本说明书涉及晶体生长,特别涉及一种液相法生长晶体所用的连接装置。
背景技术:
1、液相法是生长晶体(例如,碳化硅单晶)的方法之一。使用液相法生长晶体时,需要使用连接装置连接籽晶,并带动籽晶进行旋转以生长晶体。为了保证晶体正常生长,要求连接装置连接牢固,以避免其在带动籽晶旋转的过程中脱落。因此,有必要提供一种牢固的连接装置,以稳定地带动籽晶旋转,从而保证晶体的正常生长。
技术实现思路
1、本说明书实施例之一提供一种连接装置,所述装置包括:至少一个连接杆和籽晶托,其中,所述籽晶托与所述至少一个连接杆的连接点的数量大于等于2且所述连接点与所述籽晶托的旋转中心不重合。
2、在一些实施例中,所述连接点沿所述籽晶托周向均匀分布。
3、在一些实施例中,所述籽晶托与所述至少一个连接杆的连接方式为卡槽连接。
4、在一些实施例中,所述卡槽连接包括彼此适配的连接块和连接槽,其中,所述连接槽设置于所述连接杆上,所述连接块设置于所述籽晶托上。
5、在一些实施例中,所述装置还包括连接环,所述连接环与设置有所述连接槽的所述连接杆通过螺纹连接。
6、在一些实施例中,所述籽晶托与所述至少一个连接杆的连接方式为螺纹连接。
7、在一些实施例中,所述籽晶托与至少两个所述连接杆相连接。
8、在一些实施例中,所述籽晶托通过至少两个连接引脚与一个所述连接杆相连接。
9、在一些实施例中,所述连接引脚包括连接槽和连接环,其中,所述连接槽与设置于所述籽晶托上的连接块相互适配,所述连接环与所述连接引脚外壁通过螺纹连接。
10、在一些实施例中,所述至少一个连接杆包括多个连接段,多个所述连接段彼此之间的连接点与旋转中心不重合。
1.一种连接装置,其特征在于,所述装置包括:
2.如权利要求1所述的连接装置,其特征在于,所述连接点沿所述籽晶托周向均匀分布。
3.如权利要求1所述的连接装置,其特征在于,所述籽晶托与所述至少一个连接杆的连接方式为卡槽连接。
4.如权利要求3所述的连接装置,其特征在于,所述卡槽连接包括彼此适配的连接块和连接槽,其中,
5.如权利要求4所述的连接装置,其特征在于,所述装置还包括连接环,所述连接环与设置有所述连接槽的所述连接杆通过螺纹连接。
6.如权利要求1所述的连接装置,其特征在于,所述籽晶托与所述至少一个连接杆的连接方式为螺纹连接。
7.如权利要求1所述的连接装置,其特征在于,所述籽晶托与至少两个所述连接杆相连接。
8.如权利要求1所述的连接装置,其特征在于,所述连接媒介为连接引脚,所述籽晶托通过至少两个连接引脚与一个所述连接杆相连接。
9.如权利要求8所述的连接装置,其特征在于,所述连接引脚包括连接槽和连接环,其中,
10.如权利要求1所述的连接装置,其特征在于,所述至少一个连接杆包括多个连接段,多个所述连接段彼此之间的连接点与旋转中心不重合。