一种单晶炉热场的制作方法

本技术涉及拉晶，特别是涉及一种单晶炉热场。

背景技术：

1、现有的主加热器既有横向辐射热又有纵向辐射热，主加热器发热区位于保温筒与埚帮之间，主加热器发热区产生的部分热量横向传递至埚帮，部分热量纵向传递至炉底，并通过炉底电极孔，造成热量损失。此外，加热器纵向传递的热量会烘烤埚帮和石英坩埚的底部，造成石英坩埚中的氧进入硅熔体中，导致硅晶体中氧含量升高。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，提出了本实用新型实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种单晶炉热场。

2、为了解决上述问题，本实用新型实施例公开了一种单晶炉热场，包括：保温筒、第一加热器以及用于容纳硅料的坩埚；其中，

3、所述保温筒环绕所述坩埚设置；

4、所述保温筒与所述坩埚相对的内壁上设置有凹槽，所述凹槽的槽口朝向所述坩埚；

5、所述第一加热器的至少部分设置于所述凹槽内。

6、可选地，所述第一加热器包括第一发热本体、第一加热电极和第一脚板；

7、所述保温筒的筒体上设置有沿其轴向导通的通孔；

8、所述第一发热本体环绕所述坩埚设置，用于加热所述坩埚；

9、所述第一发热本体设置于所述凹槽内；

10、所述第一脚板和/或所述第一加热电极设置于所述通孔内；

11、所述第一脚板的一端与所述第一发热本体连接，另一端与所述第一加热电极连接。

12、可选地，所述第一脚板的部分和所述第一加热电极的部分位于通孔内；

13、或者，所述第一脚板贯穿于所述通孔，所述第一加热电极位于保温筒底部；

14、或者，所述第一加热电极为电极柱；所述电极柱贯穿于所述通孔。

15、可选地，所述第一发热本体和第一脚板为拼接分体式结构；

16、或，所述第一发热本体和第一脚板为一体式结构。

17、可选地，所述保温筒沿其轴向包括依次设置的上保温筒、中保温筒和下保温筒；

18、所述中保温筒的内径分别大于所述上保温筒的内径和所述下保温筒的内径，所述中保温筒、所述上保温筒和所述下保温筒围合形成所述凹槽；

19、所述通孔设置于所述下保温筒的筒体上，并贯穿于所述下保温筒。

20、可选地，所述上保温筒、中保温筒和下保温筒分别为一体成型结构；

21、或者，所述上保温筒、中保温筒和下保温筒分别为拼接分体式结构；

22、或者，所述上保温筒、中保温筒和下保温筒，三者一体成型为所述保温筒结构。

23、可选地，所述保温筒包括沿其轴向依次设置的中保温筒和下保温筒；

24、所述中保温筒的内径大于所述下保温筒的内径，所述中保温筒和下保温筒围合形成台阶，所述台阶为所述凹槽；

25、所述通孔设置于所述下保温筒的筒体上，并贯穿于所述下保温筒。

26、可选地，所述中保温筒和下保温筒分别为一体成型结构；

27、或者，所述中保温筒和下保温筒分别为拼接分体式结构；

28、或者，所述中保温筒和下保温筒，两者一体成型为所述保温筒结构。

29、可选地，所述第一发热本体的内径大于所述下保温筒的内径。

30、可选地，所述第一脚板位于中保温筒和下保温筒的拼接处；

31、所述第一加热电极穿过所述通孔，并与所述第一脚板连接。

32、可选地，所述第一脚板沿远离所述第一发热本体的外壁方向延伸；

33、所述保温筒的筒体上还设置有容纳槽，所述容纳槽的槽口与所述通孔相对，所述容纳槽与所述凹槽连通；

34、所述第一脚板设置于所述容纳槽内。

35、可选地，所述单晶炉热场还包括第二加热器；

36、所述第二加热器设置于所述保温筒内，所述第二加热器设置于所述坩埚的下方，所述第二加热器与所述坩埚的底部相对。

37、可选地，所述第二加热器为平板加热器。

38、可选地，所述单晶炉热场还包括底盘；

39、所述底盘设置于所述保温筒的底部，并与所述保温筒围合形成用于容纳所述坩埚的容纳腔；

40、所述底盘上与所述通孔相对的位置设置有用于穿设所述第一加热电极的第一电极孔。

41、可选地，所述底盘上设置有排气孔；

42、所述排气孔与所述容纳腔连通。

43、可选地，所述保温筒整体为由固毡制备而成的一体成型的筒状结构。

44、本实用新型实施例包括以下优点：

45、在本实用新型实施例中，所述保温筒环绕所述坩埚设置，且所述保温筒与所述坩埚相对的内壁上设置有凹槽，所述凹槽的槽口朝向所述坩埚，将所述第一加热器设置于所述凹槽内，便于所述第一加热器横向将热辐射至所述坩埚，以熔化所述坩埚内的硅料进行拉晶。由于所述凹槽的槽口朝向所述坩埚，且所述第一加热器的至少部分设置于所述凹槽内，使得所述凹槽的槽壁可以隔断所述第一加热器的纵向热辐射，避免所述第一加热器向底部传热，减少热量损失。此外，下保温筒的内径小于中保温筒的内径，可以使得保温筒内部的容纳腔更紧凑，提高保温筒的保温效果。同时，脚板或电极位于下保温筒内部，可以降低热量通过底部的电极孔流失。

技术特征：

1.一种单晶炉热场，其特征在于，包括：保温筒、第一加热器以及用于容纳硅料的坩埚；其中，

2.根据权利要求1所述的单晶炉热场，其特征在于，所述第一加热器包括第一发热本体、第一加热电极和第一脚板；

3.根据权利要求2所述的单晶炉热场，其特征在于，所述第一脚板的部分和所述第一加热电极的部分位于通孔内；

4.根据权利要求2或3所述的单晶炉热场，其特征在于，所述第一发热本体和第一脚板为拼接分体式结构；

5.根据权利要求2所述的单晶炉热场，其特征在于，所述保温筒包括沿其轴向依次设置的上保温筒、中保温筒和下保温筒；

6.根据权利要求5所述的单晶炉热场，其特征在于，所述上保温筒、中保温筒和下保温筒分别为一体成型结构；

7.根据权利要求2所述的单晶炉热场，其特征在于，所述保温筒包括沿其轴向依次设置的中保温筒和下保温筒；

8.根据权利要求7所述的单晶炉热场，其特征在于，所述中保温筒和下保温筒分别为一体成型结构；

9.根据权利要求5或7所述的单晶炉热场，其特征在于，

10.根据权利要求5或7所述的单晶炉热场，其特征在于，

11.根据权利要求2所述的单晶炉热场，其特征在于，所述第一脚板沿远离所述第一发热本体的外壁方向延伸；

12.根据权利要求1所述的单晶炉热场，其特征在于，所述单晶炉热场还包括第二加热器；

13.根据权利要求12所述的单晶炉热场，其特征在于，所述第二加热器为平板加热器。

14.根据权利要求2所述的单晶炉热场，其特征在于，所述单晶炉热场还包括底盘；

15.根据权利要求14所述的单晶炉热场，其特征在于，所述底盘上设置有排气孔；

16.根据权利要求1所述的单晶炉热场，其特征在于，所述保温筒整体为由固毡制备而成的一体成型的筒状结构。

技术总结
本技术实施例提供了一种单晶炉热场，包括：保温筒、第一加热器以及用于容纳硅料的坩埚；其中，所述保温筒环绕所述坩埚设置；所述保温筒与所述坩埚相对的内壁上设置有凹槽，所述凹槽的槽口朝向所述坩埚；所述第一加热器的至少部分设置于所述凹槽内。所述凹槽的槽壁可以隔断所述第一加热器的纵向热辐射，避免所述第一加热器向底部传热，减少热量损失。

技术研发人员：陈斌,梁永生,白喜军,刘平虎,杨开刚,吴文华,孙晓龙
受保护的技术使用者：隆基绿能科技股份有限公司
技术研发日：20230815
技术公布日：2024/3/31