专利名称：装载扩散磷源的源瓶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池制作过程使用的设备，尤其涉及一种用太阳能 电池制作过程中装载扩散磷源的源瓶。
背景技术：
太阳能电池生产过程中有一个核心工序就是扩散工序，是在硅晶体表面进
行扩散形成PN结，在这一工序中是将源瓶中的磷源以气体的形式被出气管引
入到石英炉中进行扩散反应，在扩散工序中常用的是三氯氧磷(P0C13)液态
源扩散，将液态三氯氧磷装载在源瓶中，源瓶一般都是平底的，扩散工序中未
能最大限度的利用源瓶内的磷源，当磷源液面使用到离瓶底约15腿，基本与进
气管平齐时，由于不能鼓泡，故剩余磷源不能带出即不能被利用，而当废液返
回厂家重新灌装，将会造成较大成本浪费。原来的平底源瓶，如说明书附图1
所示，浪费磷源的容积是E/4X84X84X15二83ml，造成每500ml的源瓶中
就有83ml液态三氯氧磷的浪费。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是现有的源瓶在太阳能电池制作的扩 散工序中不能充分利用其中的磷源，造成成本的浪费。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是 一种装载扩散磷源 的源瓶，具有瓶体，瓶体的瓶底为中部高四周低的凸面。
本实用新型的有益效果是该源瓶的瓶底为中部高四周低的凸面， 进气管在源瓶的边缘，故在太阳能电池制作的扩散工序中，利于出气管更多 地将磷源带出，最大限度的使用磷源，降低了成本的浪费。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。 图1是原平底源瓶的结构示意图。
图2是本实用新型的结构示意图。 其中l、瓶体，2、瓶底。
具体实施方式
如附图2所示， 一种装载扩散磷源的源瓶具有瓶体1，瓶体1的瓶底2 为中部高四周低的凸面。由于进气管在源瓶的边缘，同时将进气管的长度 加长，故在太阳能电池制作的扩散工序中，利于出气管更多地将磷源带出， 最大限度的使用磷源。
以500ml的源瓶为例，原来的平底源瓶，如附图1所示，在扩散工序中未 能最大限度的利用源瓶内的磷源，当磷源液面使用到离瓶底约15m时，因为不 能鼓泡，所以剩余磷源不能被出气管带出即不能被利用。浪费磷源的容积是 Jt/4X84X84X15=83(ml)，造成每500ml的源瓶中就有83ml磷源的浪费。
将原来的平底源瓶改进为现有的凸面平底源瓶后，在实际使用中未能使用 而滞留在源瓶中的磷源仅约33ml。每瓶多利用即节省磷源用量83-33二50ml， 如果按照有12根炉内石英管，每根炉内石英管每天需要用磷源100ml，使用 500ml体积的源瓶灌装，则一个月需要磷源的用量为12X100X30/500=72瓶， 即可以节省磷源72X50二3600ml，按1元/ml计算，则可节省资金3600元。就 是说两条使用磷源的生产线最保守计算可节省3600元/月，按目前12条使用 磷源的生产线计算则可节省6 X 3600=21600元/月。这样就大大降低了成本的 浪费。
权利要求1.一种装载扩散磷源的源瓶，具有瓶体(1)，其特征在于所述的瓶体(1)的瓶底(2)为中部高四周低的凸面。
专利摘要本实用新型涉及太阳能电池制作过程中使用设备的领域，尤其涉及一种装载扩散磷源的源瓶，它具有瓶体，瓶体的瓶底为中部高四周低的凸面。该源瓶可以在太阳能电池制作的扩散工序中最大限度的使用磷源，降低了成本浪费。
文档编号H01L31/18GK201408771SQ20092004170
公开日2010年2月17日 申请日期2009年4月1日 优先权日2009年4月1日
发明者军 张 申请人:常州天合光能有限公司