单晶炉的制作方法

文档序号:36848215发布日期:2024-01-26 23:05阅读:49来源:国知局
单晶炉的制作方法

本技术涉及光伏,更具体地,涉及一种单晶炉。


背景技术:

1、单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生长无错位单晶硅的设备。单晶炉主要包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲氩气系统及水冷系统。其中主炉室上部与翻板阀密封连接,副炉室放在翻板阀上,主炉室是单晶炉的心脏部位,且热场系统安装在主炉室内。

2、通常将装配好的导流筒悬挂于水冷屏上,由于加料桶加料过程中,存在升降热屏的动作,从而受到热场不对中或者热场相关部件变形导致的外力,从而引起的导流筒偏移的现象,因此,是本领域亟需解决的技术问题。


技术实现思路

1、有鉴于此,本实用新型提供了一种单晶炉,用以改善导流筒存在偏移的现象。

2、本申请提供一种单晶炉,包括导流筒,所述导流筒内设置有水冷屏,所述导流筒包括导流筒筒体和与所述导流筒筒体相连接的固定件,所述固定件位于所述导流筒的端部,所述固定件远离所述导流筒筒体一侧覆设有导流筒盖板;

3、所述固定件远离所述导流筒盖板一侧开设有至少两个固定槽,至少两个所述固定槽对称设置于所述导流筒的中轴线上;

4、所述水冷屏包括横杆,所述横杆上设置有挂块;

5、所述固定槽通过紧固装置与所述挂块相连接。

6、可选地,所述固定件上开设有至少两个第一通孔,至少两个第一通孔沿圆周方向排列,所述第一通孔沿第一方向贯穿所述固定件,所述第一方向为由所述导流筒盖板指向所述固定件的方向;沿所述第一方向,所述导流筒盖板上开设有与所述第一通孔相对应的第二通孔;

7、所述挂块包括第一挂块和第二挂块,所述第一挂块和第二挂块上设置有相对设置的卡槽;

8、所述紧固装置包括与所述固定槽相配合的底板,所述底板上连接有螺栓,所述螺栓远离所述底板一侧设置有螺纹;

9、所述底板位于所述固定槽内,沿所述第一方向,所述螺栓依次穿过所述第一通孔、所述第二通孔和所述卡槽,通过螺纹与螺母螺纹连接。

10、可选地,所述底板上设置有限位杆,沿所述第一方向所述限位杆依次穿过所述第一通孔和所述第二通孔。

11、可选地,所述限位杆的数量为两个,沿圆周方向两个所述限位杆位于所述螺栓的两侧。

12、可选地,沿所述第一方向,限位杆的长度小于所述螺栓的长度。

13、可选地,所述限位杆的材质包括金属。

14、可选地,所述固定件与所述导流筒盖板之间设置有热屏固毡。

15、可选地,所述热屏固毡沿所述第一方向开设有与第一通孔和第二通孔相对应的第三通孔;

16、沿第一方向所述螺栓依次穿过第一通孔、第三通孔、第二通孔和卡槽,通过螺纹与螺母螺纹连接。

17、可选地,沿所述第一方向,所述限位杆的长度不低于所述热屏固毡和所述导流筒盖板的厚度之和。

18、可选地,所述卡槽的形状为u形。

19、与现有技术相比,本实用新型提供的单晶炉,至少实现了如下的有益效果:

20、本实用新型提供一种单晶炉,包括导流筒,导流筒内设置有水冷屏,导流筒包括导流筒筒体和与导流筒筒体相连接的固定件,固定件位于导流筒的端部,固定件远离导流筒筒体一侧覆设有导流筒盖板;固定件远离导流筒盖板一侧开设有至少两个固定槽,至少两个固定槽对称设置于导流筒的中轴线上;水冷屏包括横杆,横杆上设置有挂块;固定槽通过紧固装置与挂块相连接,采用该方案,通过紧固装置将固定件直接与挂块连接在一起,避免的导流筒存在偏移的现象,对中性好,从而提高定位精度,保证热场的一致性。

21、当然,实施本实用新型的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

22、通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述,本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。



技术特征:

1.一种单晶炉,其特征在于,包括导流筒,所述导流筒内设置有水冷屏,所述导流筒包括导流筒筒体和与所述导流筒筒体相连接的固定件,所述固定件位于所述导流筒的端部,所述固定件远离所述导流筒筒体一侧覆设有导流筒盖板;

2.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于,所述固定件上开设有至少两个第一通孔,至少两个第一通孔沿圆周方向排列,所述第一通孔沿第一方向贯穿所述固定件,所述第一方向为由所述导流筒盖板指向所述固定件的方向;沿所述第一方向,所述导流筒盖板上开设有与所述第一通孔相对应的第二通孔;

3.根据权利要求2所述的单晶炉,其特征在于,所述底板上设置有限位杆,沿所述第一方向所述限位杆依次穿过所述第一通孔和所述第二通孔。

4.根据权利要求3所述的单晶炉,其特征在于,所述限位杆的数量为两个,沿圆周方向两个所述限位杆位于所述螺栓的两侧。

5.根据权利要求3所述的单晶炉,其特征在于,沿所述第一方向,限位杆的长度小于所述螺栓的长度。

6.根据权利要求3所述的单晶炉,其特征在于,所述限位杆的材质包括金属。

7.根据权利要求3所述的单晶炉,其特征在于,所述固定件与所述导流筒盖板之间设置有热屏固毡。

8.根据权利要求7所述的单晶炉,其特征在于,所述热屏固毡沿所述第一方向开设有与第一通孔和第二通孔相对应的第三通孔;

9.根据权利要求7所述的单晶炉,其特征在于,沿所述第一方向,所述限位杆的长度不低于所述热屏固毡和所述导流筒盖板的厚度之和。

10.根据权利要求2所述的单晶炉,其特征在于,所述卡槽的形状为u形。


技术总结
本技术公开了单晶炉,包括导流筒,导流筒内设置有水冷屏,导流筒包括导流筒筒体和与导流筒筒体相连接的固定件,固定件位于导流筒的端部,固定件远离导流筒筒体一侧覆设有导流筒盖板;固定件远离导流筒盖板一侧开设有至少两个固定槽,至少两个固定槽对称设置于导流筒的中轴线上;水冷屏包括横杆,横杆上设置有挂块;固定槽通过紧固装置与挂块相连接,采用该方案,通过紧固装置将固定件直接与挂块连接在一起,避免的导流筒存在偏移的现象,对中性好,从而提高定位精度,保证热场的一致性。

技术研发人员:林雨生,邸敏伟,霍润翔,赵山河,龙昭钦,陈铭
受保护的技术使用者:四川晶科能源有限公司
技术研发日:20230720
技术公布日:2024/1/25
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