太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种扩散源瓶，尤其涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶。
【背景技术】
[0002]晶体硅电池技术已成功应用与商业化生产，极大推动了人类享受清洁能源的进程。晶体硅电池的PN结为其工作的核心，当光照射在该PN结上时，会发生所谓光生伏打效应，产生光生电动势及光生电流供给与负载。发射电极的设计对于提高晶体硅电池的效率具有重要意义，诸如采用激光辅助、磷墨印刷等形成选择性发射性电极是一种有效设计。
[0003]目前行业内普遍采用的是气体携带液态磷源扩散的方法。即将气体通入装有液体的石英源瓶，湿润后携带磷源蒸气通入扩散炉中。
[0004]成熟的管式扩散炉，提供的扩散方案是气体携带源气，源气在高温下发生化学反应，继而形成晶体硅电池的核心PN结。如在P型硅片上进行磷扩散，一般采用的是氮气携带三氯氧磷带入管式炉管，在高温下三氯氧磷与氧气发生化学反应形成磷原子，该磷原子在高温下先后经历了替代扩散、间隙扩散等在硅片表面形成了具有一定梯度分布的N型层，继而形成了 PN结。液态的三氯氧磷一般放置于石英材质的源瓶中，其进气管为石英材质的中空管。但是现有的扩散源瓶具有一些缺陷，比如进气管太短，导致每次使用完瓶底都会有很多剩余的三氯氧磷残留在瓶子里面不能充分利用，溶液在扩散源瓶内不够均匀。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型发明的目的是提供一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，该太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。
[0006]为了实现上述发明目的，本实用新型的太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接。
[0007]所述衬套为不锈钢衬套。
[0008]所述源瓶本体上设有刻度。
[0009]所述源瓶本体为圆柱体。
[0010]所述环形扩散管直径为源瓶本体截面直径的2/3。
[0011]采用这种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，具有以下优点:
[0012]1、由于源瓶本体设置在恒温槽内，这样可以保证源瓶本体在一个固定的温度，当温度固定时，源瓶本体内的蒸汽压就固定，这样当氮气通过源瓶本体时，所带出的磷源量就会基本固定；
[0013]2、由于进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，这样可以增加源的利用率；
[0014]3、由于进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，这样可以进一步提高源的利用率，使溶液在源瓶本体内更加均匀。
【附图说明】
[0015]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0016]图1是本实用新型太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶的结构示意图。
[0017]其中有:1.恒温槽；2.衬套；3.源瓶本体；4.进气口； 5.进气管；6.环形扩散管；7.出气管；8.出气口。
【具体实施方式】
[0018]图1所示太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，包括恒温槽1、衬套2、源瓶本体3，所述恒温槽1内侧表面设有衬套2，源瓶本体3设置在恒温槽1内，所述源瓶本体3上方设有进气口 4、出气口 8，进气口 4通过进气管5与源瓶本体3连接，所述进气管5伸入源瓶本体3底部，进气管5底端连接开有孔洞的环形扩散管6，所述出气口 8通过出气管7与源瓶本体3连接。
[0019]所述衬套2为不锈钢衬套。
[0020]所述源瓶本体3上设有刻度。
[0021]所述源瓶本体3为圆柱体。
[0022]所述环形扩散管6直径为源瓶本体3截面直径的2/3。
[0023]氮气在进气口 4处进入，通过进气管5到达环形扩散管6内，然后通过环形扩散管6上的孔洞扩散到溶液中去，然后氮气携带三氯氧磷通过出气管7从出气口 8排出。
[0024]由于源瓶本体3设置在恒温槽1内，这样可以保证源瓶本体3在一个固定的温度，当温度固定时，源瓶本体3内的蒸汽压就固定，这样当氮气通过源瓶本体3时，所带出的磷源量就会基本固定；由于进气口 4通过进气管5与源瓶本体3连接，所述进气管5伸入源瓶本体3底部，这样可以增加源的利用率；由于进气管5底端连接开有孔洞的环形扩散管6，这样可以进一步提高源的利用率，使溶液在源瓶本体3内更加均匀。
[0025]本申请中没有详细说明的技术特征为现有技术。上述实施例仅例示性说明本申请的原理及其功效，而非用于限制本申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本申请的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，其特征在于:包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接。2.按照权利要求1所述的太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，其特征在于:所述衬套为不锈钢衬套。3.按照权利要求1所述的太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，其特征在于:所述源瓶本体上设有刻度。4.按照权利要求1所述的太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，其特征在于:所述源瓶本体为圆柱体。5.按照权利要求1所述的太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，其特征在于:所述环形扩散管直径为源瓶本体截面直径的2/3。
【专利摘要】本实用新型涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接，本实用新型解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。
【IPC分类】C30B31/16
【公开号】CN204959086
【申请号】CN201520584751
【发明人】陈桂宝, 唐磊, 何晨旭, 朱姚培
【申请人】江苏荣马新能源有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年8月5日