专利名称：低温等离子体放电管的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种低温等离子体放电管。
目前，在低温等离子体处理工业废气等装置中使用的放电管，其外电极一般为管状，内电极为棒状，并用绝缘材料如陶瓷管等作为单电介质层。管状外电极套在管状绝缘材料外侧。这种结构的放电管往往出现丝状电放或局部放电现象，使放电不均匀。此外，气体通过放电区域时，分子会被解离，同时生成大量自由基或其他活性物质等。而管状外电极的放电区域是连续的，于是这些活性物质将反复受到电激活，直到流出放电管，其能量不能得到充分利用，因而使工作效率不高。另外，用该放电管处理工业废气时，需要大功率电源，且连续运作棒状内电极容易发热，影响使用寿命。
本实用新型的目的在于提供一种能够大大提高工作效率，且可适合于大功率连续运转工作状态的低温等离子体放电管。
本实用新型设计的低温等离子体放电管由内、外电极和隔阻电介质构成。其中电介质采用内、外管双层结构形式，内、外管之间有通气空间，外电极采用带状形式，以螺旋形状缠绕于外管外侧面，内电极采用管状或丝状结构，置于内管里面。内、外管在两端处同轴固定，需处理的气体可进入放电管的内、外管之间。内管可通气或通水，以便对内电极进行气冷或水冷。其结构如
图1和图2所示。
本实用新型设计的放电管，其内、外管采用绝缘材料，如陶瓷或石英、玻璃等，长度一般为100～500mm，壁厚2-3mm，外管的内径一般为15～100mm，内管外径可为10～96mm。
本放电管的内、外电极可采用不锈钢或镍或其它金属材料，带状外电极宽度为5-20mm，内电极直径只要小于内管内径即可。内、外电极分别与电源连接。
本实用新型设计的低温等离子体放电管，由于外电极成螺旋状，每一个放电区域具有一定间隔，气体中的活性粒子在非放电区域中有一定时间与有害气体分子作用，使有害气体分子产生充分的化学变化。这样，使这些活性物质的能量得到充分利用，其结果是对有害气体的去除率大为提高，即提高了能量的利用效率，也提高了处理废气的工作效率。而且，由于电介质采用双层管状结构，处理的气体从两管中间流过，避免了丝状放电或局部放电现象，使放电均匀，也有利于提高处理废气的工作效率。由于对内电极设计有冷却装置(内管通气或通水)，可避免因长时间连续运转而产生的高温，延长使用寿命。
本实用新型设计的低温等离子体放电管可用于工业废气处理装置，也可以用于臭氧发生装置等。
图1为本实用新型设计的放电管的结构图。
图2为本放电管的两端的内、外管的叉形固定支架。
其中，1为外管，2为内管，3为外电极，4为内电极，5为上支架，6为下支架。
实施例如附图所示，内、外管采用石英玻璃材料制作，放电管长度为300mm，外管1的内径为40mm，内管2外径10mm，带状外电极3采用不锈钢材料，带宽为5mm，以螺旋形状缠绕于外管外侧面，螺距为5mm。内电极4采用不锈钢管，外直径为8mm，置于内管2中间。上、下支架5和6制成三叉形状，将内、外管同轴固定。本放电管可用于低温等离子体处理工业废气的装置。
权利要求1．一种低温等离子体放电管，由内、外电极和隔阻电介质构成，其特征在于隔阻介质采用内、外管双层结构形式，在两端处同轴固定，内、外管之间有通气空间，外电极采用带状金属，以螺旋形状缠绕于外管外侧面，内电极采用管状或丝状结构，置于内管里面，内管可通气或通水。
2．根据权利要求1所述的低温等离子体放电管，其特征在于所说的放电管长度为100～500mm，壁厚2-3mm，外管内径15～100mm，内管外径10～96mm。
3．根据权利要求1所述的低温等离子体放电管，其特征在于所说的带状外电极宽度为5-20mm，内电极外直径小于内管内径。
专利摘要本实用新型是一种低温等离子体放电管,其隔阻介质利用内、外管状双层结构形式,同轴固定。外电极采用带状形式以螺旋形状缠绕于外管外侧面,内电极采用管状或丝状结构,置于内管里面。内管可通气或通水,对内电极进行冷却。本放电管可避免丝状放电或局部放电现象,使放电均匀;可充分利用由电离产生的活性粒子的能量,提高工作效率;可防止因长时间连续运转而产生的高温,延长使用寿命。本放电管可用于工业废气处理装置和臭氧发生装置等。
文档编号C01B13/11GK2312518SQ9724275
公开日1999年3月31日 申请日期1997年11月28日 优先权日1997年11月28日
发明者侯惠奇, 刘先年, 潘循晢, 张振满 申请人:复旦大学