专利名称：管式扩散工艺中磷源的回收系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及太阳能和半导体等行业的管式扩散生产过程中无法利用的磷源的回 收系统。
背景技术：
扩散工序每年需要大量的P0CL3，每瓶源瓶内液面总高一般为10cm，而每瓶在用 到2cm以下以后就要换源瓶，从而导致磷源浪费。公告号为CN201408771Y的装载扩散磷源 的源瓶的专利中，发明人改进了源瓶，该源瓶的瓶底为中部高四周低的凸面，进气管在源瓶 的边缘，利于出气管更多地将磷源带出，最大限度地使用磷源。但该方案依然存在以下不 足磷源无法完全被利用，仍然存在一定的浪费；该装置因为源瓶形状不规则，需要特殊定 制；在扩散工艺中，磷源液位太低以后，工艺条件将不可控，因此磷源接近底部时已经不适 合继续生产。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种可以将源瓶内剩余磷源的回收的回收系 统，尽可能减少磷源的浪费。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是一种管式扩散工艺中磷源的回收系 统，包括气源、排液部分、回收部分和安全装置部分，排液部分和回收部分由生产线上更换 下来的源瓶依次连接而成，排液部分与回收部分的源瓶连接方向相反，气源为高纯惰性气 体，排液部分的源瓶的连接方式为第一个源瓶的出气管连接气源，最后一个源瓶的进气管 与回收部分的第一个源瓶的进气管连接，中间源瓶的出气管与前一个源瓶进气管连通，中 间源瓶进气管与后一个源瓶出气管连通；回收部分的源瓶的连接方式为第一个源瓶的进气 管连接排液部分的源瓶，最后一个源瓶的出气管与安全装置部分连通，中间源瓶的进气管 与前一个源瓶出气管连通，中间源瓶出气管与后一个源瓶进气管连通。具体的地，安全装置部分包括缓冲瓶和尾气回收装置，回收部分最后一个源瓶的 出气管与缓冲瓶的进口连接，缓冲瓶的出口连接收集挥发出来的P0C13的尾气回收装置。回收部分的源瓶的数量可以不止一个，但是实际使用时，回收部分的源瓶一般为 一个，回收部分的源瓶的连接方式为源瓶的进气管连接排液部分的源瓶，源瓶的出气管与 安全装置部分连通。本发明的有益效果是本系统将剩余的磷源在确保安全的情况下搜集到源瓶中回 收利用，从而大大减少了磷源的浪费。
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。图1是本发明的结构示意图；图中1.气源，2.排液部分，3.回收部分，4.安全装置部分，5.源瓶，51.出气管，52.进气管，6.缓冲瓶，7.尾气回收装置，8.手套箱。
具体实施例方式如图1所示，一种管式扩散工艺中磷源的回收系统，包括气源1、排液部分2、回收 部分3和安全装置部分4，排液部分2和回收部分3由生产线上更换下来的源瓶5依次连 接而成，排液部分2与回收部分3的源瓶5连接方向相反，气源1为高纯惰性气体，本系统 的气源1向排液部分2通入高纯惰性气体如Ar或N2等后，磷源即会搜集到回收装置部分 3中，回收装置部分3的源瓶可取出做生产使用。排液部分2的源瓶5的连接方式为第一个源瓶5的出气管51连接气源1，最后一 个源瓶5的进气管52与回收部分3的第一个源瓶5的进气管52连接，中间源瓶5的出气 管51与前一个源瓶5的进气管52连通，中间源瓶5的进气管52与后一个源瓶5的出气管 51连通。回收部分的源瓶的数量可以不止一个，但是实际使用时，回收部分的源瓶一般为 一个，回收部分3的源瓶的连接方式为源瓶5的进气管52连接排液部分2的源瓶5，源瓶5 的出气管51与安全装置部分4连通。安全装置部分4包括缓冲瓶6和尾气回收装置7，回收部分3最后一个源瓶3的出 气管51与缓冲瓶6的进口连接，缓冲瓶6的出口连接收集挥发出来的P0C13的尾气回收装置7。如果回收部分的源瓶的数量不止一个，回收部分3的源瓶5的连接方式为第一个 源瓶5的进气管52连接排液部分2的源瓶5，最后一个源瓶5的出气管51与安全装置部分 4连通，中间源瓶5的进气管52与前一个源瓶5的出气管51连通，中间源瓶5的出气管52 与后一个源瓶5的进气管52连通。将生产过程中更换下来的3 5瓶源瓶连接到本系统中，在通入高纯惰性气体N2 下，剩余磷源将被收集到一个源瓶中，可重新用于生产，因此可以节省20%的磷源。以每瓶 磷源可用40天计算，40根扩散炉管每年就可以节约65瓶。本系统设置在一个手套箱(8)内，以确保磷源不外泄，保证安全。
权利要求
1.一种管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是包括气源(1)、排液部分O)、回收 部分C3)和安全装置部分G)，排液部分( 和回收部分(3)由生产线上更换下来的源瓶 (5)依次连接而成，排液部分O)与回收部分(3)的源瓶(5)连接方向相反，气源(1)为高 纯惰性气体，排液部分O)的源瓶(5)的连接方式为第一个源瓶(5)的出气管(51)连接气源(1)， 最后一个源瓶(5)的进气管(5 与回收部分(3)的第一个源瓶(5)的进气管(5 连接， 中间源瓶(5)的出气管(51)与前一个源瓶(5)的进气管(52)连通，中间源瓶(5)的进气 管(52)与后一个源瓶(5)的出气管(51)连通；回收部分(3)的源瓶(5)的连接方式为第一个源瓶(5)的进气管(5 连接排液部分 ⑵的源瓶(5)，最后一个源瓶(5)的出气管(51)与安全装置部分⑷连通，中间源瓶(5) 的进气管(52)与前一个源瓶(5)的出气管(51)连通，中间源瓶(5)的出气管(52)与后一 个源瓶(5)的进气管(5 连通。
2.根据权利要求1所述的管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是所述的安全装 置部分(4)包括缓冲瓶(6)和尾气回收装置(7)，回收部分C3)最后一个源瓶C3)的出气管 (51)与缓冲瓶(6)的进口连接，缓冲瓶(6)的出口连接收集挥发出来的P0C13的尾气回收 装置(7)。
3.根据权利要求1或2所述的管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是回收部分 (3)的源瓶( 仅有一个，回收部分(3)的源瓶的连接方式为源瓶(5)的进气管(5 连接 排液部分O)的源瓶(5)，源瓶(5)的出气管(51)与安全装置部分(4)连通。
全文摘要
本发明涉及太阳能和半导体等行业的管式扩散生产过程中无法利用的磷源的回收系统，包括气源、排液部分、回收部分和安全装置部分，排液部分和回收部分由生产线上更换下来的源瓶依次连接而成，排液部分与回收部分的源瓶连接方向相反，气源为高纯惰性气体，排液部分的源瓶的连接方式为第一个源瓶的出气管连接气源，最后一个源瓶的进气管与回收部分的第一个源瓶的进气管连接，中间源瓶的出气管与前一个源瓶进气管连通，中间源瓶进气管与后一个源瓶出气管连通，本系统的气源向排液部分通入高纯惰性气体如Ar或N2等后，磷源即会搜集到回收装置部分中，回收装置部分的源瓶可取出做生产使用。本系统将剩余的磷源在确保安全的情况下搜集到源瓶中回收利用，从而大大减少了磷源的浪费。
文档编号H01L21/00GK102097290SQ201010294778
公开日2011年6月15日 申请日期2010年9月28日 优先权日2010年9月28日
发明者潘景伟 申请人:常州天合光能有限公司