一（b）为镍基、铜基、铝基、铈基、镧基催化剂中的一种或混合物，催化剂二(d)为镍基、铝基、铜基催化剂中的一种或混合物。
5.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征是：所述预热器（2）的设计温度为130℃-170℃；一级换热器（3）中管程所述混合气约从130℃-170℃升至280℃-320℃，壳程经二级换热器（4）换热后的冷氢化反应器出口尾气从430℃-470℃降至280℃-320℃；二级换热器（4）中管程经一级换热器（3）换热后混合气约从280℃-320℃升至430℃-470℃，壳程冷氢化反应器出口尾气从530℃-570℃降至430℃-470℃；三级换热器中管程的氯化氢反应器出口尾气约从280℃-320℃降至80℃-180℃，壳程氯化氢（e）约从常温升至120-150℃。
6.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征是：冷氢化反应器内反应压力为2mpa-4mpa，反应温度在530℃-570℃。
7.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征是：氯氢化反应器内反应压力0.1mpa-0.4mpa，反应温度在280℃-350℃。
8.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征是：冷氢化反应器内导入氢气与硅粉的摩尔比范围为1:1-5:1。
9.根据权利要求1所述的生产工艺，其特征是：氯氢化反应器内导入氯化氢与硅粉的摩尔比范围为1:1-5:1。
10.一种制备三氯氢硅的生产系统，其特征在于，包括：混合机（1），预热器（2），一级换热器（3），二级换热器（4），冷氢化反应器（5），氯氢化反应器（6），三级换热器（7），分离器（8），其中分离器设有分离器第一出口（81）和分离器第二出口（82），混合机（1）的进口与新入四氯化硅&氢气（a）及分离器第一出口（81）相连，混合机（1）的出口与预热器（2）入口连接，预热器（2）出口与一级换热器（3）管程进口连接，一级换热器（3）管程出口与二级换热器（4）管程入口连接，二级换热器（4）管程出口、硅粉（c）及催化剂一（b）分别与冷氢化反应器（5）对应的入口连接，冷氢化反应器（5）出口与二级换热器（4）壳程入口连接，二级换热器（4）壳程出口与一级换热器（3）壳程入口连接，一级换热器（3）壳程出口以及硅粉（c）、催化剂二（d）及三级换热器（7）壳程出口分别与氯氢化反应器（6）对应的入口连接，氯氢化反应器（6）出口与三级换热器（7）管程入口连接，三级换热器（7）管程出口与分离器（8）入口连接，分离器第一出口（81）与混合机（1）入口连接，分离器第二出口（82）产出三氯氢硅（g）；三级换热器（7）壳程进口与氯化氢（e）相连通。